公开(公告)号：CN115453830A

公开(公告)日：2022-12-09

申请号：CN202210627110.5

申请日：2022-06-06

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 诸冈祐平 ,  原佑辅 ,  小林威宣 ,  麦仓裕次 ,  鸟波祐记

IPC: G03F9/00 ,  G03F7/20

Abstract: 本发明提供测量装置、光刻装置和物品的制造方法，该测量装置测量物体的位置，其特征在于，具有：摄像部，对设置于所述物体的标记进行拍摄，获取包括所述标记的像在内的光学像的模拟数据；以及处理部，求出所述标记的位置，所述处理部将由所述摄像部获取的所述模拟数据变换为包括所述光学像的亮度在内的数字数据，在所述数字数据中，调整包括所述标记的像在内的标记区域的亮度与除了所述标记区域以外的区域的亮度之差，基于调整了所述差的所述数字数据，求出所述标记的位置。

公开(公告)号：CN110620032A

公开(公告)日：2019-12-27

申请号：CN201910521571.2

申请日：2019-06-17

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 茂木泰弘 ,  小林威宣 ,  三浦孝夫

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/683

Abstract: 本发明提供基板旋转装置、基板旋转方法、光刻装置以及物品制造方法，抑制基板台大型化且在生产能力方面有利。具备：基板台，该基板台在保持面上保持基板；吸引部，该吸引部吸引基板的上表面，对基板的上表面喷出气体，从而以使基板从基板台浮起的状态支撑基板；以及驱动机构，该驱动机构使由吸引部支撑的基板围绕与保持面正交的轴旋转。