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公开(公告)号：CN104671189B
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：CN201510085418.1
申请日：2015-02-17
Applicant: 中国人民解放军国防科学技术大学
Abstract: 本发明公开了一种带有导通组件的微机械传感器及其加工方法。该微机械传感器包括上盖、敏感硅结构和下盖，所述上盖上设有上固定电容板，所述下盖上设有与所述上固定电容板相对的下固定电容板，所述敏感硅结构设于上固定电容板和下固定电容板之间，所述上盖和下盖之间还设有用于将所述上固定电容板的金属电极引至下盖的导通组件，有效解决上盖板电极的引出难题，结构简单、成本低廉；本发明的加工方法，包括以下步骤：S1：加工下盖、上盖、敏感硅结构和导通硅桥；S2：固连；S3：激光划片加工，该方法简便易行，大大降低了加工成本和加工工艺难度。
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公开(公告)号：CN103116143B
公开(公告)日：2015-01-14
申请号：CN201310023615.1
申请日：2013-01-22
Applicant: 中国人民解放军国防科学技术大学
IPC: G01R33/09
Abstract: 一种一体式高精度三轴磁传感器，包括四个磁测量单元、信号输出和偏置电极、平面内聚集器、四个磁变轨聚集器、四个凹坑以及基底，所述平面聚集器采用自身对称式结构并位于基底的中间位置处，所述四个磁变轨聚集器在平面聚集器的四面呈对称状分布，每个所述磁变轨聚集器均位于一个凹坑中；每个磁测量单元均包括用两个GMR敏感元件和两个GMR参考元件构成的惠斯通电桥。本发明具有结构简单紧凑、体积小、制造方便、制作成本低廉、灵敏度高等优点。
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公开(公告)号：CN104390639B
公开(公告)日：2017-10-03
申请号：CN201410606833.2
申请日：2014-10-31
Applicant: 中国人民解放军国防科学技术大学
IPC: G01C19/5776
Abstract: 本发明公开了一种用于微机械陀螺的刻度因数稳定性提升方法及装置，方法步骤如下：检测环境温度；生成高频方波信号并根据环境温度生成模拟电压信号；将高频方波信号作为开关调制的控制信号，对放大后的模拟电压信号与GND信号进行开关调制得到两路相位相反的载波信号并作为检测载波加载至微机械陀螺；装置包括温度传感器、单片机、放大电路和开关调制模块，开关调制模块将开关调制得到两路相位相反的载波信号作为检测载波加载至微机械陀螺。本发明能够精确消除刻度因数的温度漂移、提高微机械陀螺输出性能，具有体积小、成本低、功耗小等优点。
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公开(公告)号：CN104502629A
公开(公告)日：2015-04-08
申请号：CN201410825165.2
申请日：2014-12-27
Applicant: 中国人民解放军国防科学技术大学
IPC: G01P15/00 , G01P15/125
Abstract: 一种折叠梁式高灵敏度微机械加速度计，包括上盖、敏感硅结构和下盖，上盖设有上固定电容板，下盖设有下固定电容板，敏感硅结构包括固定框架、敏感质量块和折叠梁，固定框架各侧边均设有应力释放槽，固定框架于应力释放槽与固定框架内侧之间形成匹配梁，敏感质量块设于固定框架中间，并通过折叠梁连接于匹配梁上，上固定电容板包括上检测电极和上匹配电极，上匹配电极围设于上检测电极四周，下固定电容板包括下检测电极和下匹配电极，下匹配电极围设于下检测电极四周，敏感质量块位于上检测电极和下检测电极之间，匹配梁位于上匹配电极和下匹配电极之间。该折叠梁式高灵敏度微机械加速度计具有结构简单、制备方便、成本低廉、温度漂移小的优点。
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公开(公告)号：CN103323795A
公开(公告)日：2013-09-25
申请号：CN201310247033.1
申请日：2013-06-21
Applicant: 中国人民解放军国防科学技术大学
IPC: G01R33/09
Abstract: 一种一体式三轴磁传感器，包括磁测量单元、软磁块、玻璃板和基座，所述磁测量单元为四个且呈十字型状对称布置在玻璃板上，所述玻璃板安装在基座的上方，所述基座的表面设有一个凹槽，所述软磁块放置于凹槽内且软磁块位于四个磁测量单元的中心处。本发明具有结构简单紧凑、体积小、成本低廉、制作方便、分辨率高等优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104296738B
公开(公告)日：2017-02-08
申请号：CN201410604008.9
申请日：2014-10-31
Applicant: 中国人民解放军国防科学技术大学
