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公开(公告)号：CN117766580A
公开(公告)日：2024-03-26
申请号：CN202311604037.0
申请日：2023-11-28
Applicant: 南方科技大学
IPC: H01L29/778 , H01L29/06 , H01L21/335
Abstract: 本发明涉及一种GaN基反相器，所述GaN基反相器包括外延基底，所述外延基底上开设有沟道隔离槽，所述沟道隔离槽两侧分别设置有E‑mode器件和D‑mode器件，所述E‑mode器件和D‑mode器件之间通过金属连线相连；本发明在D‑mode HEMT器件上应用相同CTL介质层，实现对D‑mode阈值电压的调控，进而影响D‑mode器件的导通电阻，以调控E/D‑mode器件在即将导通和导通状态下的电阻比例，优化反相器的输出摆幅和增益特性；通过调整GaN D‑mode器件阈值电压，优化反相器的输出摆幅和增益特性，最大限度提升了GaN基反相器的工作性能。
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公开(公告)号：CN113904652A
公开(公告)日：2022-01-07
申请号：CN202111066444.1
申请日：2021-09-13
Applicant: 南方科技大学
Abstract: 本申请提供了一种兰姆波谐振器及其制备方法，涉及声波谐振器技术领域。该兰姆波谐振器包括支撑衬底、支撑结构、压电薄膜和顶部电极。支撑衬底和压电薄膜间隔设置，支撑结构的一端设置于支撑衬底的表面，支撑结构的另一端设置于压电薄膜的第一表面，顶部电极设置于压电薄膜的背离支撑衬底的第二表面，顶部电极和支撑结构在压电薄膜的厚度方向上至少有部分重叠。该兰姆波谐振器，可以提高压电薄膜的机械稳定性，并且提高谐振器的散热特性及功率特性；由于兰姆波谐振器的主模态能量主要集中在电极之间部分，声波传递到电极区域多次反射将产生杂散模态，提供支撑结构有利于杂散声波能量泄露到支撑衬底，从而改善其杂散模态多的问题。
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公开(公告)号：CN111030628A
公开(公告)日：2020-04-17
申请号：CN201911166647.0
申请日：2019-11-25
Applicant: 南方科技大学
Abstract: 本发明实施例公开了一种体声波谐振器的制备方法，该方法包括：提供压电衬底，在压电衬底上进行离子注入形成具有缺陷层连接的第一衬底和第二衬底；在第一衬底上形成金属电极，并图形化金属电极形成底部电极；将具有底部电极的压电衬底一表面键合到带有预置空腔的支撑衬底上，底部电极均位于空腔内；剥离压电衬底的第二衬底；减薄第一衬底至所需厚度；于远离底部电极的第一衬底一面上形成顶部电极。克服了常规工艺中在形成底部空腔过程中对谐振器结构产生不良影响的问题和常规工艺中金属与支撑衬底键合困难的问题，降低工艺容错度，减少工艺步骤和工艺成本，保证器件工作特性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117368722A
公开(公告)日：2024-01-09
申请号：CN202311289107.8
申请日：2023-09-27
Applicant: 南方科技大学
Abstract: 本申请属于胶囊机器人技术领域，提供一种胶囊机器人、胶囊机器人微型电机的测试系统及测试方法，该胶囊机器人微型电机的测试系统包括具有容置槽的测试架、胶囊机器人、电压信号采集模块和上位机。胶囊机器人可浸没于容置槽体内并包括机器人壳体、电源、电机驱动器、微型电机、采样电阻、微控制器和螺旋桨。电压信号采集模块用于采集采样电阻两端的电压信号。上位机用于与微控制器通讯以控制电机驱动器的输出电压，并控制电压信号采集模块在电机驱动器的输出端短接时采集采样电阻的电压信号。本申请提供的胶囊机器人微型电机的测试系统可对微型电机的输入电压和微型电机的转速之间的关系进行拟合，利于实现对微型电机和胶囊机器人的高精度控制。
