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公开(公告)号:CN106015034A
公开(公告)日:2016-10-12
申请号:CN201610539206.0
申请日:2016-07-11
Applicant: 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
CPC classification number: F04D19/046 , F04D19/048 , F04D25/06 , F04D29/002
Abstract: 本发明提供了一种高压比复合分子泵,该复合分子泵的压比量级为1010~1011,包括涡轮段和牵引段,涡轮段由动叶轮和静叶片组成,实现大抽速,牵引段由牵引鼓筒和牵引槽筒组成,实现高压比,本发明的高压比复合分子泵还在涡轮段和牵引段之间增加了盘式牵引功能,即在动叶轮组件上装配了牵引盘,在外槽筒上安装了双面加工有圆弧或直线槽的牵引槽盘,增加的两级牵引功能,可以有效提高分子泵的压比,降低真空腔内部的真空压力,提高复合分子泵的抽气性能,满足仪器对超低真空的要求。
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公开(公告)号:CN104632691A
公开(公告)日:2015-05-20
申请号:CN201510070999.1
申请日:2015-02-11
Applicant: 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
IPC: F04D29/056 , F04D29/58
Abstract: 本发明提供了一种涡轮分子泵轴承座,应用于小型涡轮分子泵等高速旋转机械领域,所述的涡轮分子泵轴承座包括波形弹簧、转子轴、滚动球轴承、摩擦片式径向弹簧、轴承座、轴承端盖、减振橡胶圈。滚动轴承的外圈与轴承座的内孔之间装有摩擦片式径向弹簧。摩擦片式径向弹簧采用金属材料制成,采用摩擦耳片可以使得摩擦片式径向弹簧具有弹性,摩擦耳片之间的相互摩擦将振动能量耗散,从而降低轴承的径向振动;采用金属材料,导热率大,能及时将轴承上的热量导出。通过摩擦片式径向弹簧实现径向减振和传热,降低了滚动轴承的轴向和径向载荷,减少了轴承的磨损,从而延长了分子泵的使用寿命。
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公开(公告)号:CN110757263A
公开(公告)日:2020-02-07
申请号:CN201911081921.4
申请日:2019-11-07
Applicant: 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
Abstract: 本发明公开了一种基于机械研磨法的微圆弧刃金刚石刀具微豁控制方法,依次包括步骤:步骤1,确定刀具刃口微豁位置和大小;步骤2,修磨刀具后刀面,去除刀具后刀面微豁,同时控制刀具圆弧大小;步骤3,粗磨刀具前刀面,去除刀具前刀面和刀尖附近的微豁;步骤4,精抛刀具前刀面,去除细微的微豁和缺陷区域,控制前刀面粗糙度以及刃口轮廓;步骤5,检测刀具质量,确定刀具刃口是否损伤,若有,将返回步骤2;若刀具刃口微豁减小、但仍有微豁则继续进行步骤4,直至刀具微豁消失、且圆弧尺寸达到需要值。本发明可有效避免崩裂、微豁复现等现象,以提高金刚石返修的效率;并减少了去除量,提高刀具反复利用次数,降低刀具使用成本。
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公开(公告)号:CN110757263B
公开(公告)日:2021-01-29
申请号:CN201911081921.4
申请日:2019-11-07
Applicant: 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
Abstract: 本发明公开了一种基于机械研磨法的微圆弧刃金刚石刀具微豁控制方法,依次包括步骤:步骤1,确定刀具刃口微豁位置和大小;步骤2,修磨刀具后刀面,去除刀具后刀面微豁,同时控制刀具圆弧大小;步骤3,粗磨刀具前刀面,去除刀具前刀面和刀尖附近的微豁;步骤4,精抛刀具前刀面,去除细微的微豁和缺陷区域,控制前刀面粗糙度以及刃口轮廓;步骤5,检测刀具质量,确定刀具刃口是否损伤,若有,将返回步骤2;若刀具刃口微豁减小、但仍有微豁则继续进行步骤4,直至刀具微豁消失、且圆弧尺寸达到需要值。本发明可有效避免崩裂、微豁复现等现象,以提高金刚石返修的效率;并减少了去除量,提高刀具反复利用次数,降低刀具使用成本。
