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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109811323A
公开(公告)日：2019-05-28
申请号：CN201910062031.2
申请日：2019-01-23
Applicant: 北京北方华创微电子装备有限公司
Abstract: 本发明实施例提供一种磁控溅射装置和托盘检测方法，该装置包括：腔室，所述腔室内设有用于承载托盘的基座；传感器，所述传感器能发射和/或接收沿直线路径传播的探测信号，且所述探测信号的路径平行于所述基座的承载表面，以检测所述基座上的托盘；以及控制部件，所述控制部件接收所述传感器的状态信号，根据所述状态信号判断所述基座上托盘的状态。通过上述方案，传感器的检测范围与托盘的厚度相匹配，能够对是否存在托盘和托盘是否破损进行识别；有效解决磁控溅射的腔室中托盘状态无法及时检测的问题。
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公开(公告)号：CN109811323B
公开(公告)日：2023-09-08
申请号：CN201910062031.2
申请日：2019-01-23
Applicant: 北京北方华创微电子装备有限公司
Abstract: 本发明实施例提供一种磁控溅射装置和托盘检测方法，该装置包括：腔室，所述腔室内设有用于承载托盘的基座；传感器，所述传感器能发射和/或接收沿直线路径传播的探测信号，且所述探测信号的路径平行于所述基座的承载表面，以检测所述基座上的托盘；以及控制部件，所述控制部件接收所述传感器的状态信号，根据所述状态信号判断所述基座上托盘的状态。通过上述方案，传感器的检测范围与托盘的厚度相匹配，能够对是否存在托盘和托盘是否破损进行识别；有效解决磁控溅射的腔室中托盘状态无法及时检测的问题。
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公开(公告)号：CN111128847B
公开(公告)日：2023-03-21
申请号：CN201911347255.4
申请日：2019-12-24
Applicant: 北京北方华创微电子装备有限公司
IPC: H01L21/687 , H01L21/67
Abstract: 本申请实施例提供了一种承载装置及半导体加工设备。该承载装置设置于工艺腔室内，包括：基座及多个支撑组件；多个支撑组件均设置于基座上，且多个支撑组件相互配合以支撑托盘；支撑组件包括检测部，用于检测支撑组件上受到的压力值。本申请实施例实现了通过支撑组件可以直接对托盘进行检测，可以使得承载装置实现了能够及时发现托盘异常情况，对于无盘、倾斜及碎盘现象均可以通过支撑组件进行检测，从而可以避免承载装置上的托盘发生异常情况。
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公开(公告)号：CN111128847A
公开(公告)日：2020-05-08
申请号：CN201911347255.4
申请日：2019-12-24
Applicant: 北京北方华创微电子装备有限公司
IPC: H01L21/687 , H01L21/67
Abstract: 本申请实施例提供了一种承载装置及半导体加工设备。该承载装置设置于工艺腔室内，包括：基座及多个支撑组件；多个支撑组件均设置于基座上，且多个支撑组件相互配合以支撑托盘；支撑组件包括检测部，用于检测支撑组件上受到的压力值。本申请实施例实现了通过支撑组件可以直接对托盘进行检测，可以使得承载装置实现了能够及时发现托盘异常情况，对于无盘、倾斜及碎盘现象均可以通过支撑组件进行检测，从而可以避免承载装置上的托盘发生异常情况。
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公开(公告)号：CN211315024U
公开(公告)日：2020-08-21
申请号：CN201922052849.4
申请日：2019-11-25
Applicant: 北京北方华创微电子装备有限公司
Inventor： 杨依龙 , 武学伟 , 董博宇 , 李新颖 , 武树波 , 郭冰亮 , 宋玲彦 , 杨建 , 赵晨光 , 马迎功 , 刘玉杰 , 张家昊 , 陈玉静 , 张璐 , 翟洪涛 , 甄梓杨 , 孙鲁阳
Abstract: 本申请实施例提供了一种减振结构、丝杠升降机构及半导体加工设备。该减振结构设置于丝杠升降机构的丝杠螺母及升降套筒组件之间，用于对升降套筒组件减振。减振结构包括：第一连接件、第二连接件及减振组件；第一连接件及第二连接件平行且间隔设置，第一连接件与丝杠螺母连接，第二连接件与升降套筒连接；第一连接件及第二连接件左右两侧均设置有减振组件，并且减振组件的两端分别第一连接件及第二连接件的侧面连接，第二连接件能相对于第一连接件沿前后方向移动。本申请实施例可以有效提高丝杠升降组件的安全性及稳定性，进而有效提高了工艺的安全性，可以有效提高经济效益。
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