公开(公告)号：CN110530293A

公开(公告)日：2019-12-03

申请号：CN201910922870.7

申请日：2019-09-27

Applicant: 中国计量大学

Inventor： 邹典 ,  沈芳沅 ,  王春涛 ,  梁沛钊 ,  阮旸

IPC: G01B11/25

Abstract: 本发明公开了一种基于相位测量偏折的晶圆翘曲度非接触式测量装置，运用于测量技术领域。所述的测量装置包括：微投影仪、显微物镜、透镜组、CCD相机、晶圆承载平台和计算机，所述CCD相机包含带有光圈的镜头；所述晶圆承载平台可限制被测晶圆水平面内的移动，并保证晶圆处于无夹持状态。本发明在光路中加入显微物镜用于缩小微投影仪投射的图像，提高了测量精度；同时，加入透镜组用于放大被测晶圆反射图像，满足CCD相机分辨率并便于图像处理。本发明晶圆翘曲度提供了一种高精度、低成本实际可行的测量方法。

公开(公告)号：CN109870129A

公开(公告)日：2019-06-11

申请号：CN201910225592.X

申请日：2019-03-25

Applicant: 中国计量大学

Inventor： 杨镇远 ,  胡华威 ,  史家琰 ,  徐昊学 ,  邹典

IPC: G01B11/30

Abstract: 本发明公开了一种基于相位偏折原理的晶圆表面粗糙度检测装置，涉及测量技术领域。在实际光路中，通过分光棱镜改变光路方向并提高了光的空间利用率；通过显微物镜将分散的光束会聚，提高了检测精度；通过传送带实现晶圆的流水线检测，提高了检测效率。采用四步移相法求解出条纹对应的相位分布，并得到与相位对应的被测晶圆表面上的点投射在CCD相机中的实际光斑位置，再利用光路追迹法得到理想光斑位置，进而得到位置偏离量，最后利用积分法得到被测晶圆表面的高度分布信息以及晶圆表面粗糙度信息。本发明解决了现有检测设备昂贵、检测环境要求严苛、检测效率低的问题。本发明为晶圆表面粗糙度检测提供了一种可行方法，具有重要的实际应用价值。

公开(公告)号：CN209802310U

公开(公告)日：2019-12-17

申请号：CN201920914350.7

申请日：2019-06-18

Applicant: 中国计量大学

Inventor： 邹典 ,  沈芳沅 ,  阮旸 ,  王春涛 ,  梁沛钊

IPC: G01B11/16

Abstract: 本实用新型涉及一种基于相位测量偏折的晶圆翘曲度非接触式测量装置，运用于检测技术领域。本装置中的微投影仪与CCD相机放置于被测晶圆面同侧，被测晶圆装载于晶圆承载平台上，所述的微投影仪向被测晶圆表面投射光强编码的正弦灰度条纹，所述的CCD相机包括装有滤光光圈的镜头，镜头用于避免外部光线的干扰，CCD相机用于接收变形条纹，所述的晶圆承载平台具有与被测晶圆尺寸一致的凹槽；本实用新型结构简单易搭建，成本远低于现有测量仪器，采用的相位测量偏折技术精度可达纳米量级，可以实现晶圆翘曲度的高精度低成本测量。

公开(公告)号：CN209706766U

公开(公告)日：2019-11-29

申请号：CN201920846630.9

申请日：2019-06-06

Applicant: 中国计量大学

Inventor： 阮旸 ,  邹典 ,  沈芳沅 ,  胡华威 ,  徐昊学 ,  史家琰

IPC: G01B11/30

Abstract: 本实用新型涉及逆哈特曼光路晶圆表面粗糙度测量装置。本实用新型中的LCD显示屏固定于装置底部，全反射镜和分光镜固定于同一高度处，并分别位于LCD显示屏和被测晶圆的正上方，LCD显示屏显示经光强编码的条纹图像、前置小孔CMOS相机的图像采集由计算机控制，图像处理和误差补偿由计算机实现。