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公开(公告)号：CN105137713B
公开(公告)日：2020-02-14
申请号：CN201510606372.3
申请日：2012-10-15
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00
Abstract: 本发明提供一种压印设备和使用该压印设备的物品制造方法。该压印设备将形成在模具上的图案转印到衬底上的树脂。该压印设备包括：形状校正机构，被配置为向该模具施加力从而使形成在该模具上的图案区域变形；加热机构，被配置为加热形成在该衬底上的衬底侧图案区域从而使该衬底侧图案区域变形；和控制单元，被配置为获得关于形成在该模具上的图案区域和该衬底侧图案区域的形状之间的差别的信息，并且基于获得的信息控制该形状校正机构和晶片加热机构以便减小形成在该模具上的图案区域和该衬底侧图案区域的形状之间的差别。
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公开(公告)号：CN104570594B
公开(公告)日：2019-04-30
申请号：CN201410551185.5
申请日：2014-10-17
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00
Abstract: 本发明涉及一种压印设备和制造制品的方法，所述压印设备实施通过使用模具在基板上形成图案的压印处理，所述设备包括：加热单元，其构造成加热基板上的待压印的区域，从而使得所述区域变形；和处理单元，其构造成将待压印的第一区域和第二区域中的一个区域确定为首先将被压印的区域并且将另一个区域确定为随后将被压印的区域，其中，在所述加热单元使得所述一个区域变形以使得所述一个区域接近目标形状的情况中对所述另一个区域造成的影响小于在所述加热单元使得所述另一个区域变形以使得所述另一个区域接近所述目标形状的情况中对所述一个区域造成的影响。
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公开(公告)号：CN104067373B
公开(公告)日：2016-10-05
申请号：CN201380006253.3
申请日：2013-01-25
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02
CPC classification number: G03F7/0002 , B29C59/002 , B29C59/16 , B29C2059/023 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F9/7003 , G03F9/7042 , G03F9/7065
Abstract: 压印装置使用模具在基板的待处理区域上形成树脂的图案，模具包括在其上形成有图案的图案区域，压印装置包括：校正单元，被配置为校正目标区域的形状，目标区域是模具上的图案区域或者基板上的待处理区域，其中，校正单元进一步包括：加热单元，被配置为在加热区域中对与模具或基板的目标区域相对应的对象进行加热，加热区域的面积小于模具上的图案区域的面积；扫描单元，被配置为通过改变目标区域和加热区域的相对位置来相对于目标区域扫描加热区域；以及控制单元，被配置为获取关于目标区域的校正变形量的信息并且基于该信息来控制加热单元和扫描单元。
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公开(公告)号：CN104067373A
公开(公告)日：2014-09-24
申请号：CN201380006253.3
申请日：2013-01-25
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02
CPC classification number: G03F7/0002 , B29C59/002 , B29C59/16 , B29C2059/023 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F9/7003 , G03F9/7042 , G03F9/7065
Abstract: 压印装置使用模具在基板的待处理区域上形成树脂的图案，模具包括在其上形成有图案的图案区域，压印装置包括：校正单元，被配置为校正目标区域的形状，目标区域是模具上的图案区域或者基板上的待处理区域，其中，校正单元进一步包括：加热单元，被配置为在加热区域中对与模具或基板的目标区域相对应的对象进行加热，加热区域的面积小于模具上的图案区域的面积；扫描单元，被配置为通过改变目标区域和加热区域的相对位置来相对于目标区域扫描加热区域；以及控制单元，被配置为获取关于目标区域的校正变形量的信息并且基于该信息来控制加热单元和扫描单元。
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公开(公告)号：CN111247623A
公开(公告)日：2020-06-05
申请号：CN201880068085.3
申请日：2018-10-10
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02
Abstract: 本发明提供了用于使用模具在基板上形成压印材料的图案的压印装置，该压印装置的特征在于包括：光学系统，该光学系统用于在模具的台面部与压印材料接触的状态下利用用于增大压印材料的粘度的照射光照射包括台面部的端部的周边区域，该周边区域围绕台面部；以及控制单元，该控制单元在模具的台面部与基板上的压印材料接触的状态下，控制光学系统以使得在相互不同的定时处利用照射光来照射周边区域中的具有距台面部的中心相互不同的距离的多个区(52a至52h、52n)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103048879B
公开(公告)日：2015-10-21
申请号：CN201210387601.3
申请日：2012-10-15
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: G03F7/0002 , B29C43/021 , B82Y10/00 , B82Y40/00
Abstract: 本发明提供一种压印设备和使用该压印设备的物品制造方法。该压印设备将形成在模具上的图案转印到衬底上的树脂。该压印设备包括：形状校正机构，被配置为向该模具施加力从而使形成在该模具上的图案区域变形；加热机构，被配置为加热形成在该衬底上的衬底侧图案区域从而使该衬底侧图案区域变形；和控制单元，被配置为获得关于形成在该模具上的图案区域和该衬底侧图案区域的形状之间的差别的信息，并且基于获得的信息控制该形状校正机构和晶片加热机构以便减小形成在该模具上的图案区域和该衬底侧图案区域的形状之间的差别。
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公开(公告)号：CN104570594A
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：CN201410551185.5
申请日：2014-10-17
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00
CPC classification number: G03F7/0002 , B29K2101/00 , B29L2031/001
Abstract: 本发明涉及一种压印设备和制造制品的方法，所述压印设备实施通过使用模具在基板上形成图案的压印处理，所述设备包括：加热单元，其构造成加热基板上的待压印的区域，从而使得所述区域变形；和处理单元，其构造成将待压印的第一区域和第二区域中的一个区域确定为首先将被压印的区域并且将另一个区域确定为随后将被压印的区域，其中，在所述加热单元使得所述一个区域变形以使得所述一个区域接近目标形状的情况中对所述另一个区域造成的影响小于在所述加热单元使得所述另一个区域变形以使得所述另一个区域接近所述目标形状的情况中对所述一个区域造成的影响。
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公开(公告)号：CN105137713A
公开(公告)日：2015-12-09
申请号：CN201510606372.3
申请日：2012-10-15
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00
Abstract: 本发明提供一种压印设备和使用该压印设备的物品制造方法。该压印设备将形成在模具上的图案转印到衬底上的树脂。该压印设备包括：形状校正机构，被配置为向该模具施加力从而使形成在该模具上的图案区域变形；加热机构，被配置为加热形成在该衬底上的衬底侧图案区域从而使该衬底侧图案区域变形；和控制单元，被配置为获得关于形成在该模具上的图案区域和该衬底侧图案区域的形状之间的差别的信息，并且基于获得的信息控制该形状校正机构和晶片加热机构以便减小形成在该模具上的图案区域和该衬底侧图案区域的形状之间的差别。
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