公开(公告)号：CN1033921C

公开(公告)日：1997-01-29

申请号：CN93104872.9

申请日：1993-04-29

Applicant: 北京科技大学

Inventor： 吕反修 ,  程德刚 ,  叶锐曾 ,  孙庆标 ,  于文秀 ,  杨让

IPC: C23C14/06 ,  C23C14/30 ,  C23C14/35 ,  H01S3/034 ,  G02B3/00

Abstract: 本发明提供了一种带有防潮阻反膜的氯化钾窗口和透镜材料及其制备方法，第一层为氟化钠膜，厚度为1.7～2.25μm，第二层为磁控溅射类金刚石碳膜，厚度为500～1000A，其中氟化钢膜用电子束蒸镀工艺进行沉积，背底真空度为1～2×10-3Pa，功率为50～120W，选用高纯NaF晶体作蒸发材料，所用蒸发舟材料为金属Mo，基片温度70～150℃。本发明的优点在于在10.6μm反射率小，吸收率低，抗连续CO2激光损伤阈值高，而且具有抗潮解的能力。

公开(公告)号：CN1094758A

公开(公告)日：1994-11-09

申请号：CN93104872.9

申请日：1993-04-29

Applicant: 北京科技大学

Inventor： 吕反修 ,  程德刚 ,  叶锐曾 ,  孙庆标 ,  于文秀 ,  杨让

IPC: C23C14/06 ,  C23C14/30 ,  C23C14/35 ,  H01S3/034 ,  G02B3/00

Abstract: 本发明提供了一种氯化钾防潮阻反膜，其特征在于，第一层为氟化钠，厚度为1.7～2.25μm，第二层为磁控溅射类金刚石膜，厚度为500～1000，本发明的优点在于在10.6μm反射率小，吸收率低，抗连续CO2激光损伤阈值高，而且具有抗潮解的能力，因此适合于用作千瓦级以上乃至万瓦工业和军事高功率CO2激光KCl窗口和透镜的防潮阻反膜系，也适合于一般中、小功率红外光学器件及其它光学材料。