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公开(公告)号：CN114994817A
公开(公告)日：2022-09-02
申请号：CN202210538492.4
申请日：2022-05-17
Applicant: 北方夜视技术股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种微纳光栅的制备方法，包括：于衬底上旋涂电子束抗蚀剂；对电子束抗蚀剂进行光刻，获得纳米压印模板；通过压印将模板上的光栅结构转移至热固化透明软膜上；另取一目标衬底，在目标衬底上沉积薄膜，在薄膜层上旋涂紫外纳米压印胶；通过压印将热固化透明软膜上的光栅结构转移到紫外纳米压印胶上；通过刻蚀，去除多余薄膜层；通过湿法和氧等离子体刻蚀除去紫外纳米压印胶，获得目标光栅。通过该方法制备的微纳光栅，避免了衬底刻蚀后表面粗糙的问题，解决了光栅孔结构刻蚀形貌不佳的问题。本说明的方法具备操作简单，加工效率高，加工层本低，结构保形性好等优势。
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公开(公告)号：CN117352351A
公开(公告)日：2024-01-05
申请号：CN202311260414.3
申请日：2023-09-27
Applicant: 北方夜视技术股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种制作超二代多碱光电阴极时钠锑共蒸锑过量时的处理方法，在制作工艺过程中检测光电流，若光电流低于1500nA则判断为基底层钠锑共同蒸镀时锑过量，进行如下处理：接通蒸Na电源，将蒸钠电流调到初始值；按400mA/min的速率递增蒸钠电流，当检测到光电流出现上升或者下降时，停止增加蒸钠电流并保持当前的蒸钠电流；一分钟后打开蒸锑电源；将蒸锑电流调到初始值，按500mA/min的速率递增蒸锑电流；当检测到光电流上升或下降时，在30秒内先关闭蒸锑电源；一分钟后关闭蒸钠电源，进入下一步工艺。本发明用于改善在超二代多碱光电阴极制作过程中基底层因锑过量导致灵敏度低的问题，对于提高光电阴极灵敏度效果显著。
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公开(公告)号：CN114921765A
公开(公告)日：2022-08-19
申请号：CN202210527165.9
申请日：2022-05-16
Applicant: 北方夜视技术股份有限公司
IPC: C23C16/02 , C23C16/40 , C23C16/455 , H01J9/12
Abstract: 本发明公开了一种应用于新型像增强器的光电阴极扩散阻挡层制作方法，主要用于防止光电阴极中金属元素向光子晶体输入窗中扩散导致的光子晶体污染和光电阴极失效，涉及微光像增强器制造领域，ALD镀膜领域。本发明所述方法包括以下步骤：a)对光子晶体输入窗的基底清洗；b)将处理过的光子晶体输入窗放入ALD设备反应腔中，抽真空至真空度低于10‑5Pa，升高温度至150～250℃，而后进行ALD沉积过程；c)在真空环境下降温后充入气体，待气压下降取出样品。本发明采用光子晶体和光电阴极的组合极大地提升了光电阴极灵敏度，解决了二者的兼容性问题，有效阻挡了光电阴极中Na元素向光子晶体中扩散导致的光子晶体失效。
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公开(公告)号：CN217768838U
公开(公告)日：2022-11-08
申请号：CN202221493309.5
申请日：2022-06-15
Applicant: 北方夜视技术股份有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种制作多碱光阴极专用排气夹具的导线连接装置，主要用于简化多碱光阴极蒸镀过程中排气台的连接线路，以便缩短工时提高效率。该装置包括：环状陶瓷基座，6枚弹簧金属片，3枚固定卡扣和连接导线，其中6枚弹簧金属片互成60°粘接于陶瓷基座上，3枚固定卡扣互成120°连接于陶瓷基座上。使用时可直接将陶瓷基座对准接线柱，使接线柱与金属弹簧片接触并下压，扣紧卡扣，则可进行后续操作。本实用新型提供的排气台导线连接装置，可实现排气机与排气台的快速连接，减少因线路繁杂导致的连接失误，且该装置空间利用率高，便于加工，装配灵活，无需其他特殊专业设备，更方便后期的维修维护，具有实际应用价值。
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