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公开(公告)号:CN104348284A
公开(公告)日:2015-02-11
申请号:CN201410637239.X
申请日:2014-11-13
Applicant: 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
IPC: H02K3/42
CPC classification number: H02K3/42
Abstract: 本发明提供了一种分子泵电机线圈端部漏磁的隔磁结构,所述的隔磁结构中的隔磁片采用软磁铁氧体材料,粘接在隔磁片座内,压环外环面通过涂胶与隔磁片座内侧固定连接并压紧隔磁片,隔磁片座过盈装配在电机定子外壳上。本发明采用软磁铁氧体材料制成的隔磁片有效隔离了电机线圈端部漏磁形成的磁场,降低了分子泵中动叶轮附近的磁场强度,从而解决动叶轮因切割磁力线形成电涡流而发热的问题,进而控制动叶轮的应力和变形。
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公开(公告)号:CN204476836U
公开(公告)日:2015-07-15
申请号:CN201520096833.2
申请日:2015-02-11
Applicant: 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
IPC: F04D29/056 , F04D29/58
CPC classification number: F04D19/042 , F04D29/059 , F04D29/668
Abstract: 本实用新型提供了一种涡轮分子泵轴承座,应用于小型涡轮分子泵等高速旋转机械领域,所述的涡轮分子泵轴承座包括波形弹簧、转子轴、滚动球轴承、摩擦片式径向弹簧、轴承座、轴承端盖、减振橡胶圈。滚动轴承的外圈与轴承座的内孔之间装有摩擦片式径向弹簧。摩擦片式径向弹簧采用金属材料制成,采用摩擦耳片可以使得摩擦片式径向弹簧具有弹性,摩擦耳片之间的相互摩擦将振动能量耗散,从而降低轴承的径向振动;采用金属材料,导热率大,能及时将轴承上的热量导出。通过摩擦片式径向弹簧实现径向减振和传热,降低了滚动轴承的轴向和径向载荷,减少了轴承的磨损,从而延长了分子泵的使用寿命。
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公开(公告)号:CN204131269U
公开(公告)日:2015-01-28
申请号:CN201420675852.6
申请日:2014-11-13
Applicant: 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
IPC: H02K3/42
Abstract: 本实用新型提供了一种分子泵电机线圈端部漏磁的隔磁结构,所述的隔磁结构中的隔磁片采用软磁铁氧体材料,粘接在隔磁片座内,压环外环面通过涂胶与隔磁片座内侧固定连接并压紧隔磁片,隔磁片座过盈装配在电机定子外壳上。本实用新型采用软磁铁氧体材料制成的隔磁片有效隔离了电机线圈端部漏磁形成的磁场,降低了分子泵中动叶轮附近的磁场强度,从而解决动叶轮因切割磁力线形成电涡流而发热的问题,进而控制动叶轮的应力和变形。
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公开(公告)号:CN205779783U
公开(公告)日:2016-12-07
申请号:CN201620721864.7
申请日:2016-07-11
Applicant: 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
Abstract: 本实用新型提供了一种高压比复合分子泵,所述复合分子泵的压比量级为1010~1011,包括涡轮段和牵引段,涡轮段由动叶轮和静叶片组成,实现大抽速,牵引段由牵引鼓筒和牵引槽筒组成,实现高压比,本实用新型的高压比复合分子泵还在涡轮段和牵引段之间增加了盘式牵引功能,即在动叶轮组件上装配了牵引盘,在外槽筒上安装了双面加工有圆弧或直线槽的牵引槽盘,增加的两级牵引功能,可以有效提高分子泵的压比,降低真空腔内部的真空压力,提高复合分子泵的抽气性能,满足仪器对超低真空的要求。
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