公开(公告)号：CN110908247B

公开(公告)日：2024-01-16

申请号：CN201910861358.6

申请日：2019-09-12

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 远藤淳生 ,  柴田雄吾 ,  布施直人

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明提供的定位装置具备：第1部件，具有与第1方向平行的第1面；第1轨道以及第2轨道，以在与上述第1方向交叉的第2方向相互隔离且与上述第1方向平行地配置的方式固定于上述第1部件；第1块体以及第2块体，由上述第1轨道支撑而能沿上述第1轨道移动；第3块体，由上述第2轨道支撑而能沿上述第2轨道移动；第2部件，具有面对上述第1面的第2面，并固定于上述第1块体、上述第2块体以及上述第3块体；以及紧固部，以上述第1面和上述第2面接触的方式将上述第1部件以及上述第2部件相互紧固，上述第1部件以及上述第2部件是刚性部件。

公开(公告)号：CN112305872A

公开(公告)日：2021-02-02

申请号：CN202010737423.7

申请日：2020-07-28

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 西川原朋史 ,  关美津留 ,  矢田裕纪 ,  远藤淳生

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明涉及光学装置、投影光学系统、曝光装置以及物品的制造方法。提供具备使到达光学元件的光被遮光的风险降低的气体供给机构的光学装置。该光学装置具备：第1光学元件及第2光学元件；保持部，保持第1光学元件及第2光学元件；气体供给部，朝向设置于保持部的流路供给控制温度后的气体；以及气体排出部，排出由气体供给部供给的气体，在该光学装置中，在第1光学元件和第2光学元件的排列方向上并排地配置气体排出部。

公开(公告)号：CN112305872B

公开(公告)日：2025-02-25

申请号：CN202010737423.7

申请日：2020-07-28

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 西川原朋史 ,  关美津留 ,  矢田裕纪 ,  远藤淳生

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明涉及光学装置、投影光学系统、曝光装置以及物品的制造方法。提供具备使到达光学元件的光被遮光的风险降低的气体供给机构的光学装置。该光学装置具备：第1光学元件及第2光学元件；保持部，保持第1光学元件及第2光学元件；气体供给部，朝向设置于保持部的流路供给控制温度后的气体；以及气体排出部，排出由气体供给部供给的气体，在该光学装置中，在第1光学元件和第2光学元件的排列方向上并排地配置气体排出部。

公开(公告)号：CN112666797A

公开(公告)日：2021-04-16

申请号：CN202011091475.8

申请日：2020-10-13

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 高桥彰宏 ,  远藤淳生 ,  高坂敦之

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明涉及载置台装置及其调整方法、曝光装置以及物品制造方法。提供对基板保持部的平面度的精度和调整速度的并存有利的载置台装置。保持基板而移动的载置台装置具有：基座；基板保持部，在比所述基座更靠上的位置保持所述基板；多个调整部，设置于所述基座与所述基板保持部之间，为了调整所述基板保持部的基板保持面的形状，针对所述基板保持面的多个部位中的每个部位独立地从下方施加力；以及多个紧固部，与所述多个调整部中的每个调整部对应地设置，使用紧固部件以夹入所述调整部的形态紧固所述基座和所述基板保持部。

公开(公告)号：CN110908247A

公开(公告)日：2020-03-24

申请号：CN201910861358.6

申请日：2019-09-12

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 远藤淳生 ,  柴田雄吾 ,  布施直人

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明提供的定位装置具备：第1部件，具有与第1方向平行的第1面；第1轨道以及第2轨道，以在与上述第1方向交叉的第2方向相互隔离且与上述第1方向平行地配置的方式固定于上述第1部件；第1块体以及第2块体，由上述第1轨道支撑而能沿上述第1轨道移动；第3块体，由上述第2轨道支撑而能沿上述第2轨道移动；第2部件，具有面对上述第1面的第2面，并固定于上述第1块体、上述第2块体以及上述第3块体；以及紧固部，以上述第1面和上述第2面接触的方式将上述第1部件以及上述第2部件相互紧固，上述第1部件以及上述第2部件是刚性部件。