IPC: G01C19/5776
Abstract: 本发明公开了一种用于微机械陀螺的驱动稳定性提升方法及装置，方法步骤如下：根据微机械陀螺输出的电压信号生成与微机械陀螺的驱动模态固有频率相同且与驱动微机械陀螺的交流驱动电压同相的低频信号，将所述低频信号作为直流偏置电压加载到并联在微机械陀螺的驱动极板间的并联电容上，通过直流偏置电压和交流驱动电压、驱动高频正弦载波共同驱动微机械陀螺；装置包括低频信号获取电路和并联电容，并联电容并联在微机械陀螺的驱动极板间。本发明能够克服微机械陀螺加工精度误差引起的驱动电容不匹配而引起的驱动不稳定、提升微
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公开(公告)号：CN105424017B
公开(公告)日：2017-01-18
申请号：CN201610018610.3
申请日：2016-01-12
Applicant: 中国人民解放军国防科学技术大学
IPC: G01C19/56
Abstract: 本发明公开了一种基于切向静电力驱动的三层结构硅微陀螺，包括上玻璃盖板、下玻璃盖板及采用低电阻率硅制成的硅敏感结构，硅敏感结构布置于上玻璃盖板、下玻璃盖板之间，硅敏感结构的应力释放框架的中部设有主梁，主梁上设有偶数组质量块，每组质量块包括相对主梁对称布置的两个质量块，质量块分别通过支撑梁和主梁相连，上玻璃盖板、下玻璃盖板上均设有偶数组金属电极，一组金属电极和一组质量块一一对应，且每组质量块位于上玻璃盖板上对应的金属电极、下玻璃盖板上对应的金属电极之间。本发明具有驱动振幅不受电容间隙限制、结构对称性好、受空气阻尼影响小、灵敏度高、结构简单的优点。
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公开(公告)号：CN103323794B
公开(公告)日：2015-07-15
申请号：CN201310246989.X
申请日：2013-06-21
Applicant: 中国人民解放军国防科学技术大学
IPC: G01R33/09
Abstract: 一种采用平面微线圈的GMR-MEMS集成弱磁传感器，其中微压电桥的基座包括第一基座和第二基座，基座定在垫片上，垫片固定在绝缘基底上，桥身连接于第一基座和第二基座之间；压电片设置于桥身上并位于第一基座和第二基座之间；GMR敏感元件设置在桥身的下方并呈对称状布置，GMR敏感元件中磁力线聚集器包括第一磁力线聚集器和第二磁力线聚集器且之间留有间隙，GMR电阻包括构成惠斯通电桥的第一GMR电阻、第二GMR电阻、第三GMR电阻和第四GMR电阻，第一GMR电阻位于第一磁力线聚集器内，第二GMR电阻位于第二磁力线聚集器内，第三GMR电阻和第四GMR电阻位于间隙内；调制膜连接于桥身上处于与调制膜正对的位置处。本发明具有结构简单、噪声小、成本低廉、磁滞低等优点。
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公开(公告)号：CN104535797A
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：CN201410825011.3
申请日：2014-12-27
Applicant: 中国人民解放军国防科学技术大学
IPC: G01P15/125
Abstract: 本发明公开了一种单片双轴蝶翼式微机械加速度计，包括敏感硅结构和玻璃基板，所述敏感硅结构设有四件作为活动电容板的敏感质量块，所述玻璃基板上设有与所述四个敏感质量块一一对应且相对设置的固定电容板，所述敏感硅结构与玻璃基板键合连接，所述敏感硅结构还包括固定框架、支撑斜梁和梯形悬臂梁，所述四件敏感质量块分别为两件平板质量块和两件凹板质量块，所述支撑斜梁两端连接于固定框架内侧并将固定框架内侧分隔为两个区域，各区域分别设一件平板质量块和一件凹板质量块，各敏感质量块通过梯形悬臂梁连接于支撑斜梁上。该单片双轴蝶翼式微机械加速度计具有较好温度稳定性、鲁棒性好、成本低廉的优点。
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公开(公告)号：CN104296738A
公开(公告)日：2015-01-21
申请号：CN201410604008.9
申请日：2014-10-31
Applicant: 中国人民解放军国防科学技术大学
IPC: G01C19/5776
CPC classification number: G01C19/5776
Abstract: 本发明公开了一种用于微机械陀螺的驱动稳定性提升方法及装置，方法步骤如下：根据微机械陀螺输出的电压信号生成与微机械陀螺的驱动模态固有频率相同且与驱动微机械陀螺的交流驱动电压同相的低频信号，将所述低频信号作为直流偏置电压加载到并联在微机械陀螺的驱动极板间的并联电容上，通过直流偏置电压和交流驱动电压、驱动高频正弦载波共同驱动微机械陀螺；装置包括低频信号获取电路和并联电容，并联电容并联在微机械陀螺的驱动极板间。本发明能够克服微机械陀螺加工精度误差引起的驱动电容不匹配而引起的驱动不稳定、提升微机械陀螺的检测精度和可靠性。
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