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公开(公告)号：CN115388807A
公开(公告)日：2022-11-25
申请号：CN202211004603.X
申请日：2022-08-22
Applicant: 中国计量大学
Abstract: 本发明公开了一种基于光学偏折的显微大动态范围微透镜测量方法，涉及测量技术领域，包括高亮投影屏、待测大动态范围微透镜、显微物镜、成像透镜、CCD探测器及处理器，以所述高亮投影屏、显微物镜、成像透镜和CCD探测器构建同轴光学系统，通过三坐标机对装置标定后，用处理器建立理想光学显微偏折模型，将待测大动态范围微透镜厚度中心平面位置设为理想面，获取理想光斑分布，本发明解决了传统偏折测量装置横向分辨率不足及现有反射显微偏折技术只能检测反射待测元件、景深不足、精度不高、通用性差等的技术问题，为复杂微透镜微观测量提供了一种高精度、结构简单、低成本、速度快、大景深和大动态范围测量装置及方法。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113029033A
公开(公告)日：2021-06-25
申请号：CN202110335304.3
申请日：2021-03-29
Applicant: 中国计量大学
Abstract: 本发明公开了一种显微表面测量装置，包括投影屏、基座、显微物镜、成像透镜及CCD探测器，以所述投影屏、显微物镜、成像透镜和CCD探测器构建离轴光学系统，所述基座用于放置所述测试元件，其中，所述处理器连接所述投影屏和所述CCD探测器，所述处理器根据预存设置使所述投影屏产生一正弦条纹光信号，该正弦条纹光信号以一特定角度投射至测试元件上，经过所述测试元件的表面反射至所述显微物镜形成一汇聚光束，该汇聚光束经过所述成像透镜，在所述CCD探测器中呈现一变形条纹光信号，所述处理器对所述变形条纹光信号进行分析，获取所述测试元件的面形信息。
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公开(公告)号：CN110530293A
公开(公告)日：2019-12-03
申请号：CN201910922870.7
申请日：2019-09-27
Applicant: 中国计量大学
IPC: G01B11/25
Abstract: 本发明公开了一种基于相位测量偏折的晶圆翘曲度非接触式测量装置，运用于测量技术领域。所述的测量装置包括：微投影仪、显微物镜、透镜组、CCD相机、晶圆承载平台和计算机，所述CCD相机包含带有光圈的镜头；所述晶圆承载平台可限制被测晶圆水平面内的移动，并保证晶圆处于无夹持状态。本发明在光路中加入显微物镜用于缩小微投影仪投射的图像，提高了测量精度；同时，加入透镜组用于放大被测晶圆反射图像，满足CCD相机分辨率并便于图像处理。本发明晶圆翘曲度提供了一种高精度、低成本实际可行的测量方法。
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公开(公告)号：CN209802310U
公开(公告)日：2019-12-17
申请号：CN201920914350.7
申请日：2019-06-18
Applicant: 中国计量大学
IPC: G01B11/16
Abstract: 本实用新型涉及一种基于相位测量偏折的晶圆翘曲度非接触式测量装置，运用于检测技术领域。本装置中的微投影仪与CCD相机放置于被测晶圆面同侧，被测晶圆装载于晶圆承载平台上，所述的微投影仪向被测晶圆表面投射光强编码的正弦灰度条纹，所述的CCD相机包括装有滤光光圈的镜头，镜头用于避免外部光线的干扰，CCD相机用于接收变形条纹，所述的晶圆承载平台具有与被测晶圆尺寸一致的凹槽；本实用新型结构简单易搭建，成本远低于现有测量仪器，采用的相位测量偏折技术精度可达纳米量级，可以实现晶圆翘曲度的高精度低成本测量。
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公开(公告)号：CN209894137U
公开(公告)日：2020-01-03
申请号：CN201921015793.9
申请日：2019-07-02
Applicant: 中国计量大学
IPC: G01B11/25
Abstract: 本实用新型涉及一种基于逆向哈特曼光路的晶圆表面面形测量装置。测量装置包括外包机箱、送料平台、空间光调制器、显微透镜、彩色相机和计算机。其中空间光调制器和彩色相机固定于同一高度处，并分别位于被测晶圆的两侧，显微透镜位于空间光调制器和晶圆光路之间。送料平台由伺服电机控制的丝杆导轨运动平台组成，用于被测晶圆的运送。外包机箱由全黑不透明的不锈钢板组成，可以起到很好的遮光作用。测量方法为：计算机控制空间光调制器输出图像，经显微透镜会聚后照射在被测晶圆上，由彩色相机采集图像并在计算机中进行处理，可以得到晶圆表面面形数据。本实用新型能够快速获取晶圆面形数据，弥补了现有检测手段存在的缺陷。
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