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公开(公告)号:CN1034350C
公开(公告)日:1997-03-26
申请号:CN93120621.9
申请日:1993-12-07
Applicant: 北京科技大学
Abstract: 本发明提供了一种镍钴铬铝硅铪钇类梯度涂层的制备方法,其特征在于采用双靶(分别为NiCoCrAlSiHfY靶和Al靶)磁控溅射沉积法将NiCoCrAlSiHfY及Al同时沉积在高温合金上,沉积时NiCoCrAlSiHfY靶功率逐渐降低,而Al靶功率逐渐增加,样品不断旋转,从而得到Al浓度逐渐变化的厚度均匀的MCrAlX包覆梯度涂层。沉积后进行热处理,以增加涂/基结合强度。本发明的优点在于涂层晶粒细小,静态氧化抗力高,抗热腐蚀性能好。
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公开(公告)号:CN1103676A
公开(公告)日:1995-06-14
申请号:CN93120621.9
申请日:1993-12-07
Applicant: 北京科技大学
Abstract: 本发明提供了一种MCrAlX涂层新工艺,其特征在于采用磁控溅射MCrAlX梯度涂层。即用双靶MCrAlX/Al磁控溅射沉积法将MCrAlX及Al同时沉积在高温合金上,沉积时靶功率逐渐变化,样品不断旋转,从而得到Al浓度逐渐变化的厚度均匀的MCrAlX包覆梯度涂层,沉积后进行热处理,以增强涂/基结合力。本发明的优点在于涂层晶粒细小,静态氧化抗力高,抗热腐蚀性能好。
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