公开(公告)号：CN116008298A

公开(公告)日：2023-04-25

申请号：CN202211269716.2

申请日：2022-10-18

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 鸟波祐记 ,  中岛大辅 ,  薄井克俊 ,  岩﨑泰久 ,  堀笼翔太 ,  宫本一辉

IPC: G01N21/94 ,  G01N21/01

Abstract: 本发明涉及异物检查方法、异物检查装置以及物品的制造方法。一种异物检查方法，进行在载置台上配置物体并一边使所述载置台以及对所述物体投射检查光的投光部中的至少一方驱动一边检测所述物体的检查区域上有无异物的异物检查，包括：第1检查工序，检查所述检查区域中的异物；清洁工序，对所述检查区域进行清洁；以及第2检查工序，检查在清洁工序中清洁后的所述检查区域中的异物，在第2检查工序中，在所述检查区域中的在第1检查工序中检测到异物的第1区域中，所述载置台和所述投光部的相对速度被设定为第1速度，在所述检查区域中的在第1检查工序中未检测到异物的第2区域中，所述相对速度被设定为比所述第1速度快的第2速度。

公开(公告)号：CN115453830A

公开(公告)日：2022-12-09

申请号：CN202210627110.5

申请日：2022-06-06

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 诸冈祐平 ,  原佑辅 ,  小林威宣 ,  麦仓裕次 ,  鸟波祐记

IPC: G03F9/00 ,  G03F7/20

Abstract: 本发明提供测量装置、光刻装置和物品的制造方法，该测量装置测量物体的位置，其特征在于，具有：摄像部，对设置于所述物体的标记进行拍摄，获取包括所述标记的像在内的光学像的模拟数据；以及处理部，求出所述标记的位置，所述处理部将由所述摄像部获取的所述模拟数据变换为包括所述光学像的亮度在内的数字数据，在所述数字数据中，调整包括所述标记的像在内的标记区域的亮度与除了所述标记区域以外的区域的亮度之差，基于调整了所述差的所述数字数据，求出所述标记的位置。