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公开(公告)号：CN110908247B
公开(公告)日：2024-01-16
申请号：CN201910861358.6
申请日：2019-09-12
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供的定位装置具备：第1部件，具有与第1方向平行的第1面；第1轨道以及第2轨道，以在与上述第1方向交叉的第2方向相互隔离且与上述第1方向平行地配置的方式固定于上述第1部件；第1块体以及第2块体，由上述第1轨道支撑而能沿上述第1轨道移动；第3块体，由上述第2轨道支撑而能沿上述第2轨道移动；第2部件，具有面对上述第1面的第2面，并固定于上述第1块体、上述第2块体以及上述第3块体；以及紧固部，以上述第1面和上述第2面接触的方式将上述第1部件以及上述第2部件相互紧固，上述第1部件以及上述第2部件是刚性部件。
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公开(公告)号：CN109416457B
公开(公告)日：2021-09-17
申请号：CN201780040473.6
申请日：2017-06-16
Applicant: 佳能株式会社
Abstract: 提供能够抑制与光学元件的形状校正相伴的发热，高精度地校正形状的光学装置。使镜(1)的反射面(1a)变形的光学装置(10)具有：底板(5)，与作为反射面(1a)的相反侧的面的背面(1b)分离地配置；以及校正单元(2)，包括安装于反射面(1a)的相反侧的面的镜侧磁体(3)、和配置于底板(5)的与镜侧磁体(3)对置的位置的基部侧磁体(4)。校正单元(2)利用由镜侧磁体(3)和基部侧磁体(4)产生的排斥力或者吸引力来校正反射面(1a)的形状。
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公开(公告)号：CN109634064B
公开(公告)日：2022-05-17
申请号：CN201811127037.5
申请日：2018-09-27
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供曝光装置以及物品制造方法。曝光装置具有第1温度调节机构(113)和第2温度调节机构(211)，第1温度调节机构(113)通过向收容投影光学系统(104)的镜筒(110)的内部供给气体来调节镜筒内部的温度，第2温度调节机构(211)通过向被设置在对构成投影光学系统的光学元件(201)进行保持的保持部件(206)中的流路(209)供给液体来调节光学元件以及保持部件的温度，其中，第1温度调节机构的目标温度和第2温度调节机构的目标温度不同。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109634064A
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：CN201811127037.5
申请日：2018-09-27
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70258 , G03F7/70891
Abstract: 本发明提供曝光装置以及物品制造方法。曝光装置具有第1温度调节机构(113)和第2温度调节机构(211)，第1温度调节机构(113)通过向收容投影光学系统(104)的镜筒(110)的内部供给气体来调节镜筒内部的温度，第2温度调节机构(211)通过向被设置在对构成投影光学系统的光学元件(201)进行保持的保持部件(206)中的流路(209)供给液体来调节光学元件以及保持部件的温度，其中，第1温度调节机构的目标温度和第2温度调节机构的目标温度不同。
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公开(公告)号：CN110750034B
公开(公告)日：2022-07-15
申请号：CN201910647791.X
申请日：2019-07-18
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/20
Abstract: 提供一种光学装置、投影光学系统、曝光装置以及物品的制造方法，提供在设置有调整光学元件的位置的调整机构时的该光学元件的振动的方面有利的技术。在具备调整光学元件的位置的调整机构的光学装置中，所述调整机构包括：第一引导部，在与所述光学元件的光轴垂直的面内的第一方向上引导所述光学元件的移动；第二引导部，在所述面内的与所述第一方向不同的第二方向上引导所述光学元件的移动；以及第三引导部，在与所述面以及所述光轴交叉的第三方向上引导所述光学元件的移动。
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公开(公告)号：CN109416457A
公开(公告)日：2019-03-01
申请号：CN201780040473.6
申请日：2017-06-16
Applicant: 佳能株式会社
Abstract: 提供能够抑制与光学元件的形状校正相伴的发热，高精度地校正形状的光学装置。使镜(1)的反射面(1a)变形的光学装置(10)具有：底板(5)，与作为反射面(1a)的相反侧的面的背面(1b)分离地配置；以及校正单元(2)，包括安装于反射面(1a)的相反侧的面的镜侧磁体(3)、和配置于底板(5)的与镜侧磁体(3)对置的位置的基部侧磁体(4)。校正单元(2)利用由镜侧磁体(3)和基部侧磁体(4)产生的排斥力或者吸引力来校正反射面(1a)的形状。
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公开(公告)号：CN110908247A
公开(公告)日：2020-03-24
申请号：CN201910861358.6
申请日：2019-09-12
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供的定位装置具备：第1部件，具有与第1方向平行的第1面；第1轨道以及第2轨道，以在与上述第1方向交叉的第2方向相互隔离且与上述第1方向平行地配置的方式固定于上述第1部件；第1块体以及第2块体，由上述第1轨道支撑而能沿上述第1轨道移动；第3块体，由上述第2轨道支撑而能沿上述第2轨道移动；第2部件，具有面对上述第1面的第2面，并固定于上述第1块体、上述第2块体以及上述第3块体；以及紧固部，以上述第1面和上述第2面接触的方式将上述第1部件以及上述第2部件相互紧固，上述第1部件以及上述第2部件是刚性部件。
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公开(公告)号：CN110750034A
公开(公告)日：2020-02-04
申请号：CN201910647791.X
申请日：2019-07-18
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/20
Abstract: 提供一种光学装置、投影光学系统、曝光装置以及物品的制造方法，提供在设置有调整光学元件的位置的调整机构时的该光学元件的振动的方面有利的技术。在具备调整光学元件的位置的调整机构的光学装置中，所述调整机构包括：第一引导部，在与所述光学元件的光轴垂直的面内的第一方向上引导所述光学元件的移动；第二引导部，在所述面内的与所述第一方向不同的第二方向上引导所述光学元件的移动；以及第三引导部，在与所述面以及所述光轴交叉的第三方向上引导所述光学元件的移动。
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