公开(公告)号：CN118482666B

公开(公告)日：2024-10-15

申请号：CN202410946902.8

申请日：2024-07-16

Applicant: 中国科学院光电技术研究所

Inventor： 侯溪 ,  赵一帆 ,  张帅 ,  胡小川

IPC: G01B11/25 ,  G01B11/24 ,  G06F17/14

Abstract: 本发明公开了一种用于可控空间载频移相干涉测量的调整装置及方法，属于光学检测领域，调整装置包括干涉测量系统，干涉测量系统包括光束准直分光机构、倾斜载频机构、成像机构以及计算机，光束准直分光机构包含激光器、扩束准直器以及分光板，倾斜载频机构包含压电偏摆台和参考镜，成像机构包含成像透镜和CCD相机；计算机控制压电偏摆台进行二维倾斜以产生密集干涉条纹；计算机系统通过基于二维离散傅里叶变换的相关处理分析干涉条纹获得压电偏摆台所需调整量，并驱动压电偏摆台进行准确调整。本发明为空间载频移相干涉测量中的直接干涉测量法(DMI)获取所需的干涉条纹提供了一种有效的调整手段,具有较大的应用价值。

公开(公告)号：CN118482666A

公开(公告)日：2024-08-13

申请号：CN202410946902.8

申请日：2024-07-16

Applicant: 中国科学院光电技术研究所

Inventor： 侯溪 ,  赵一帆 ,  张帅 ,  胡小川

IPC: G01B11/25 ,  G01B11/24 ,  G06F17/14

Abstract: 本发明公开了一种用于可控空间载频移相干涉测量的调整装置及方法，属于光学检测领域，调整装置包括干涉测量系统，干涉测量系统包括光束准直分光机构、倾斜载频机构、成像机构以及计算机，光束准直分光机构包含激光器、扩束准直器以及分光板，倾斜载频机构包含压电偏摆台和参考镜，成像机构包含成像透镜和CCD相机；计算机控制压电偏摆台进行二维倾斜以产生密集干涉条纹；计算机系统通过基于二维离散傅里叶变换的相关处理分析干涉条纹获得压电偏摆台所需调整量，并驱动压电偏摆台进行准确调整。本发明为空间载频移相干涉测量中的直接干涉测量法(DMI)获取所需的干涉条纹提供了一种有效的调整手段,具有较大的应用价值。