一种去除残留熔滴的V形狭槽铟砷基材料液相外延石墨舟

    公开(公告)号:CN117568921A

    公开(公告)日:2024-02-20

    申请号:CN202311540645.X

    申请日:2023-11-20

    Abstract: 本发明公开了一种去除残留熔滴的V形狭槽铟砷基材料液相外延石墨舟,涉及半导体薄膜技术领域,包括盖板、母液槽块、衬底槽滑板和底座,底座具有U形槽,衬底槽滑板上开设有衬底放置槽,且衬底槽滑板能沿第一方向滑动设置在U形槽内;母液槽块与底座能拆卸地固连一起,母液槽块上开设有至少一个母液槽,母液槽在水平面上的投影能覆盖衬底放置槽在水平面上的投影,且各母液槽的一侧均设有一个V形狭槽,各V形狭槽的开口朝向均与衬底槽滑板从U形槽拉出的方向相同,V形狭槽的两端间距大于衬底放置槽宽度。通过在母液槽一侧设置V形狭槽,多余的残留母液被V形狭槽驱赶至外延薄膜之外,减少多余的母液,保证外延薄膜的可利用面积。

    一种可见盲红外探测器及其制备方法

    公开(公告)号:CN119317240A

    公开(公告)日:2025-01-14

    申请号:CN202411833223.6

    申请日:2024-12-13

    Abstract: 本发明属于光电探测器技术领域,具体涉及一种可见盲红外探测器及其制备方法。本发明提供的可见盲红外探测器,包括衬底;设置在所述衬底上表面的缓冲层;设置在所述缓冲层上表面的垂直纳米线阵列;设置在所述垂直纳米线阵列的间隙内的填充层,所述填充层的厚度与所述垂直纳米线阵列的高度相同;设置在所述垂直纳米线阵列和所述填充层上表面的透明电极。本发明无需额外的滤光片,利用纳米线阵列共振吸收效应调控垂直纳米线通道中光生非平衡载流子的收集效率,并通过引入纳米线‑衬底界面陷阱态,利用光诱导栅控效应增强近红外波段范围的光响应,从而实现高效的可见盲红外探测,且具有稳定性高和制备工艺简单的优点。

    一种雪崩红外探测器及其制备方法

    公开(公告)号:CN117747695A

    公开(公告)日:2024-03-22

    申请号:CN202311785798.0

    申请日:2023-12-25

    Abstract: 本发明属于红外探测器技术领域,具体涉及一种雪崩红外探测器及其制备方法。在本发明中,利用二维范德华材料原子层层数依赖的能带结构,通过构建同质结构,解决了传统异质结雪崩光电探测器晶格失配、缺陷等问题,能够抑制探测器产生复合电流、隧穿电流等主要的暗电流成分。利用突变同质结界面“尖峰”电场增强载流子间的库仑相互作用,抑制热载流子‑声子耦合作用,减少弛豫过程造成的能量损耗。本发明提供的雪崩红外探测器在室温工作条件下能够实现高速响应、高灵敏度、低雪崩阈值及高增益等优点,拓展雪崩红外探测器的应用空间。

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