公开(公告)号：CN110908247B

公开(公告)日：2024-01-16

申请号：CN201910861358.6

申请日：2019-09-12

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 远藤淳生 ,  柴田雄吾 ,  布施直人

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明提供的定位装置具备：第1部件，具有与第1方向平行的第1面；第1轨道以及第2轨道，以在与上述第1方向交叉的第2方向相互隔离且与上述第1方向平行地配置的方式固定于上述第1部件；第1块体以及第2块体，由上述第1轨道支撑而能沿上述第1轨道移动；第3块体，由上述第2轨道支撑而能沿上述第2轨道移动；第2部件，具有面对上述第1面的第2面，并固定于上述第1块体、上述第2块体以及上述第3块体；以及紧固部，以上述第1面和上述第2面接触的方式将上述第1部件以及上述第2部件相互紧固，上述第1部件以及上述第2部件是刚性部件。

公开(公告)号：CN110908247A

公开(公告)日：2020-03-24

申请号：CN201910861358.6

申请日：2019-09-12

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 远藤淳生 ,  柴田雄吾 ,  布施直人

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明提供的定位装置具备：第1部件，具有与第1方向平行的第1面；第1轨道以及第2轨道，以在与上述第1方向交叉的第2方向相互隔离且与上述第1方向平行地配置的方式固定于上述第1部件；第1块体以及第2块体，由上述第1轨道支撑而能沿上述第1轨道移动；第3块体，由上述第2轨道支撑而能沿上述第2轨道移动；第2部件，具有面对上述第1面的第2面，并固定于上述第1块体、上述第2块体以及上述第3块体；以及紧固部，以上述第1面和上述第2面接触的方式将上述第1部件以及上述第2部件相互紧固，上述第1部件以及上述第2部件是刚性部件。

公开(公告)号：CN110750034A

公开(公告)日：2020-02-04

申请号：CN201910647791.X

申请日：2019-07-18

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 柴田雄吾 ,  远藤淳生 ,  布施直人

IPC: G03F7/20

Abstract: 提供一种光学装置、投影光学系统、曝光装置以及物品的制造方法，提供在设置有调整光学元件的位置的调整机构时的该光学元件的振动的方面有利的技术。在具备调整光学元件的位置的调整机构的光学装置中，所述调整机构包括：第一引导部，在与所述光学元件的光轴垂直的面内的第一方向上引导所述光学元件的移动；第二引导部，在所述面内的与所述第一方向不同的第二方向上引导所述光学元件的移动；以及第三引导部，在与所述面以及所述光轴交叉的第三方向上引导所述光学元件的移动。

公开(公告)号：CN110750034B

公开(公告)日：2022-07-15

申请号：CN201910647791.X

申请日：2019-07-18

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 柴田雄吾 ,  远藤淳生 ,  布施直人

IPC: G03F7/20

Abstract: 提供一种光学装置、投影光学系统、曝光装置以及物品的制造方法，提供在设置有调整光学元件的位置的调整机构时的该光学元件的振动的方面有利的技术。在具备调整光学元件的位置的调整机构的光学装置中，所述调整机构包括：第一引导部，在与所述光学元件的光轴垂直的面内的第一方向上引导所述光学元件的移动；第二引导部，在所述面内的与所述第一方向不同的第二方向上引导所述光学元件的移动；以及第三引导部，在与所述面以及所述光轴交叉的第三方向上引导所述光学元件的移动。

公开(公告)号：CN112764318A

公开(公告)日：2021-05-07

申请号：CN202011104126.5

申请日：2020-10-15

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 布施直人 ,  中山周吾

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明提供支撑装置、投影光学系统、曝光装置、支撑装置的调整方法以及物品制造方法。支撑物体的支撑装置具备分别支撑上述物体的互不相同的部位的至少3个支撑机构。上述至少3个支撑机构分别包括：以在第1方向具有自由度的方式由第1平行板簧机构支撑的可动部；经由第2平行板簧机构而与上述可动部连接的输入部；调整上述输入部的位置的进给丝杠；中间体；将上述物体与上述中间体连结的第1弹性铰链；以及将上述中间体与上述可动部连结的第2弹性铰链。上述第2平行板簧机构的刚性低于上述第1平行板簧机构的刚性。