公开(公告)号：CN111247623A

公开(公告)日：2020-06-05

申请号：CN201880068085.3

申请日：2018-10-10

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 小出博之 ,  舩吉智美 ,  小林谦一 ,  林达也

IPC: H01L21/027 ,  B29C59/02

Abstract: 本发明提供了用于使用模具在基板上形成压印材料的图案的压印装置，该压印装置的特征在于包括：光学系统，该光学系统用于在模具的台面部与压印材料接触的状态下利用用于增大压印材料的粘度的照射光照射包括台面部的端部的周边区域，该周边区域围绕台面部；以及控制单元，该控制单元在模具的台面部与基板上的压印材料接触的状态下，控制光学系统以使得在相互不同的定时处利用照射光来照射周边区域中的具有距台面部的中心相互不同的距离的多个区(52a至52h、52n)。

公开(公告)号：CN111247623B

公开(公告)日：2024-03-08

申请号：CN201880068085.3

申请日：2018-10-10

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 小出博之 ,  舩吉智美 ,  小林谦一 ,  林达也

IPC: H01L21/027 ,  B29C59/02