公开(公告)号：CN117192899A

公开(公告)日：2023-12-08

申请号：CN202310664454.8

申请日：2023-06-06

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 吉田贤治 ,  小出博之 ,  鬼沢雄马

IPC: G03F7/16 ,  G03F7/00 ,  H01L21/027 ,  H01L21/66

Abstract: 本发明提供了膜形成方法、膜形成装置和物品制造方法。一种膜形成方法包括：布置步骤，在基板上离散地布置可固化组合物的多个液滴，所述可固化组合物含有作为非挥发性组分的可聚合化合物和作为挥发性组分的溶剂；分析步骤，分析通过拍摄在所述基板上所述多个液滴中的各个与相邻液滴连接的过程而获得的图像，从而在基板上形成连续的液膜；挥发步骤，与形成液膜的过程相比，通过增强溶剂挥发效果来使在液膜中含有的溶剂挥发，以及形成步骤，通过使液膜固化来形成固化膜，其中，如果在分析步骤中获得的分析结果满足表示液膜的形成状态充分的预定条件，则处理进行到挥发步骤，然后进行到形成步骤。

公开(公告)号：CN111247623A

公开(公告)日：2020-06-05

申请号：CN201880068085.3

申请日：2018-10-10

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 小出博之 ,  舩吉智美 ,  小林谦一 ,  林达也

IPC: H01L21/027 ,  B29C59/02

Abstract: 本发明提供了用于使用模具在基板上形成压印材料的图案的压印装置，该压印装置的特征在于包括：光学系统，该光学系统用于在模具的台面部与压印材料接触的状态下利用用于增大压印材料的粘度的照射光照射包括台面部的端部的周边区域，该周边区域围绕台面部；以及控制单元，该控制单元在模具的台面部与基板上的压印材料接触的状态下，控制光学系统以使得在相互不同的定时处利用照射光来照射周边区域中的具有距台面部的中心相互不同的距离的多个区(52a至52h、52n)。

公开(公告)号：CN111247623B

公开(公告)日：2024-03-08

申请号：CN201880068085.3

申请日：2018-10-10

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 小出博之 ,  舩吉智美 ,  小林谦一 ,  林达也

IPC: H01L21/027 ,  B29C59/02