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公开(公告)号：CN118457109A
公开(公告)日：2024-08-09
申请号：CN202410626604.0
申请日：2024-05-20
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明提供了一种适用于模块化可重构机器人的可靠对接机构，具有这样的特征，包括：被动连接单元、主动连接单元和对接控制模块，其中，所述被动连接单元设置在所述被动连接面板上，包括：伸缩轴；第一对接驱动电机，用于驱动所述伸缩轴进行伸缩，所述主动连接单元设置在所述主动连接面板上，包括第二对接驱动电机、主动开合组件以及一个或多个被动开合组件，所述主动开合组件包括：第一对接块，可滑动地设置在所述主动连接面板上，所述被动开合组件包括：第二对接块，可滑动地设置在所述主动连接面板上，所述第一对接块与所述第二对接块相互抵接，形成开合孔。总之，本装置具有更好的对接容错率和简易且高稳定的锁紧机制。
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公开(公告)号：CN118631200A
公开(公告)日：2024-09-10
申请号：CN202410661160.4
申请日：2024-05-27
Applicant: 复旦大学
IPC: H03H3/02 , H10N30/072 , H10N30/853
Abstract: 本发明公开一种基于激光解键合的钽酸锂薄膜SMR器件制备方法。包括以下步骤：在LiTaO3晶圆内形成多孔气泡层，将LiTaO3晶圆与支撑衬底键合；退火使多孔气泡层断裂，从LiTaO3晶圆剥离，在支撑衬底上形成LiTaO3薄膜；对LiTaO3薄膜进行减薄处理；将第一Si衬底与上述形成在支撑衬底表面的LiTaO3薄膜直接键合；利用激光解键合技术，将LiTaO3薄膜转移至第一Si衬底；在形成有LiTaO3薄膜的第一Si衬底内形成多孔气泡层；在LiTaO3薄膜上淀积下电极和布拉格反射层；将第二Si衬底与上述形成在第一Si衬底表面的布拉格反射层直接键合；使得多孔气泡层从第一Si衬底剥离，去除LiTaO3薄膜表面的Si层，使得LiTaO3薄膜/下电极/布拉格反射层叠层转移至第二Si衬底；在LiTaO3薄膜上形成上电极。
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公开(公告)号：CN118478960A
公开(公告)日：2024-08-13
申请号：CN202410626603.6
申请日：2024-05-20
Applicant: 复旦大学
IPC: B62D57/02
Abstract: 本发明提供了一种可伸缩变形的轮式移动机器人，具有这样的特征，包括：左腔室模块、右腔室模块和横向伸缩模块，横向伸缩模块用于调节左腔室模块和右腔室模块之间的间距，其中，横向伸缩模块包括第一横向伸缩单元和弹簧钢片单元，第一横向伸缩单元分别与左腔室模块和右腔室模块连接，用于推拉左腔室模块或右腔室模块，改变间距，弹簧钢片单元包括多个弹簧钢片，每个弹簧钢片的一端均与左腔室模块固定连接，每个弹簧钢片的另一端均与右腔室模块固定连接。总之，本轮式移动机器人具有更好的环境适应性。
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公开(公告)号：CN118646386A
公开(公告)日：2024-09-13
申请号：CN202410661162.3
申请日：2024-05-27
Applicant: 复旦大学
IPC: H03H3/08 , H10N30/072
Abstract: 本申请公开一种基于激光解键合的铌酸锂薄膜SAW器件制备方法。该方法包括以下步骤：对LiNbO3晶圆进行He+离子注入，在晶圆内形成多孔气泡层，将晶圆分隔为上层LiNbO3薄膜和下层LiNbO3晶圆；将LiNbO3晶圆与支撑衬底键合；进行热退火处理，使得多孔气泡层从LiNbO3晶圆剥离，从而在支撑衬底上形成LiNbO3薄膜；对LiNbO3薄膜进行减薄处理；进行热退火处理，将形成有SiO2薄膜的Si衬底与上述形成在支撑衬底表面的LiNbO3薄膜直接键合，并退火形成稳定的键合对；使用激光进行解键合，使LiNbO3薄膜转移到Si衬底上；在LiNbO3薄膜表面形成叉指换能器。
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