一种芯片及其制备方法、电子设备

    公开(公告)号:CN117673167A

    公开(公告)日:2024-03-08

    申请号:CN202211055661.5

    申请日:2022-08-31

    Abstract: 本申请实施例提供一种芯片及其制备方法、电子设备,解决了芯片的栅控能力随器件尺寸的微缩而降低的问题。该芯片包括衬底、源极、漏极、第一通道孔、沟道层、栅极和栅介质层;第一通道孔的侧壁面为凹壁面,凹壁面上形成有沟道层。其中,凹壁面包括第一通道孔的侧壁朝平行于衬底的方向凹陷形成的凹腔的壁面,凹腔形成的壁面增加了沟道层的形成位置,使得沟道层的面积增加。以及,凹腔位于源、漏极之间,这样,源、漏极的部分表面形成凹腔的壁面,进而,设置在凹腔壁面的沟道层与源、漏极的接触面积增大,提高了栅控能力,从而增加了芯片的开态电流。

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