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公开(公告)号：CN1103676A
公开(公告)日：1995-06-14
申请号：CN93120621.9
申请日：1993-12-07
Applicant: 北京科技大学
Abstract: 本发明提供了一种MCrAlX涂层新工艺，其特征在于采用磁控溅射MCrAlX梯度涂层。即用双靶MCrAlX/Al磁控溅射沉积法将MCrAlX及Al同时沉积在高温合金上，沉积时靶功率逐渐变化，样品不断旋转，从而得到Al浓度逐渐变化的厚度均匀的MCrAlX包覆梯度涂层，沉积后进行热处理，以增强涂/基结合力。本发明的优点在于涂层晶粒细小，静态氧化抗力高，抗热腐蚀性能好。
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公开(公告)号：CN1175127C
公开(公告)日：2004-11-10
申请号：CN01130903.2
申请日：2001-08-24
Applicant: 北京科技大学
Abstract: 本发明提供了一种微波等离子体激励装置，由微波天线内导体(1)、陶瓷或玻璃等材料制成的介质管(2)、微波反射外导体(3)、以及微波能量输入及调节组件(4)所组成。可有效地扩展并控制等离子体的空间分布，从而实现金刚石涂层的大面积、三维空间的化学气相沉积。具有可控制性好、易于放大、热辐射能量适中、可维护性好的优点，可被用于工具的金刚石涂层的制备。
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公开(公告)号：CN1142318C
公开(公告)日：2004-03-17
申请号：CN99107912.4
申请日：1999-06-01
Applicant: 北京科技大学
Abstract: 本发明涉及一种用于硬质合金工具耐磨涂层的金刚石-Co-B化合物复合涂层和相应的制备方法。该复合涂层的特征在于在硬质合金上，形成以Co-B化合物为主的过渡层和以金刚石涂层为耐磨涂层的复合涂层。相应复合涂层的制备方法的特征在于，以硬质合金为基体，以固体、气体或液体渗硼方法制备以CoB化合物为主的过渡层，以化学气相沉积技术制备金刚石耐磨涂层。该复合涂层对硬质合金基体具有很好的附着力，这保证了相应的复合涂层硬质合金工具具有很好的使用性能。
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公开(公告)号：CN1034350C
公开(公告)日：1997-03-26
申请号：CN93120621.9
申请日：1993-12-07
Applicant: 北京科技大学
Abstract: 本发明提供了一种镍钴铬铝硅铪钇类梯度涂层的制备方法，其特征在于采用双靶(分别为NiCoCrAlSiHfY靶和Al靶)磁控溅射沉积法将NiCoCrAlSiHfY及Al同时沉积在高温合金上，沉积时NiCoCrAlSiHfY靶功率逐渐降低，而Al靶功率逐渐增加，样品不断旋转，从而得到Al浓度逐渐变化的厚度均匀的MCrAlX包覆梯度涂层。沉积后进行热处理，以增加涂/基结合强度。本发明的优点在于涂层晶粒细小，静态氧化抗力高，抗热腐蚀性能好。
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公开(公告)号：CN1033921C
公开(公告)日：1997-01-29
申请号：CN93104872.9
申请日：1993-04-29
Applicant: 北京科技大学
Abstract: 本发明提供了一种带有防潮阻反膜的氯化钾窗口和透镜材料及其制备方法，第一层为氟化钠膜，厚度为1.7～2.25μm，第二层为磁控溅射类金刚石碳膜，厚度为500～1000A，其中氟化钢膜用电子束蒸镀工艺进行沉积，背底真空度为1～2×10-3Pa，功率为50～120W，选用高纯NaF晶体作蒸发材料，所用蒸发舟材料为金属Mo，基片温度70～150℃。本发明的优点在于在10.6μm反射率小，吸收率低，抗连续CO2激光损伤阈值高，而且具有抗潮解的能力。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1066332A
公开(公告)日：1992-11-18
申请号：CN91102583.9
申请日：1991-04-28
Applicant: 北京科技大学
Abstract: 本发明提供了一种强激光窗口材料KCl晶体类金刚石防潮保护碳膜的制造方法，即采用高纯石墨靶在高纯氢气气氛中的直流溅控溅射方法制备类金刚石碳膜。其溅射功率为100—1200瓦，氩压为5—13Pa，并在溅射前“洗靶”。类金刚石碳膜沉积速率为5—60/min，与KCl晶体有良好的附着力。适合于千瓦级以上工业和军事高功率CO2激光KCl窗口和透镜的防潮保护膜，也适合于一般中小功率红外光学器件及其它各种红外光学材料。
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公开(公告)号：CN1275637A
公开(公告)日：2000-12-06
申请号：CN99107912.4
申请日：1999-06-01
Applicant: 北京科技大学
Abstract: 本发明涉及一种用于硬质合金工具耐磨涂层的金刚石－Co－B化合物复合涂层和相应的制备方法。该复合涂层的特征在于在硬质合金上,形成以Co－B化合物为主的过渡层和以金刚石涂层为耐磨涂层的复合涂层。相应复合涂层的制备方法的特征在于,以硬质合金为基体,以固体、气体或液体渗硼方法制备以CoB化合物为主的过渡层,以化学气相沉积技术制备金刚石耐磨涂层。该复合涂层对硬质合金基体具有很好的附着力,这保证了相应的复合涂层硬质合金工具具有很好的使用性能。
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公开(公告)号：CN1094758A
公开(公告)日：1994-11-09
申请号：CN93104872.9
申请日：1993-04-29
Applicant: 北京科技大学
Abstract: 本发明提供了一种氯化钾防潮阻反膜，其特征在于，第一层为氟化钠，厚度为1.7～2.25μm，第二层为磁控溅射类金刚石膜，厚度为500～1000，本发明的优点在于在10.6μm反射率小，吸收率低，抗连续CO2激光损伤阈值高，而且具有抗潮解的能力，因此适合于用作千瓦级以上乃至万瓦工业和军事高功率CO2激光KCl窗口和透镜的防潮阻反膜系，也适合于一般中、小功率红外光学器件及其它光学材料。
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公开(公告)号：CN1024481C
公开(公告)日：1994-05-11
申请号：CN91102583.9
申请日：1991-04-28
Applicant: 北京科技大学
Abstract: 本发明提供了一种强激光窗口材料KCL晶体类金刚石防潮保护碳膜的制造方法，即采用高纯石墨靶在高纯氢气气氛中的直流溅控溅射方法制备类金刚石碳膜。其溅射功率为100-1200瓦，氩压为5-13Pa。并在溅射前“洗靶”。类金刚石碳膜沉积速率为5-60A/min，与KCL晶体有良好的附着力。适合于千瓦级以上工业和军事高功率CO2激光KCL窗口和透镜的防潮保护膜。也适合于一般中小功率红外光学器件及其它各种红外光学材料。
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公开(公告)号：CN1403625A
公开(公告)日：2003-03-19
申请号：CN01130903.2
申请日：2001-08-24
Applicant: 北京科技大学
Abstract: 本发明提供了一种组合式微波等离子体激励装置，由微波天线内导体(1)、陶瓷或玻璃等材料制成的介质管(2)、微波反射外导体(3)、以及微波能量输入及调节组件(4)所组成。可有效地扩展并控制等离子体的空间分布，从而实现金刚石涂层的大面积、三维空间的化学气相沉积。具有可控制性好、易于放大、热辐射能量适中、可维护性好的优点，可被用于工具的金刚石涂层的制备。
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