公开(公告)号：CN1403625A

公开(公告)日：2003-03-19

申请号：CN01130903.2

申请日：2001-08-24

Applicant: 北京科技大学

Inventor： 唐伟忠 ,  吕反修 ,  佟玉梅 ,  于文秀 ,  朱春林

IPC: C23C16/00 ,  H05H1/00

Abstract: 本发明提供了一种组合式微波等离子体激励装置，由微波天线内导体(1)、陶瓷或玻璃等材料制成的介质管(2)、微波反射外导体(3)、以及微波能量输入及调节组件(4)所组成。可有效地扩展并控制等离子体的空间分布，从而实现金刚石涂层的大面积、三维空间的化学气相沉积。具有可控制性好、易于放大、热辐射能量适中、可维护性好的优点，可被用于工具的金刚石涂层的制备。

公开(公告)号：CN1175127C

公开(公告)日：2004-11-10

申请号：CN01130903.2

申请日：2001-08-24

Applicant: 北京科技大学

Inventor： 唐伟忠 ,  吕反修 ,  佟玉梅 ,  于文秀 ,  朱春林

IPC: C23C16/00 ,  H05H1/00

Abstract: 本发明提供了一种微波等离子体激励装置，由微波天线内导体(1)、陶瓷或玻璃等材料制成的介质管(2)、微波反射外导体(3)、以及微波能量输入及调节组件(4)所组成。可有效地扩展并控制等离子体的空间分布，从而实现金刚石涂层的大面积、三维空间的化学气相沉积。具有可控制性好、易于放大、热辐射能量适中、可维护性好的优点，可被用于工具的金刚石涂层的制备。