公开(公告)号：CN118996393A

公开(公告)日：2024-11-22

申请号：CN202411139167.6

申请日：2024-08-20

Applicant: 武汉理工大学

Inventor： 徐志刚 ,  王传彬 ,  张俊辉 ,  彭健 ,  沈强 ,  张联盟

IPC: C23C16/511 ,  C23C16/34 ,  C23C16/32 ,  C23C16/02

Abstract: 本发明提出了一种具有钽钛互嵌结构的异质碳化物或氮化物涂层的制备方法，包括以下步骤：S1，在钽基片的表面间隔开设多条沟槽，随后在沟槽内铺设钛粉，钛粉高出沟槽顶部1.5‑2.5mm，预压钛粉使其与钽基片表面齐平，随后放入真空热压烧结炉内烧结得到钽钛互嵌结构的基片；S2，将钽钛互嵌结构的基片置于气相沉积设备的反应腔内，真空环境下通入氢气轰击基片，去除表面杂质；S3，通入含有碳源或氮源以及氢气的混合气体，进行碳化或氮化沉积得到互嵌结构的异质碳化物或氮化物梯度涂层。本发明利用金属基体之间相互嵌入的耦合形式，有效解决了钽钛金属层状结构存在的固有结构缺陷和性能限制，克服了表面单一组元碳/氮化物层综合防护性能不能兼具的技术问题。

公开(公告)号：CN119753643A

公开(公告)日：2025-04-04

申请号：CN202411750285.0

申请日：2024-12-02

Applicant: 武汉理工大学

Inventor： 徐志刚 ,  王传彬 ,  张俊辉 ,  彭健 ,  沈强 ,  张联盟

IPC: C23C16/511 ,  C23C16/02 ,  C23C16/32 ,  C23C16/27

Abstract: 本发明涉及金刚石涂层技术领域，提出了一种碳化物过渡层‑金刚石层的复合层结构及其制备方法。所述碳化物过渡层‑金刚石层的复合层结构包括：钽基体；沉积于所述钽基体表面的碳化物梯度层，所述碳化物梯度层中C原子含量向所述钽基体方向逐渐减少；沉积于所述碳化物梯度层表面的金刚石层。本发明通过对钽基体进行等离子体碳化处理，在基体表面制备出成分梯度分布和结构平稳过渡的碳化物层，碳化物层的表层提供能与金刚石层原子级紧密结合的C‑C键，从而实现基体材料与金刚石层的高结合强度。同时由于碳化物层的热膨胀系数处于膜基热膨胀系数之间，表现出梯度变化，能够起到减低膜基内应力的作用。