反铁磁耦合的磁性颗粒薄膜材料及其制备和应用

    公开(公告)号:CN1805081A

    公开(公告)日:2006-07-19

    申请号:CN200610013056.6

    申请日:2006-01-16

    Applicant: 南开大学

    Inventor: 刘晖 王健 王雅欣

    Abstract: 本发明涉及反铁磁耦合的磁性颗粒薄膜材料及其制备和应用,组成为Fex(TiO2)1-x,其中x为铁的金属颗粒所占的体积百分比,0.40<x<0.76。本发明是采用直流磁控溅射技术,在氩气和氧气的混合气氛中,控制铁靶的溅射功率沉积。基片为玻璃、石英、聚酯、单晶硅、单晶砷化镓等,溅射时基片不加热。本发明的Fex(TiO2)1-x磁性颗粒薄膜的最大磁电阻数值为-29.3%,室温磁电阻数值大于-10%。本发明制备的Fex(TiO2)1-x磁性颗粒薄膜具有高磁电阻数值、制备工艺简单、成本低、适用于多种基片等优点,可用来制作计算机读出磁头、磁随机存储器、微弱磁场检测、位置检测等磁敏传感器件。

    反铁磁耦合的磁性颗粒薄膜材料及其制备和应用

    公开(公告)号:CN100372032C

    公开(公告)日:2008-02-27

    申请号:CN200610013056.6

    申请日:2006-01-16

    Applicant: 南开大学

    Inventor: 刘晖 王健 王雅欣

    Abstract: 本发明涉及反铁磁耦合的磁性颗粒薄膜材料及其制备和应用,组成为Fex(TiO2)1-x,其中x为铁的金属颗粒所占的体积百分比,0.40<x<0.76。本发明是采用直流磁控溅射技术,在氩气和氧气的混合气氛中,控制铁靶的溅射功率沉积。基片为玻璃、石英、聚酯、单晶硅、单晶砷化镓等,溅射时基片不加热。本发明的Fex(TiO2)1-x磁性颗粒薄膜的最大磁电阻数值为-29.3%,室温磁电阻数值大于-10%。本发明制备的Fex(TiO2)1-x磁性颗粒薄膜具有高磁电阻数值、制备工艺简单、成本低、适用于多种基片等优点,可用来制作计算机读出磁头、磁随机存储器、微弱磁场检测、位置检测等磁敏传感器件。

    多晶Fe3O4薄膜材料及其制备方法

    公开(公告)号:CN1819077A

    公开(公告)日:2006-08-16

    申请号:CN200610013054.7

    申请日:2006-01-16

    Applicant: 南开大学

    Abstract: 本发明涉及多晶Fe3O4薄膜材料及其制备方法。它是在基片上形成多晶Fe3O4薄膜,Fe3O4晶粒粒径大小为13~19nm,厚度200~500nm,该Fe3O4薄膜中的多晶颗粒随机取向,没有织构,室温磁电阻数值在10%~12%。本发明的多晶Fe3O4薄膜的制备方法是采用直流磁控溅射技术,在氩气和氧气的混合气氛中,通过控制氧气流量和铁靶的溅射功率沉积的。所用基片材料为玻璃、石英、聚酯、单晶硅、单晶砷化镓等,溅射时基片不加热。本方法制备温度低、制备工艺简单、适用于多种基片材料。

    纳米晶铁锗颗粒薄膜磁敏材料的制备方法

    公开(公告)号:CN1776005A

    公开(公告)日:2006-05-24

    申请号:CN200510122237.8

    申请日:2005-12-08

    Applicant: 南开大学

    Abstract: 本发明涉及纳米晶铁锗颗粒薄膜磁敏材料的制备方法。该磁敏材料的通式为FexGe1-x,其中x为铁的金属颗粒所占的体积百分比,0.45<x<0.60,薄膜厚度在4~8纳米。先将高纯度的氩气通入真空室,然后将超高真空闸板阀的开启度降为20%。锗靶上加15瓦的射频功率,在铁靶上加以5~15瓦的直流功率,预溅射20分钟左右。基片以20转/分钟的速率均匀旋转。本发明制备的铁锗颗粒薄膜材料为纳米晶结构,霍尔电阻灵敏度在-250℃到+200℃的温度范围内达到125VA/T,并且具有小的热漂移、零磁场偏移。本发明的材料制备简单,成本低,因而在航空、航天、军事等领域具有广阔的应用前景。

    磁性颗粒薄膜材料及其制备方法和应用

    公开(公告)号:CN100392775C

    公开(公告)日:2008-06-04

    申请号:CN200610013057.0

    申请日:2006-01-16

    Applicant: 南开大学

    Inventor: 刘晖 王雅欣 王健

    Abstract: 本发明涉及磁性颗粒薄膜材料及其制备方法和应用。它是在基片上制成磁性颗粒薄膜,磁性颗粒薄膜的组成是(NiFe)xGe1-x,其中x为镍铁合金颗粒所占的体积百分比,0.52~0.58,薄膜厚度在4~8纳米。本发明的磁性颗粒薄膜采用磁控溅射法制备,先将高纯度的氩气通入真空室,然后将超高真空闸板阀的开启度降为20%;锗靶上加25瓦的射频功率,根据成份的要求,在镍铁合金靶上加以12~20瓦的直流功率。本发明的磁性颗粒薄膜具有制备工艺简单、成本低、灵敏度高、工作温度范围宽、器件尺寸小等特点,因而在航空、航天、军事等领域具有广阔的应用前景。

    晶粒大小可控的多晶Fe3O4薄膜材料及其制备方法

    公开(公告)号:CN1805080A

    公开(公告)日:2006-07-19

    申请号:CN200610013055.1

    申请日:2006-01-16

    Applicant: 南开大学

    Abstract: 本发明属于一种晶粒大小可控的多晶Fe3O4薄膜材料及其制备方法,它是在基片上形成多晶Fe3O4薄膜,Fe3O4晶粒粒径为19~42纳米,薄膜的室温磁电阻数值11~12%。本发明是采用直流磁控溅射技术,先在氩气和氧气的混合气氛中溅射成膜,然后通过对退火温度和退火时间的连续控制而制备的,所用基片材料为玻璃、石英、单晶硅、单晶砷化镓等,溅射时基片不加热。本发明制备得到的多晶Fe3O4薄膜材料与目前所存的同类材料相比,其晶粒大小可以连续控制,并且具有较高的室温磁电阻数值,制备工艺简单,适用于多种基片等优点。

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