公开(公告)号：CN104067373B

公开(公告)日：2016-10-05

申请号：CN201380006253.3

申请日：2013-01-25

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 松田阳三 ,  长谷川敬恭 ,  樋浦充 ,  林达也

IPC: H01L21/027 ,  B29C59/02

CPC classification number: G03F7/0002 ,  B29C59/002 ,  B29C59/16 ,  B29C2059/023 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F9/7003 ,  G03F9/7042 ,  G03F9/7065

Abstract: 压印装置使用模具在基板的待处理区域上形成树脂的图案，模具包括在其上形成有图案的图案区域，压印装置包括：校正单元，被配置为校正目标区域的形状，目标区域是模具上的图案区域或者基板上的待处理区域，其中，校正单元进一步包括：加热单元，被配置为在加热区域中对与模具或基板的目标区域相对应的对象进行加热，加热区域的面积小于模具上的图案区域的面积；扫描单元，被配置为通过改变目标区域和加热区域的相对位置来相对于目标区域扫描加热区域；以及控制单元，被配置为获取关于目标区域的校正变形量的信息并且基于该信息来控制加热单元和扫描单元。

公开(公告)号：CN104067373A

公开(公告)日：2014-09-24

申请号：CN201380006253.3

申请日：2013-01-25

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 松田阳三 ,  长谷川敬恭 ,  樋浦充 ,  林达也

IPC: H01L21/027 ,  B29C59/02

CPC classification number: G03F7/0002 ,  B29C59/002 ,  B29C59/16 ,  B29C2059/023 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F9/7003 ,  G03F9/7042 ,  G03F9/7065

Abstract: 压印装置使用模具在基板的待处理区域上形成树脂的图案，模具包括在其上形成有图案的图案区域，压印装置包括：校正单元，被配置为校正目标区域的形状，目标区域是模具上的图案区域或者基板上的待处理区域，其中，校正单元进一步包括：加热单元，被配置为在加热区域中对与模具或基板的目标区域相对应的对象进行加热，加热区域的面积小于模具上的图案区域的面积；扫描单元，被配置为通过改变目标区域和加热区域的相对位置来相对于目标区域扫描加热区域；以及控制单元，被配置为获取关于目标区域的校正变形量的信息并且基于该信息来控制加热单元和扫描单元。