-
公开(公告)号：CN103048879B
公开(公告)日：2015-10-21
申请号：CN201210387601.3
申请日：2012-10-15
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: G03F7/0002 , B29C43/021 , B82Y10/00 , B82Y40/00
Abstract: 本发明提供一种压印设备和使用该压印设备的物品制造方法。该压印设备将形成在模具上的图案转印到衬底上的树脂。该压印设备包括：形状校正机构，被配置为向该模具施加力从而使形成在该模具上的图案区域变形；加热机构，被配置为加热形成在该衬底上的衬底侧图案区域从而使该衬底侧图案区域变形；和控制单元，被配置为获得关于形成在该模具上的图案区域和该衬底侧图案区域的形状之间的差别的信息，并且基于获得的信息控制该形状校正机构和晶片加热机构以便减小形成在该模具上的图案区域和该衬底侧图案区域的形状之间的差别。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105137713B
公开(公告)日：2020-02-14
申请号：CN201510606372.3
申请日：2012-10-15
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00
Abstract: 本发明提供一种压印设备和使用该压印设备的物品制造方法。该压印设备将形成在模具上的图案转印到衬底上的树脂。该压印设备包括：形状校正机构，被配置为向该模具施加力从而使形成在该模具上的图案区域变形；加热机构，被配置为加热形成在该衬底上的衬底侧图案区域从而使该衬底侧图案区域变形；和控制单元，被配置为获得关于形成在该模具上的图案区域和该衬底侧图案区域的形状之间的差别的信息，并且基于获得的信息控制该形状校正机构和晶片加热机构以便减小形成在该模具上的图案区域和该衬底侧图案区域的形状之间的差别。
-
公开(公告)号：CN102929099B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201210283475.7
申请日：2012-08-10
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00
CPC classification number: G03F7/0002 , B82Y10/00 , B82Y40/00
Abstract: 本发明提供了一种压印装置和物品制造方法。该压印装置使用模具在基板上模制压印材料并且在该基板上形成图案，该压印装置包括：模具保持单元，被配置为保持该模具，该模具包括包含图案区域的表面；基板保持单元，被配置为保持该基板；第一获得单元，被配置为获得关于该图案区域和已经形成在该基板上的曝光场之间的形状的差别的信息；和控制单元，被配置为，在该图案区域和压印材料彼此接触的状态下，基于由该第一获得单元获得的所述关于形状的差别的信息，控制该模具保持单元和基板保持单元中的至少一个以调整该模具和基板之间的间隔。
-
公开(公告)号：CN105137713A
公开(公告)日：2015-12-09
申请号：CN201510606372.3
申请日：2012-10-15
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00
Abstract: 本发明提供一种压印设备和使用该压印设备的物品制造方法。该压印设备将形成在模具上的图案转印到衬底上的树脂。该压印设备包括：形状校正机构，被配置为向该模具施加力从而使形成在该模具上的图案区域变形；加热机构，被配置为加热形成在该衬底上的衬底侧图案区域从而使该衬底侧图案区域变形；和控制单元，被配置为获得关于形成在该模具上的图案区域和该衬底侧图案区域的形状之间的差别的信息，并且基于获得的信息控制该形状校正机构和晶片加热机构以便减小形成在该模具上的图案区域和该衬底侧图案区域的形状之间的差别。
-
公开(公告)号：CN103048879A
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：CN201210387601.3
申请日：2012-10-15
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: G03F7/0002 , B29C43/021 , B82Y10/00 , B82Y40/00
Abstract: 本发明提供一种压印设备和使用该压印设备的物品制造方法。该压印设备将形成在模具上的图案转印到衬底上的树脂。该压印设备包括：形状校正机构，被配置为向该模具施加力从而使形成在该模具上的图案区域变形；加热机构，被配置为加热形成在该衬底上的衬底侧图案区域从而使该衬底侧图案区域变形；和控制单元，被配置为获得关于形成在该模具上的图案区域和该衬底侧图案区域的形状之间的差别的信息，并且基于获得的信息控制该形状校正机构和晶片加热机构以便减小形成在该模具上的图案区域和该衬底侧图案区域的形状之间的差别。
-
公开(公告)号：CN102929099A
公开(公告)日：2013-02-13
申请号：CN201210283475.7
申请日：2012-08-10
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00
CPC classification number: G03F7/0002 , B82Y10/00 , B82Y40/00
Abstract: 本发明提供了一种压印装置和物品制造方法。该压印装置使用模具在基板上模制压印材料并且在该基板上形成图案，该压印装置包括：模具保持单元，被配置为保持该模具，该模具包括包含图案区域的表面；基板保持单元，被配置为保持该基板；第一获得单元，被配置为获得关于该图案区域和已经形成在该基板上的曝光场之间的形状的差别的信息；和控制单元，被配置为，在该图案区域和压印材料彼此接触的状态下，基于由该第一获得单元获得的所述关于形状的差别的信息，控制该模具保持单元和基板保持单元中的至少一个以调整该模具和基板之间的间隔。
-
-
-
-
-
Search Results
6
records
(took 0.016 seconds)
