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公开(公告)号：CN110081988A
公开(公告)日：2019-08-02
申请号：CN201910274361.8
申请日：2019-04-08
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01J9/02
Abstract: 本发明涉及一种将空间载频相移算法用于四波横向剪切干涉仪波前斜率解调的方法，属于光学检测领域。该方法将空间载频相移算法用于四波横向剪切干涉仪波前斜率的解调，以最终实现全口径、高精度的动态波前测量。具体通过控制光栅周期与图像传感器像素尺寸之间的关系，来控制载波条纹相邻像素之间的相移量，并最终选择合适的相移算法实现波前斜率的解调。相比于传统四波横向剪切干涉仪利用快速傅里叶变换方法(Fast Fourier Transform,FFT)解调波前斜率，本方法计算过程简单，不存在FFT方法涉及的频谱截断与边缘效应，可以实现高精度的全口径动态波前测量。
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公开(公告)号：CN103292738B
公开(公告)日：2015-12-09
申请号：CN201310259595.8
申请日：2013-06-26
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种球面面形误差绝对检测方法，利用被测球面在共焦位置多次旋转和共心平移的测量数据，采用基于Zernike多项式拟合的旋转平移算法，构建关于被测球面和参考面Zernike多项式系数的方程系，运用最小二乘法解得Zernike多项式系数，从而获得被测球面和参考面的绝对面形信息。该方法同样也可用于平面面形误差的检测。由于该方法采用了全局优化的思路同时解算被测球面和参考面的多项式系数，因而更能抑制系统误差和随机噪声，抗干扰性更强，具有重要的应用价值。
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公开(公告)号：CN109827523B
公开(公告)日：2021-01-05
申请号：CN201910176201.X
申请日：2019-03-08
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B11/25
Abstract: 本发明涉及一种基于点衍射波的干涉测量系统的系统误差标定装置和方法，该方法引入点衍射波面对整个干涉系统进行标定，实现包括参考面误差在内的整个系统误差标定。通过将干涉系统中分光镜反射的一束光经过聚焦耦合到一根光纤中，然后将光纤的另一端面放置在参考球面镜后焦点位置(猫眼)附近约几微米处，光纤点衍射的发散球面波经标准球面镜准直后进入干涉系统与标准球面镜参考面反射回的波面形成干涉，通过CCD采集多帧相移干涉条纹，进而通过相移算法恢复出相位结果作为系统误差形成标定文件。本方法针对高精度干涉测量系统误差的标定提供了新的解决方法，利用点衍射生成的高精度波前来标定参考面及干涉系统误差，具有操作方便，精度高的优点。
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公开(公告)号：CN109827523A
公开(公告)日：2019-05-31
申请号：CN201910176201.X
申请日：2019-03-08
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B11/25
Abstract: 本发明涉及一种基于点衍射波的干涉测量系统的系统误差标定装置和方法，该方法引入点衍射波面对整个干涉系统进行标定，实现包括参考面误差在内的整个系统误差标定。通过将干涉系统中分光镜反射的一束光经过聚焦耦合到一根光纤中，然后将光纤的另一端面放置在参考球面镜后焦点位置(猫眼)附近约几微米处，光纤点衍射的发散球面波经标准球面镜准直后进入干涉系统与标准球面镜参考面反射回的波面形成干涉，通过CCD采集多帧相移干涉条纹，进而通过相移算法恢复出相位结果作为系统误差形成标定文件。本方法针对高精度干涉测量系统误差的标定提供了新的解决方法，利用点衍射生成的高精度波前来标定参考面及干涉系统误差，具有操作方便，精度高的优点。
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公开(公告)号：CN113670582B
公开(公告)日：2023-06-13
申请号：CN202110953315.8
申请日：2021-08-19
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种基于液体透镜的面型检测方法，它主要是根据液体透镜的特性实现了自变焦的功能，在检测过程中改变电压，通过观察CCD接收到的从待测面反射的光信号的强度，当光强度达到极值即透镜焦距刚好在待测面的一个检测点上，以此时的电压反解液体透镜此时的焦距，从而得到待测面上一个被测点和液体透镜的相对位置，接着平移待测面，然后重复上述步骤，则会得到一个新的相对位置信息，最后根据需要得到一系列待测面上点的位置信息，分析得到待测面的面型。对于多种曲率的面型可以实现等同检测，因此结构紧凑，变焦快，响应快，减轻了检测流程的复杂度，加快了检测速度，降低了检测成本。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110132396A