公开(公告)号：CN110750034A

公开(公告)日：2020-02-04

申请号：CN201910647791.X

申请日：2019-07-18

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 柴田雄吾 ,  远藤淳生 ,  布施直人

IPC: G03F7/20

Abstract: 提供一种光学装置、投影光学系统、曝光装置以及物品的制造方法，提供在设置有调整光学元件的位置的调整机构时的该光学元件的振动的方面有利的技术。在具备调整光学元件的位置的调整机构的光学装置中，所述调整机构包括：第一引导部，在与所述光学元件的光轴垂直的面内的第一方向上引导所述光学元件的移动；第二引导部，在所述面内的与所述第一方向不同的第二方向上引导所述光学元件的移动；以及第三引导部，在与所述面以及所述光轴交叉的第三方向上引导所述光学元件的移动。

公开(公告)号：CN112666797B

公开(公告)日：2024-04-02

申请号：CN202011091475.8

申请日：2020-10-13

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 高桥彰宏 ,  远藤淳生 ,  高坂敦之

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明涉及载置台装置及其调整方法、曝光装置以及物品制造方法。提供对基板保持部的平面度的精度和调整速度的并存有利的载置台装置。保持基板而移动的载置台装置具有：基座；基板保持部，在比所述基座更靠上的位置保持所述基板；多个调整部，设置于所述基座与所述基板保持部之间，为了调整所述基板保持部的基板保持面的形状，针对所述基板保持面的多个部位中的每个部位独立地从下方施加力；以及多个紧固部，与所述多个调整部中的每个调整部对应地设置，使用紧固部件以夹入所述调整部的形态紧固所述基座和所述基板保持部。

公开(公告)号：CN110750034B

公开(公告)日：2022-07-15

申请号：CN201910647791.X

申请日：2019-07-18

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 柴田雄吾 ,  远藤淳生 ,  布施直人

IPC: G03F7/20

Abstract: 提供一种光学装置、投影光学系统、曝光装置以及物品的制造方法，提供在设置有调整光学元件的位置的调整机构时的该光学元件的振动的方面有利的技术。在具备调整光学元件的位置的调整机构的光学装置中，所述调整机构包括：第一引导部，在与所述光学元件的光轴垂直的面内的第一方向上引导所述光学元件的移动；第二引导部，在所述面内的与所述第一方向不同的第二方向上引导所述光学元件的移动；以及第三引导部，在与所述面以及所述光轴交叉的第三方向上引导所述光学元件的移动。

公开(公告)号：CN107422608B

公开(公告)日：2021-04-16

申请号：CN201710350096.8

申请日：2017-05-18

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 桥本明人 ,  崔长植 ,  远藤淳生

IPC: G03F7/20 ,  G02B7/02

Abstract: 本发明涉及保持装置、光刻设备和制品制造方法。一种保持装置，构造成使用多个设置在光学元件的外周部处的保持部将光学元件保持到基座部件上的，其中多个保持部包括多个构造成以六个自由度地保持光学元件的第一保持部和构造成约束在六个自由度之中的光学元件的光轴方向上的自由度的第二保持部，并且其中由多个第二保持部用于约束光学元件的光轴方向上的自由度的力大于用于约束其它自由度的力。

公开(公告)号：CN110967935A

公开(公告)日：2020-04-07

申请号：CN201910902159.5

申请日：2019-09-24

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 中岛猛 ,  关美津留 ,  远藤淳生

IPC: G03F7/20

Abstract: 提供一种能够通过简易的结构使投影光学系统的数值孔径变化的曝光装置以及物品的制造方法。在具有将掩模的图案投影于基板的投影光学系统的曝光装置中，在投影光学系统的曲面形状的光瞳面或者其近旁配置第一光阑和第二光阑，该第一光阑为规定第一尺寸的开口径的固定光阑，该第二光阑规定比第一尺寸小的第二尺寸的开口径。