一种高精度熔融石英微壳体谐振结构加工设备

    公开(公告)号:CN106082602B

    公开(公告)日:2018-12-28

    申请号:CN201610389435.9

    申请日:2016-06-02

    Abstract: 一种高精度熔融石英微壳体谐振结构加工设备,包包括XYZ三向给进机构、W向伺服旋转机构、成型模具以及高温火焰控制系统,所述高温火焰控制系统包括高温火焰喷枪,待加工石英片固定在成型模具上,成型模具与W向伺服旋转机构固定连接且W向伺服旋转机构能够带动成型模具同步高速旋转,XYZ三向进给机构和W向伺服旋转机构用于实现待加工石英片与高温火焰喷枪喷出的高温火焰的对准。本发明的熔融石英微壳体谐振结构加工设备能显著提升熔融石英微壳体谐振结构的加工精度,加工效率得到明显提升,同时该加工设备适用于多种尺寸范围和材料的谐振结构。

    一种折叠梁式高灵敏度微机械加速度计

    公开(公告)号:CN104502629B

    公开(公告)日:2017-05-24

    申请号:CN201410825165.2

    申请日:2014-12-27

    Abstract: 一种折叠梁式高灵敏度微机械加速度计,包括上盖、敏感硅结构和下盖,上盖设有上固定电容板,下盖设有下固定电容板,敏感硅结构包括固定框架、敏感质量块和折叠梁,固定框架各侧边均设有应力释放槽,固定框架于应力释放槽与固定框架内侧之间形成匹配梁,敏感质量块设于固定框架中间,并通过折叠梁连接于匹配梁上,上固定电容板包括上检测电极和上匹配电极,上匹配电极围设于上检测电极四周,下固定电容板包括下检测电极和下匹配电极,下匹配电极围设于下检测电极四周,敏感质量块位于上检测电极和下检测电极之间,匹配梁位于上匹配电极和下匹配电极之间。该折叠梁式高灵敏度微机械加速度计具有结构简单、制备方便、成本低廉、温度漂移小的优点。

    杯形波动陀螺杯形谐振子的非接触驱动检测系统及方法

    公开(公告)号:CN104848875B

    公开(公告)日:2016-11-30

    申请号:CN201510252495.1

    申请日:2015-05-18

    Abstract: 本发明涉及一种杯形波动陀螺杯形谐振子的非接触驱动检测系统及方法,包括谐振子、转台、支撑平台、转台电机、封闭罩和两个封闭罩支承座;谐振子通过其底部的安装基座固连在转台上,转台设置于支撑平台上;转台电机用于驱动转台旋转;支撑平台上两侧各竖直设有一个封闭罩支承座;封闭罩通过一矩形杆架设在两个封闭罩支承座的上部之间;封闭罩通过其底部的开口罩在谐振子上;封闭罩的下部周向设有六个开孔;其中两个开孔处各布置有一块电磁铁;剩余四个开孔中处各布置有一块麦克风芯片;电磁铁用于使谐振子发生共振,激励出驱动模态;麦克风芯片用于检测谐振子的波节点与波腹点的振动。本发明成本低廉,精度较高且不会损伤谐振子。

    蜂巢状盘形振动陀螺
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104990546A

    公开(公告)日:2015-10-21

    申请号:CN201510481987.8

    申请日:2015-08-07

    CPC classification number: G01C19/5691

    Abstract: 本发明提供一种蜂巢状盘形振动陀螺,包括谐振子以及设置在谐振子内部或/和外部的电极,所述谐振子为整体呈轴对称的圆盘形,圆盘形谐振子的中心为用于固定整个谐振子的锚点,圆盘形谐振子的外缘是一圈圆形的谐振环,连接谐振环与锚点的结构为呈周向周期分布的蜂巢拓扑形状的蜂巢形框架,蜂巢形框架内形成多圈呈周向周期分布的六边形的孔洞,整个蜂巢形框架和圆环构成谐振子的谐振结构。可以在谐振子的内部或外部或者内外同时设置用于驱动、检测和控制的电极,本发明的优点包括:较大的谐振质量;较多的驱动电极数目;较大的检测电容面积;丰富的控制电极数目等。

