公开(公告)号：CN109870129A

公开(公告)日：2019-06-11

申请号：CN201910225592.X

申请日：2019-03-25

Applicant: 中国计量大学

Inventor： 杨镇远 ,  胡华威 ,  史家琰 ,  徐昊学 ,  邹典

IPC: G01B11/30

Abstract: 本发明公开了一种基于相位偏折原理的晶圆表面粗糙度检测装置，涉及测量技术领域。在实际光路中，通过分光棱镜改变光路方向并提高了光的空间利用率；通过显微物镜将分散的光束会聚，提高了检测精度；通过传送带实现晶圆的流水线检测，提高了检测效率。采用四步移相法求解出条纹对应的相位分布，并得到与相位对应的被测晶圆表面上的点投射在CCD相机中的实际光斑位置，再利用光路追迹法得到理想光斑位置，进而得到位置偏离量，最后利用积分法得到被测晶圆表面的高度分布信息以及晶圆表面粗糙度信息。本发明解决了现有检测设备昂贵、检测环境要求严苛、检测效率低的问题。本发明为晶圆表面粗糙度检测提供了一种可行方法，具有重要的实际应用价值。

公开(公告)号：CN209894137U

公开(公告)日：2020-01-03

申请号：CN201921015793.9

申请日：2019-07-02

Applicant: 中国计量大学

Inventor： 阮旸 ,  胡华威 ,  史家琰

IPC: G01B11/25

Abstract: 本实用新型涉及一种基于逆向哈特曼光路的晶圆表面面形测量装置。测量装置包括外包机箱、送料平台、空间光调制器、显微透镜、彩色相机和计算机。其中空间光调制器和彩色相机固定于同一高度处，并分别位于被测晶圆的两侧，显微透镜位于空间光调制器和晶圆光路之间。送料平台由伺服电机控制的丝杆导轨运动平台组成，用于被测晶圆的运送。外包机箱由全黑不透明的不锈钢板组成，可以起到很好的遮光作用。测量方法为：计算机控制空间光调制器输出图像，经显微透镜会聚后照射在被测晶圆上，由彩色相机采集图像并在计算机中进行处理，可以得到晶圆表面面形数据。本实用新型能够快速获取晶圆面形数据，弥补了现有检测手段存在的缺陷。

公开(公告)号：CN209706766U

公开(公告)日：2019-11-29

申请号：CN201920846630.9

申请日：2019-06-06

Applicant: 中国计量大学

Inventor： 阮旸 ,  邹典 ,  沈芳沅 ,  胡华威 ,  徐昊学 ,  史家琰

IPC: G01B11/30

Abstract: 本实用新型涉及逆哈特曼光路晶圆表面粗糙度测量装置。本实用新型中的LCD显示屏固定于装置底部，全反射镜和分光镜固定于同一高度处，并分别位于LCD显示屏和被测晶圆的正上方，LCD显示屏显示经光强编码的条纹图像、前置小孔CMOS相机的图像采集由计算机控制，图像处理和误差补偿由计算机实现。