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公开(公告)号：CN117316949A
公开(公告)日：2023-12-29
申请号：CN202311015283.2
申请日：2023-08-14
Applicant: 南方科技大学
IPC: H01L27/085 , H03K19/20 , H03K19/094 , H01L21/8252
Abstract: 本发明提供一种GaN基或非门逻辑电路及其制备方法，其中电路由三端耗尽型GaN HEMT器件和四端增强型GaN HEMT双栅器件组成；三端耗尽型GaN HEMT器件的三端分别为第一源极、第一漏极、第一栅极；四端增强型GaN HEMT双栅器件的四端分别为第二源极、第二漏极、第二栅极、第三栅极；所述第一源极的一端用于接入电源；所述第二源极的一端用于接地；所述第二栅极和所述第三栅极的两端用于输入电压。本发明的GaN基或非门逻辑电路及其制备方法，相比以往的GaN基或非门技术具有一定的创新性，克服了传统或非门电路面积较大，寄生电容电感、互联电阻、动态功耗较高的缺点，进一步简化GaN基或非门结构，显著提升GaN器件集成度，可有效降低GaN集成电路生产成本，提升商业效益。
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公开(公告)号：CN211879398U
公开(公告)日：2020-11-06
申请号：CN201922227682.0
申请日：2019-12-12
Applicant: 南方科技大学
IPC: H01L31/09 , H01L31/0224 , G01V8/10
Abstract: 本实用新型实施例公开了一种紫外光探测器，包括衬底，衬底具有空腔；压电层，压电层位于衬底的一侧，并覆盖空腔；位于压电层第一面上的顶电极、以及位于压电层第二面上的底电极，第一面和第二面相对，第二面为靠近衬底的一面，顶电极为叉指电极；实现对紫外光基于兰姆波谐振器的高灵敏度和低功耗探测。
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公开(公告)号：CN221533677U
公开(公告)日：2024-08-16
申请号：CN202322635303.8
申请日：2023-09-27
Applicant: 南方科技大学
Abstract: 本申请属于微型机器人技术领域，具体提供了一种胶囊机器人，包括机身、两个进退组件和两个沉浮组件；两个进退组件平形设置在机身内，且平行于机身的轴线；两个沉浮组件平行设置在机身内；且垂直于机身的轴线；沉浮组件包括壳体、沉浮驱动件、叶轮；壳体具有贯穿壳体的涵道，涵道的两端分别与机身的两相对侧面导通；叶轮设置在涵道内，沉浮驱动件的输出端穿过涵道的侧壁与叶轮连接。本申请中，通过内置沉浮组件，胶囊机器人可以将水从机身一侧吸入到涵道，经过叶轮加速后，从机身的另一侧面排出，使胶囊机器人在垂直于机身轴线方向能够产生推动力，使胶囊机器人具备径向上的推动力，能够在机身轴线处于水平状态时实现胶囊机器人上升、下沉和悬浮。
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公开(公告)号：CN215272604U
公开(公告)日：2021-12-24
申请号：CN202121250938.0
申请日：2021-06-04
Applicant: 南方科技大学
Abstract: 本实用新型适用于医疗器械技术领域，提供了一种胶囊机器人模块及胶囊机器人组合体。胶囊机器人模块，包括具有驱动模组的机器人主体，以及安装于机器人主体上的磁体；磁体用于在外磁场的引导下与另一个胶囊机器人模块上的磁体磁力吸附，以使两个胶囊机器人模块组合成一个整体；驱动模组用于驱动单个机器人主体或整体运动。胶囊机器人组合体，包括至少两个上述胶囊机器人模块，任意两个所述胶囊机器人模块能够通过各自具有的所述磁体磁力吸附，以使至少两个所述胶囊机器人模块组合成一个整体。本实用新型提供的胶囊机器人模块及胶囊机器人组合体，单个模块体积小便于吞咽，整体易于控制，且不会增加产品生产难度、组装时间及生产成本。
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