公开(公告)号：CN109870129A

公开(公告)日：2019-06-11

申请号：CN201910225592.X

申请日：2019-03-25

Applicant: 中国计量大学

Inventor： 杨镇远 ,  胡华威 ,  史家琰 ,  徐昊学 ,  邹典

IPC: G01B11/30

Abstract: 本发明公开了一种基于相位偏折原理的晶圆表面粗糙度检测装置，涉及测量技术领域。在实际光路中，通过分光棱镜改变光路方向并提高了光的空间利用率；通过显微物镜将分散的光束会聚，提高了检测精度；通过传送带实现晶圆的流水线检测，提高了检测效率。采用四步移相法求解出条纹对应的相位分布，并得到与相位对应的被测晶圆表面上的点投射在CCD相机中的实际光斑位置，再利用光路追迹法得到理想光斑位置，进而得到位置偏离量，最后利用积分法得到被测晶圆表面的高度分布信息以及晶圆表面粗糙度信息。本发明解决了现有检测设备昂贵、检测环境要求严苛、检测效率低的问题。本发明为晶圆表面粗糙度检测提供了一种可行方法，具有重要的实际应用价值。

公开(公告)号：CN208704934U

公开(公告)日：2019-04-05

申请号：CN201821546522.1

申请日：2018-09-21

Applicant: 中国计量大学

Inventor： 王亮 ,  徐昊学 ,  齐浩彬 ,  詹寅杰 ,  唐瑜洁 ,  薄涛 ,  胡佳成

IPC: G01L5/00

Abstract: 本实用新型公开了一种简易便携式拳击力测试仪。本实用新型包括装有缓震装置的拳靶、拳击力检测模块、信号处理处理模块、MCU模块等。拳靶采用高密度海绵；拳击力测试模块采用了电阻应变式传感器；信号处理模块与拳击力测试模块相连，输出端与单片机相连；MCU模块包括显示屏和单片机，显示屏与单片机相连，信号处理模块将接收到的信号处理后发送至单片机。该装置具有结构简单、适合家用、易于便携的特点，可以有效、适时、精准的测得测试者各个体位的拳击力大小，拳靶材料环保，弹性好，密度高，不易变形，增加了使用寿命，也使得装置更加稳定与方便装拆。

公开(公告)号：CN209706766U

公开(公告)日：2019-11-29

申请号：CN201920846630.9

申请日：2019-06-06

Applicant: 中国计量大学

Inventor： 阮旸 ,  邹典 ,  沈芳沅 ,  胡华威 ,  徐昊学 ,  史家琰

IPC: G01B11/30

Abstract: 本实用新型涉及逆哈特曼光路晶圆表面粗糙度测量装置。本实用新型中的LCD显示屏固定于装置底部，全反射镜和分光镜固定于同一高度处，并分别位于LCD显示屏和被测晶圆的正上方，LCD显示屏显示经光强编码的条纹图像、前置小孔CMOS相机的图像采集由计算机控制，图像处理和误差补偿由计算机实现。