一种低电压阻变存储器及其制备方法

    公开(公告)号:CN101853922B

    公开(公告)日:2012-06-13

    申请号:CN201010158789.5

    申请日:2010-04-28

    Applicant: 北京大学

    Abstract: 本发明提供了一种低电压阻变存储器及制备方法,属于超大规模集成电路技术领域。该阻变存储器包括顶电极,阻变材料层,底电极和衬底,其中,阻变材料层为氮氧硅(SixOyNz)。本发明通过对标准CMOS工艺中后端的等离子体化学气相沉积(PECVD)工艺进行参数调节,制备出和标准CMOS工艺完全兼容的氮氧硅单极阻变存储器,其可以在低温工艺下实现,同时达到了人为控制缺陷浓度的目的,从而得到了较低的阻变电压和阻变电流,在低压低功耗存储器方面,具有很高的应用价值。

    基于非化学剂量比的氮氧硅的双极阻变存储器及制备方法

    公开(公告)号:CN101894910A

    公开(公告)日:2010-11-24

    申请号:CN201010223393.4

    申请日:2010-07-12

    Applicant: 北京大学

    Inventor: 张丽杰 黄如 潘越

    Abstract: 本发明提供了一种基于非化学剂量比即富含硅的氮氧硅(SiOxNy)阻变材料的双极阻变存储器及其制备方法,属于超大规模集成电路技术领域。该阻变存储器包括顶电极,阻变材料层,底电极和衬底,其中,阻变材料层为硅的氮氧化物(SiOxNy),所述SiOxNy的x、y满足条件:2x+3y<4,x≥0,y≥0,所述底电极为Cu、W、Pt等金属或者其它导电材料,所述顶电极为Ti、TiN、Al、AlCu等与硅的氮氧化物发生化学反应的金属或导电材料。本发明通过控制硅氮氧化物的成分,使其硅含量相对较多,引入更多的缺陷,空位,比如氮空位、氧空位等,从而得到稳定的双极器件。

    一种平面非易失性阻变存储器及其制备方法

    公开(公告)号:CN105742491B

    公开(公告)日:2018-06-12

    申请号:CN201610202876.3

    申请日:2016-04-01

    Applicant: 北京大学

    Abstract: 本发明公开了一种平面非易失性阻变存储器及其制备方法。本发明的阻变存储器在衬底的水平方向上形成电极‑阻变层‑电极的平面结构;采用侧墙结构制备阻变层,通过适当的设计可以在一定程度上控制侧墙的厚度和宽度;利用侧墙加上选择性腐蚀工艺可以实现小尺寸纳米级水平“宽度”的阻变层,也就是制作平面阻变存储器所需的两个电极之间的间隙。采用这种方法巧妙的避开了工艺和设备带来的局限性,即使不采用现有最先进的工艺也可实现小尺寸纳米级的器件,并且本发明中所采用的工艺完全兼容CMOS的工艺制程,扩大了其应用的范围;纳米平面阻变存储器的制备不仅对于阻变存储器的研究有着重要意义,对于业界阻变存储器的制备工艺也起着重要作用。

    一种平面非易失性阻变存储器及其制备方法

    公开(公告)号:CN105742491A

    公开(公告)日:2016-07-06

    申请号:CN201610202876.3

    申请日:2016-04-01

    Applicant: 北京大学

    CPC classification number: H01L45/00 G11C13/00 G11C13/0009 H01L27/24

    Abstract: 本发明公开了一种平面非易失性阻变存储器及其制备方法。本发明的阻变存储器在衬底的水平方向上形成电极?阻变层?电极的平面结构;采用侧墙结构制备阻变层,通过适当的设计可以在一定程度上控制侧墙的厚度和宽度;利用侧墙加上选择性腐蚀工艺可以实现小尺寸纳米级水平“宽度”的阻变层,也就是制作平面阻变存储器所需的两个电极之间的间隙。采用这种方法巧妙的避开了工艺和设备带来的局限性,即使不采用现有最先进的工艺也可实现小尺寸纳米级的器件,并且本发明中所采用的工艺完全兼容CMOS的工艺制程,扩大了其应用的范围;纳米平面阻变存储器的制备不仅对于阻变存储器的研究有着重要意义,对于业界阻变存储器的制备工艺也着重要作用。

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