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发明公开
一种基于蛋白分子的生物光电晶体管及其制备方法审中-实审

公开(公告)号：CN114512616A

公开(公告)日：2022-05-17

申请号：CN202210065833.0

申请日：2022-01-20

Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所

Inventor： 刘文清 , 张涛 , 王海露 , 刘方武 , 丁昆

IPC: H01L51/48 , H01L51/46 , H01L51/42

Abstract: 本发明提供了一种基于蛋白分子的生物光电晶体管及其制备方法，属于光电传感领域。生物光电晶体管包括：衬底、介质层、沟道层、光敏活性层。在硅衬底上生长一层二氧化硅介质层，将半导体材料转移至介质层制成沟道层，用电子束曝光的方法在所述的半导体材料上曝光预先设计好的电极图案，蒸镀电极，制成半导体晶体管，将光敏蛋白分子作为光敏活性层嫁接到所述的半导体晶体管上，制得所述的生物光电晶体管。

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