具有体接触的纳米片晶体管
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117223110A

    公开(公告)日:2023-12-12

    申请号:CN202280026597.X

    申请日:2022-03-29

    Abstract: 竖直对齐且堆叠的半导体沟道层,由功函数金属和栅极电介质分开,栅极电介质部分地包围功函数金属且使功函数金属与每个半导体沟道层分开,功函数金属的第一部分直接接触每个层的竖直侧壁。竖直对齐和堆叠的第一组半导体沟道层和第二组半导体沟道层,由功函数金属分开,栅极电介质部分地包围功函数金属并且使功函数金属与每个半导体沟道层物理地分开,在第一组和第二组之间的功函数金属的第一部分直接接触每个层的侧壁。形成竖直对齐并堆叠的交替的牺牲层和半导体沟道层的初始堆叠体,形成竖直开口,从而创建纳米片层的第一堆叠体和纳米片层的第二堆叠体,并且暴露两个堆叠体的交替的层的竖直侧表面。

    设置RRAM电阻的上限
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116806445A

    公开(公告)日:2023-09-26

    申请号:CN202280009258.0

    申请日:2022-01-05

    Abstract: 一种电子电路包括:多条字线;多条位线,在多个网格点处与所述多条字线相交;以及多个电阻式随机存取存储器单元,位于多个网格点处。电阻式随机存取存储器单元中的每一个包括:顶部金属(702),耦合到以下中的一项:字线中的对应的一条字线和位线中的对应的一条位线;底部金属(704),耦合到以下中的另一项:字线中的对应的一条字线和位线中的对应的一条位线;电介质(706),夹在顶部金属与底部金属之间;以及高电阻半导体间隔件(701),与电介质并联地将顶部金属和底部金属电连接。

    用于MRAM的大晶粒铜互连线
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115004395A

    公开(公告)日:2022-09-02

    申请号:CN202180011235.9

    申请日:2021-01-05

    Abstract: 在用作MRAM位的磁性隧道势垒支柱上方形成大晶粒金属位线,而不会实质上影响磁性隧道势垒的磁性性质。在柱上形成具有相对小晶粒的铜或铜合金位线。使用激光退火来熔化位线。随后的冷却和再结晶导致位线中晶界数目的减少和位线有效电阻率的减少。可以使用多个熔化/冷却循环。位线晶粒与所得结构中的柱竖直对准。

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