公开(公告)号：CN112504130A

公开(公告)日：2021-03-16

申请号：CN202011235738.8

申请日：2020-11-09

Applicant: 中国计量大学

Inventor： 沈芳沅 ,  陈睿智 ,  王宇静 ,  夏君陶 ,  吴益泽 ,  张姿琪 ,  刘烨敏

IPC: G01B11/02 ,  G01B9/02 ,  G03F7/20

Abstract: 本发明公开了一种基于双光纤点衍射干涉的六自由度绝对位移测量装置，运用于测量技术领域。所述的测量装置包括：计算机、偏振相机、单纵模激光器、光纤、光纤耦合器、透镜组，所述的偏振相机可以实现一帧图像同时获取4个偏振方向对应4个通道干涉信息；所述的单纵模激光器能产生高亮度和高峰值功率的激光；所述的光纤耦合器能够将激光耦合进光纤中。本发明对用于面形检测的传统点衍射干涉光路进行改进，将其运用到六自由度绝对位移测量领域，摆脱了导轨的限制，为物体绝对位移测量提供了一种高精度、低成本、多维度的瞬态测量方法。

公开(公告)号：CN110530293A

公开(公告)日：2019-12-03

申请号：CN201910922870.7

申请日：2019-09-27

Applicant: 中国计量大学

Inventor： 邹典 ,  沈芳沅 ,  王春涛 ,  梁沛钊 ,  阮旸

IPC: G01B11/25

Abstract: 本发明公开了一种基于相位测量偏折的晶圆翘曲度非接触式测量装置，运用于测量技术领域。所述的测量装置包括：微投影仪、显微物镜、透镜组、CCD相机、晶圆承载平台和计算机，所述CCD相机包含带有光圈的镜头；所述晶圆承载平台可限制被测晶圆水平面内的移动，并保证晶圆处于无夹持状态。本发明在光路中加入显微物镜用于缩小微投影仪投射的图像，提高了测量精度；同时，加入透镜组用于放大被测晶圆反射图像，满足CCD相机分辨率并便于图像处理。本发明晶圆翘曲度提供了一种高精度、低成本实际可行的测量方法。

公开(公告)号：CN209802310U

公开(公告)日：2019-12-17

申请号：CN201920914350.7

申请日：2019-06-18

Applicant: 中国计量大学

Inventor： 邹典 ,  沈芳沅 ,  阮旸 ,  王春涛 ,  梁沛钊

IPC: G01B11/16

Abstract: 本实用新型涉及一种基于相位测量偏折的晶圆翘曲度非接触式测量装置，运用于检测技术领域。本装置中的微投影仪与CCD相机放置于被测晶圆面同侧，被测晶圆装载于晶圆承载平台上，所述的微投影仪向被测晶圆表面投射光强编码的正弦灰度条纹，所述的CCD相机包括装有滤光光圈的镜头，镜头用于避免外部光线的干扰，CCD相机用于接收变形条纹，所述的晶圆承载平台具有与被测晶圆尺寸一致的凹槽；本实用新型结构简单易搭建，成本远低于现有测量仪器，采用的相位测量偏折技术精度可达纳米量级，可以实现晶圆翘曲度的高精度低成本测量。

公开(公告)号：CN209706766U

公开(公告)日：2019-11-29

申请号：CN201920846630.9

申请日：2019-06-06

Applicant: 中国计量大学

Inventor： 阮旸 ,  邹典 ,  沈芳沅 ,  胡华威 ,  徐昊学 ,  史家琰

IPC: G01B11/30

Abstract: 本实用新型涉及逆哈特曼光路晶圆表面粗糙度测量装置。本实用新型中的LCD显示屏固定于装置底部，全反射镜和分光镜固定于同一高度处，并分别位于LCD显示屏和被测晶圆的正上方，LCD显示屏显示经光强编码的条纹图像、前置小孔CMOS相机的图像采集由计算机控制，图像处理和误差补偿由计算机实现。