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公开(公告)号：CN105588554B
公开(公告)日：2018-05-29
申请号：CN201610042776.9
申请日：2016-01-22
Applicant: 中国人民解放军国防科学技术大学
IPC: G01C19/56 , G01C19/5783
Abstract: 本发明公开了一种周期化微壳体谐振结构及其制备方法，该周期化微壳体谐振结构包括一端开口、另一端封闭的半球状壳体，所述半球状壳体垂直于中心轴线的截面为环状截面，所述环状截面的内径呈周期性连续变化，且自半球状壳体的开口端至封闭端所述环状截面的内径递减。制备方法包括以下步骤：将一石英片置于一成型空腔之上，对所述石英片进行加热，同时对所述成型空腔进行抽真空，将软化的石英片吸附至所述成型空腔的腔壁上，得到周期化微壳体谐振结构。本发明的周期化微壳体谐振结构能够显著提升结构的工作稳定性和环境适应性，而且该谐振子结构的环向尺寸较大，周期精度易于保证，大大降低了谐振结构对相对加工精度的要求。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105588554A
公开(公告)日：2016-05-18
申请号：CN201610042776.9
申请日：2016-01-22
Applicant: 中国人民解放军国防科学技术大学
IPC: G01C19/56 , G01C19/5783
CPC classification number: G01C19/56 , G01C19/5783
Abstract: 本发明公开了一种周期化微壳体谐振结构及其制备方法，该周期化微壳体谐振结构包括一端开口、另一端封闭的半球状壳体，所述半球状壳体垂直于中心轴线的截面为环状截面，所述环状截面的内径呈周期性连续变化，且自半球状壳体的开口端至封闭端所述环状截面的内径递减。制备方法包括以下步骤：将一石英片置于一成型空腔之上，对所述石英片进行加热，同时对所述成型空腔进行抽真空，将软化的石英片吸附至所述成型空腔的腔壁上，得到周期化微壳体谐振结构。本发明的周期化微壳体谐振结构能够显著提升结构的工作稳定性和环境适应性，而且该谐振子结构的环向尺寸较大，周期精度易于保证，大大降低了谐振结构对相对加工精度的要求。
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公开(公告)号：CN106082602A
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：CN201610389435.9
申请日：2016-06-02
Applicant: 中国人民解放军国防科学技术大学
IPC: C03B20/00
CPC classification number: C03B23/035
Abstract: 一种高精度熔融石英微壳体谐振结构加工设备，包包括XYZ三向给进机构、W向伺服旋转机构、成型模具以及高温火焰控制系统，所述高温火焰控制系统包括高温火焰喷枪，待加工石英片固定在成型模具上，成型模具与W向伺服旋转机构固定连接且W向伺服旋转机构能够带动成型模具同步高速旋转，XYZ三向进给机构和W向伺服旋转机构用于实现待加工石英片与高温火焰喷枪喷出的高温火焰的对准。本发明的熔融石英微壳体谐振结构加工设备能显著提升熔融石英微壳体谐振结构的加工精度，加工效率得到明显提升，同时该加工设备适用于多种尺寸范围和材料的谐振结构。
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公开(公告)号：CN105698780B
公开(公告)日：2018-06-22
申请号：CN201610042778.8
申请日：2016-01-22
Applicant: 中国人民解放军国防科学技术大学
IPC: G01C19/567
Abstract: 本发明公开了一种微壳体振动陀螺及其制备方法，该微壳体振动陀螺包括微壳体陀螺谐振子和玻璃基板，微壳体陀螺谐振子设于玻璃基板上，微壳体陀螺谐振子包括回转壳体和多个敏感质量元件，敏感质量元件均布于回转壳体底部的外圆周，回转壳体和多个敏感质量元件相对于玻璃基板的面上设有金属膜，玻璃基板包括多个固定电容板，多个固定电容板上与多个敏感质量元件一一对应。制备方法包括：高精度靠模制备微壳体陀螺谐振子和微装配。该微壳体振动陀螺基于面外驱动和检测，具有便于加工且加工精度高、驱动和检测效率高、便于模态和频率修调、鲁棒性好、成本低廉等优点，该制备方法能极大提高微壳体陀螺谐振子的三维曲面面形加工精度和结构对称度。
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公开(公告)号：CN105698780A
公开(公告)日：2016-06-22
申请号：CN201610042778.8
申请日：2016-01-22
Applicant: 中国人民解放军国防科学技术大学
IPC: G01C19/567
CPC classification number: G01C19/567
Abstract: 本发明公开了一种微壳体振动陀螺及其制备方法，该微壳体振动陀螺包括微壳体陀螺谐振子和玻璃基板，微壳体陀螺谐振子设于玻璃基板上，微壳体陀螺谐振子包括回转壳体和多个敏感质量元件，敏感质量元件均布于回转壳体底部的外圆周，回转壳体和多个敏感质量元件相对于玻璃基板的面上设有金属膜，玻璃基板包括多个固定电容板，多个固定电容板上与多个敏感质量元件一一对应。制备方法包括：高精度靠模制备微壳体陀螺谐振子和微装配。该微壳体振动陀螺基于面外驱动和检测，具有便于加工且加工精度高、驱动和检测效率高、便于模态和频率修调、鲁棒性好、成本低廉等优点，该制备方法能极大提高微壳体陀螺谐振子的三维曲面面形加工精度和结构对称度。
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公开(公告)号：CN106082602B
公开(公告)日：2018-12-28
申请号：CN201610389435.9
申请日：2016-06-02
Applicant: 中国人民解放军国防科学技术大学
IPC: C03B20/00
Abstract: 一种高精度熔融石英微壳体谐振结构加工设备，包包括XYZ三向给进机构、W向伺服旋转机构、成型模具以及高温火焰控制系统，所述高温火焰控制系统包括高温火焰喷枪，待加工石英片固定在成型模具上，成型模具与W向伺服旋转机构固定连接且W向伺服旋转机构能够带动成型模具同步高速旋转，XYZ三向进给机构和W向伺服旋转机构用于实现待加工石英片与高温火焰喷枪喷出的高温火焰的对准。本发明的熔融石英微壳体谐振结构加工设备能显著提升熔融石英微壳体谐振结构的加工精度，加工效率得到明显提升，同时该加工设备适用于多种尺寸范围和材料的谐振结构。
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