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公开(公告)号：CN109870129A
公开(公告)日：2019-06-11
申请号：CN201910225592.X
申请日：2019-03-25
Applicant: 中国计量大学
IPC: G01B11/30
Abstract: 本发明公开了一种基于相位偏折原理的晶圆表面粗糙度检测装置，涉及测量技术领域。在实际光路中，通过分光棱镜改变光路方向并提高了光的空间利用率；通过显微物镜将分散的光束会聚，提高了检测精度；通过传送带实现晶圆的流水线检测，提高了检测效率。采用四步移相法求解出条纹对应的相位分布，并得到与相位对应的被测晶圆表面上的点投射在CCD相机中的实际光斑位置，再利用光路追迹法得到理想光斑位置，进而得到位置偏离量，最后利用积分法得到被测晶圆表面的高度分布信息以及晶圆表面粗糙度信息。本发明解决了现有检测设备昂贵、检测环境要求严苛、检测效率低的问题。本发明为晶圆表面粗糙度检测提供了一种可行方法，具有重要的实际应用价值。
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