公开(公告)日：2019-08-16
申请号：CN201910355076.9
申请日：2019-04-29
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种基于望远系统的高灵敏度的水下声波探测装置和方法，属于声学探测领域。该方法引入望远系统对水下超声信号进行聚焦，以提高水下声波探测器的灵敏度。具体通过望远系统对被测声信号进行聚焦，在其焦点位置，声压得到增强。当传统水下声波探测器的声敏感单元被放置在望远系统的焦点位置时，可以大大提高其声灵敏度。本方法原理简单，原则上适用于任何形式的水下声波探测器。
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公开(公告)号：CN117444315A
公开(公告)日：2024-01-26
申请号：CN202311583096.4
申请日：2023-11-24
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种用于回转轴上球缺的在线二次非插补加工装置及方法，包括刀具回转半径测量标定装置和修切装置，首先通过刀具回转半径测量标定装置对修切刀具的修切半径进行准确标定，然后将刀具修切半径调节至加工件待加工半径，利用修切电机旋转进而带动修切刀具沿以待加工半径圆周切线方向为运动路径加工，从而实现加工件的在线二次非插补的修整。本发明结构简单，稳定性强，能够解决车床由于插补运动导致加工表面产生波纹以及需要离线加工的问题，可适用于包括但不限于球、球缺、球冠形轮等零件的在线二次非插补加工。
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公开(公告)号：CN111854635B
公开(公告)日：2022-11-11
申请号：CN202010640723.3
申请日：2020-07-06
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种基于液体透镜的非球面检测方法，该方法主要是根据液体透镜的特性实现了自变焦的功能，又由非球面的补偿原理，可以相应的设计出由液体透镜进行补偿的补偿镜，在检测过程中完全补偿非球面的法线像差，产生与理想非球面一致波前，进而可以分析非球面的面形误差信息。对于多种曲率的非球面可以实现等同检测，同时对于补偿镜的补偿范围也相应的进行了提高，因此减轻了检测流程的复杂度，加快了检测速度，降低了检测成本。
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公开(公告)号：CN111623957B
公开(公告)日：2022-03-25
申请号：CN202010391522.4
申请日：2020-05-11
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种用于X射线聚焦镜拼接干涉检测的点云配准拼接方法。本发明首先对被测柱面镜进行子孔径划分，确定每个子孔径的大小和各个子孔径间的重叠区域；用干涉仪获取被测镜各个子孔径的面形信息后根据子孔径重叠区域面形的一致性，枚举并计算拼接方向误差范围内两个相邻子孔径重叠区域的残差；然后对残差进行平面拟合，拟合残差的均方根值最小时即为最佳点云配准；计算出所有相邻子孔径的最佳配准后，利用最小二乘法计算出刚体变换矩阵对子孔径进行位姿误差的补偿并完成面形拼接；本发明可保证在特征点提取困难且不借助其它精密设备的情况下仍有像素级的配准精度。
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公开(公告)号：CN110081988B
公开(公告)日：2021-09-21
申请号：CN201910274361.8
申请日：2019-04-08
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01J9/02
Abstract: 本发明涉及一种将空间载频相移算法用于四波横向剪切干涉仪波前斜率解调的方法，属于光学检测领域。该方法将空间载频相移算法用于四波横向剪切干涉仪波前斜率的解调，以最终实现全口径、高精度的动态波前测量。具体通过控制光栅周期与图像传感器像素尺寸之间的关系，来控制载波条纹相邻像素之间的相移量，并最终选择合适的相移算法实现波前斜率的解调。相比于传统四波横向剪切干涉仪利用快速傅里叶变换方法(Fast Fourier Transform,FFT)解调波前斜率，本方法计算过程简单，不存在FFT方法涉及的频谱截断与边缘效应，可以实现高精度的全口径动态波前测量。
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