一种大口径曲面光学元件表面缺陷三维检测装置及方法

    公开(公告)号:CN118882520A

    公开(公告)日:2024-11-01

    申请号:CN202411356826.1

    申请日:2024-09-27

    Abstract: 本发明涉及一种大口径曲面光学元件表面缺陷三维检测装置及方法,属于光学元件表面缺陷三维检测领域,装置包括移动平台、3D线光谱共焦传感器、定标头、工业相机、远心镜头、环形光源、点光源和相机轴微调装置等;方法包括步骤:待测元件定位与对焦;3D线光谱共焦传感器扫描获取缺陷位置,获取缺陷三维信息;切换至二维缺陷检测模块,获取表面缺陷二维信息;将二维信息与三维信息进行综合分析,获取待测元件表面上各缺陷的三维检测结果。本发明通过移动平台搭载两种缺陷检测模块,实现了对大口径曲面光学元件表面缺陷的快速定位与高精度三维检测。

    一种基于结构光三维测量的水下三维测量数据校正方法

    公开(公告)号:CN111006610B

    公开(公告)日:2022-03-29

    申请号:CN201911278875.7

    申请日:2019-12-13

    Abstract: 本发明公开了一种基于结构光三维测量的水下三维测量数据校正方法,该校正方法利用的测量装置包括结构光三维测量探头(1),密封舱(2),密封玻璃(3),控制处理系统(4),结构光三维测量探头的图像获取模块(5)和结构光三维测量探头的激光投射器(6)。该校正方法采用以下步骤:将测量探头置于水下待测目标前方合适位置,启动控制处理系统获取有误差的测量数据;根据公式计算出校正后的精确数据,并实时显示校正后的精确数据。使用该校正方法对水下待测物进行测量时,无需在水下进行标定等繁琐工作,该方法充分考虑密封玻璃及水介质对测量结果的影响,建立数据校正公式,可实现水下待测物体的精确测量。

    基于显微结构照明的曲面光学元件表面缺陷三维测量装置及方法

    公开(公告)号:CN117607053A

    公开(公告)日:2024-02-27

    申请号:CN202311697036.5

    申请日:2023-12-12

    Abstract: 本发明公开了一种基于显微结构照明的曲面光学元件表面缺陷三维测量装置及方法,包括OLED显示屏、照明端镜头、半反半透镜、显微物镜、基座、成像端远心镜头、相机及处理器。其中,所述处理器根据预存程序设置OLED显示屏显示水平和垂直两个方向正交的正弦性条纹,该正弦条纹通过照明端镜头后被半反半透镜向下偏折,再经过显微物镜成像于待测光学元件上方,经待测光学元件表面反射后的正弦条纹像经过显微物镜、半反半透镜、成像端远心镜头后,被相机采集。待测光学元件表面存在疵病的位置会有微观的三维突变,造成相位分布的突变和图像对比度的下降。所述处理器对采集到正弦条纹图进行分析,获取所述待测曲面元件表面面形以及缺陷信息。

    一种基于调制度和SIFT的光学元件表面缺陷三维拼接方法

    公开(公告)号:CN117541467A

    公开(公告)日:2024-02-09

    申请号:CN202311568399.9

    申请日:2023-11-23

    Abstract: 本发明提供一种基于调制度和SIFT的光学元件表面缺陷三维拼接的方法,用于实现快速准确的大口径表面缺陷三维检测,包括:获取子图像的调制度、水平斜率、垂直斜率;调制度图像的特征提取;水平、垂直斜率的配准与融合;水平、垂直斜率积分重建拼接面形;高通滤波得到表面缺陷三维信息。采用显微结构照明获取子图像的调制度、水平斜率、垂直斜率信息,再采用SIFT算法对子图像的调制度进行特征提取,根据特征点位置信息对水平、垂直斜率进行配准和融合得到全口径的水平、垂直斜率分布,积分后得到全口径面形信息,进一步采用高通滤波得到全口径的表面缺陷三维信息。本发明为全口径光学元件表面缺陷三维拼接提供了一种快速准确的拼接手段。

    一种基于结构光三维测量的水下三维测量数据校正方法

    公开(公告)号:CN111006610A

    公开(公告)日:2020-04-14

    申请号:CN201911278875.7

    申请日:2019-12-13

    Abstract: 本发明公开了一种基于结构光三维测量的水下三维测量数据校正方法,该校正方法利用的测量装置包括结构光三维测量探头(1),密封舱(2),密封玻璃(3),控制处理系统(4),结构光三维测量探头的图像获取模块(5)和结构光三维测量探头的激光投射器(6)。该校正方法采用以下步骤:将测量探头置于水下待测目标前方合适位置,启动控制处理系统获取有误差的测量数据;根据公式计算出校正后的精确数据,并实时显示校正后的精确数据。使用该校正方法对水下待测物进行测量时,无需在水下进行标定等繁琐工作,该方法充分考虑密封玻璃及水介质对测量结果的影响,建立数据校正公式,可实现水下待测物体的精确测量。

    一种大视场高分辨率显微物镜以及光学表面缺陷检测系统

    公开(公告)号:CN117631250A

    公开(公告)日:2024-03-01

    申请号:CN202311690469.8

    申请日:2023-12-11

    Abstract: 本发明公开一种大视场高分辨率显微物镜以及光学表面缺陷检测系统,具有沿光轴自左向右顺序排列的第一透镜组、第二透镜组、第三透镜组、第四透镜组、第五透镜组。所述第一透镜组为双胶合透镜,第一片透镜光焦度为负,第二片透镜光焦度为负;所述第二透镜组光焦度为正;所述第三透镜组光焦度为负;所述第四透镜组为双胶合透镜,第一片透镜光焦度为正,第二片透镜光焦度为负;所述第五透镜组光焦度为负。本发明提高了系统的成像质量,分辨率高,且结构简单。

    一种大口径曲面光学元件表面缺陷三维检测装置及方法

    公开(公告)号:CN118882520B

    公开(公告)日:2025-02-18

    申请号:CN202411356826.1

    申请日:2024-09-27

    Abstract: 本发明涉及一种大口径曲面光学元件表面缺陷三维检测装置及方法,属于光学元件表面缺陷三维检测领域,装置包括移动平台、3D线光谱共焦传感器、定标头、工业相机、远心镜头、环形光源、点光源和相机轴微调装置等;方法包括步骤:待测元件定位与对焦;3D线光谱共焦传感器扫描获取缺陷位置,获取缺陷三维信息;切换至二维缺陷检测模块,获取表面缺陷二维信息;将二维信息与三维信息进行综合分析,获取待测元件表面上各缺陷的三维检测结果。本发明通过移动平台搭载两种缺陷检测模块,实现了对大口径曲面光学元件表面缺陷的快速定位与高精度三维检测。

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