    一种离子束抛光路径的规划方法

    公开(公告)号:CN101274822B

    公开(公告)日:2010-08-11

    申请号:CN200810030958.X

    申请日:2008-03-31

    Abstract: 本发明公开了一种离子束抛光路径的规划方法,包括以下步骤:首先确定抛光工艺的去除函数,然后根据提出的螺旋线确定抛光路径以及路径上的加工点,再根据检测得到的待抛光光学镜面的面形误差分布数据和离子束抛光去除函数计算抛光过程中的驻留时间密度分布,根据驻留时间密度的分布计算抛光路径上各点的驻留时间,最后依据抛光路径上各点的坐标和该点的驻留时间,对待抛光光学镜面进行离子束抛光。本发明的优点在于能够使抛光工件的旋转轴速度趋于恒定,弱化了加工中最大转速要求的限制,缩短了加工时间,有利于提高抛光精度。

    一种大相对口径非球面镜相位恢复的检测装置与方法

    公开(公告)号:CN101290263B

    公开(公告)日:2010-04-14

    申请号:CN200810030810.6

    申请日:2008-03-14

    Abstract: 本发明公开了一种大相对口径非球面镜相位恢复的检测装置与方法,其装置包括安装在平台(2)上的激光源(1),分光棱镜(3),数码相机(4),所述分光棱镜(3)安装在激光源(1)的正前方,并与激光源(1)的光的射出方向呈45度夹角;所述数码相机(4)安装在激光源(1)的一侧,且与分光棱镜(3)按照光学成像原理布置;激光源(1)与分光棱镜(3)之间安装可变光阑(9),计算机(6)装载专用软件,通过电缆(5)与激光源(1)、数码相机(4)和平台(2)的支架(8)的运动机构电连接。本发明具有低成本、高精度、高效率的特点,适合于大口径非球面镜的生产企业、科研和检测单位使用。

    非球面镜衍射图像检测方法与装置

    公开(公告)号:CN100507488C

    公开(公告)日:2009-07-01

    申请号:CN200710034360.3

    申请日:2007-01-31

    Abstract: 本发明公开了一种非球面镜衍射图像检测方法和装置,它包括五自由度运动调整平台以及装设于平台上的CCD相机、激光点光源、半透半反镜以及被测非球面镜、含有面形重构算法程序的主控计算机。利用CCD相机,以被测镜定点曲率半径为原点,拍摄不同位置上离焦衍射光强图片,并记录位置参数,将拍摄的衍射光强图片、位置参数以及被测镜相关参数输入计算机,由计算机按镜面面形重构算法,对拍摄到的多幅衍射图像进行波面重构计算,得到被测镜面的面形误差分布,从而实现低成本、高精度、高效率的非球面镜中高频误差检测。

    一种大相对口径非球面镜相位恢复的检测装置与方法

    公开(公告)号:CN101290263A

    公开(公告)日:2008-10-22

    申请号:CN200810030810.6

    申请日:2008-03-14

    Abstract: 本发明公开了一种大相对口径非球面镜相位恢复的检测装置与方法,其装置包括安装在平台(2)上的激光源(1),分光棱镜(3),数码相机(4),所述分光棱镜(3)安装在激光源(1)的正前方,并与激光源(1)的光的射出方向呈45度夹角;所述数码相机(4)安装在激光源(1)的一侧,且与分光棱镜(3)按照光学成像原理布置;激光源(1)与分光棱镜(3)之间安装可变光阑(9),计算机(6)装载专用软件,通过电缆(5)与激光源(1)、数码相机(4)和平台(2)的支架(8)的运动机构电连接。本发明具有低成本、高精度、高效率的特点,适合于大口径非球面镜的生产企业、科研和检测单位使用。

    自动化保偏光纤耦合器熔融拉锥装置

    公开(公告)号:CN100343711C

    公开(公告)日:2007-10-17

    申请号:CN200510032378.0

    申请日:2005-11-15

    Abstract: 本发明公开了一种自动化保偏光纤耦合器熔融拉锥装置,它包括工作平台以及装设于工作平台上的自动对轴机构、中间靠近机构、熔融拉锥机构、在线封装机构以及主控计算机,工作平台上设有呈左右对称布置的左、右机械平台以及控制面板;自动对轴机构包括四组结构完全相同的电动旋转机构、光源和显微图像系统,四组电动旋转机构呈对角线状设于左、右机械平台上,光源和显微图像系统设于工作平台上;中间靠近机构设于左、右机械平台上的中心线位置处,熔融拉锥机构包括热源和运动拉锥机构,左、右机械平台分别固定于运动拉锥机构上。本发明是一种结构紧凑、能够实现制作自动化,从而能够提高产品质量和精度的自动化保偏光纤耦合器熔融拉锥装置。

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