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公开(公告)号：CN102540750B
公开(公告)日：2015-02-11
申请号：CN201010618422.7
申请日：2010-12-30
Applicant: 上海微电子装备有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种光刻设备环境控制系统，包括被控单元，为被控对象；冷却水输送单元，提供冷却水源，并将冷却水输出；温度控制单元，将冷却水输送单元输出的冷却水源进行温度调节后，去控制被控单元的温度；空气输送单元，用于输送空气给被控单元。本发明光刻设备环境控制系统，能够通过制冷和加热方式精确控制被控单元的温度。
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公开(公告)号：CN101502812B
公开(公告)日：2011-03-30
申请号：CN200910045873.3
申请日：2009-01-23
Applicant: 上海微电子装备有限公司
Abstract: 一种复合型水箱装置，属于温控水箱装置领域。所述水箱通过隔热层将水箱隔离设置为上部的补水箱和下部的加热水箱；通过隔热层上开孔，形成一个或一个以上的用于直接向加热水箱补充溶液的补水口；溶液经由进水口、经加热水箱的加热器加热后，从出水口输出。该水箱具有结构紧凑、体积小、控温精度高的特点。
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公开(公告)号：CN101502812A
公开(公告)日：2009-08-12
申请号：CN200910045873.3
申请日：2009-01-23
Applicant: 上海微电子装备有限公司
Abstract: 一种复合型水箱装置，属于温控水箱装置领域。所述水箱通过隔热层将水箱隔离设置为上部的补水箱和下部的加热水箱；通过隔热层上开孔，形成一个或一个以上的用于直接向加热水箱补充溶液的补水口；溶液经由进水口、经加热水箱的加热器加热后，从出水口输出。该水箱具有结构紧凑、体积小、控温精度高的特点。
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公开(公告)号：CN103294086B
公开(公告)日：2015-06-17
申请号：CN201210045255.0
申请日：2012-02-27
Applicant: 上海微电子装备有限公司
IPC: G05D27/02
Abstract: 本发明提供一种恒温液循环装置，用于输送恒温液给外部装置，其包含制冷装置单元、循环液回路单元、控制装置：所述的制冷装置单元包括电动三通阀、蒸发装置、冷凝装置、压缩机及膨胀装置，所述压缩机的进口端与蒸发装置的一个出口端相连，压缩机的出口端与电动三通阀相连接；所述的循环液回路单元包括温度传感器、变频装置及泵，所述蒸发装置为三进三出结构，三个进口端分别连接电动三通阀、膨胀装置、外部装置；三个出口端分别连接冷凝装置、压缩机、泵，所述的控制装置与温度传感器相连接，所述温度传感器采集循环液的温度，所述控制装置用于根据温度传感器的信号控制电动三通阀的开度。本发明的恒温液循环装置成本低、体积小、能降低系统能耗。
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公开(公告)号：CN102954639B
公开(公告)日：2015-03-25
申请号：CN201110247640.9
申请日：2011-08-25
Applicant: 上海微电子装备有限公司
IPC: F25B49/02
Abstract: 本发明提出一种温控装置和温控方法，用于控制流经外部装置的循环液的温度。温控装置包括制冷装置、循环液回路单元和控制器。制冷装置包括蒸发装置和冷凝装置。循环液回路单元包括电动三通阀和温度传感器。循环液通过电动三通阀进入蒸发装置和冷凝装置。当温度传感器感测到循环液的温度高于设定值，控制器控制电动三通阀增大循环液流经冷凝装置的比例，当循环液的温度低于设定值，减少循环液流经冷凝装置的比例。本发明提出的温控装置和温控方法，既避免了为防止压缩机排气温度过高而采取的两路旁通回路引起的控制复杂性，又因减少采用压缩机制冷系统而达到节能的目的。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103363745A
公开(公告)日：2013-10-23
申请号：CN201210100404.9
申请日：2012-04-06
Applicant: 上海微电子装备有限公司
IPC: F25B49/02
Abstract: 本发明提供了一种制冷装置，包括蒸发器、压缩机、电磁阀、电子膨胀阀以及冷凝器，该电磁阀连接于压缩机并与该压缩机一起连接于冷凝器，该蒸发器连接有压缩机以及电子膨胀阀，并且该电子膨胀阀连接至冷凝器，该制冷装置还包括控制单元、过热度控制器、第一温度传感器、第二温度传感器、第三温度传感器、压力传感器，该第一温度传感器、该第二温度传感器以及该压力传感器分别传输测量值至控制单元；该第三温度传感器和该压力传感器分别传输测量值至该过热度控制器，该过热度控制器与电子膨胀阀连接。本发明还提供了温控方法，该制冷装置及其温控方法，提高了制冷装置制冷量输出的响应时间，使温控系统很快进入稳定阶段，同时提高了温度控制精度。
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公开(公告)号：CN103363745B
公开(公告)日：2016-04-20
申请号：CN201210100404.9
申请日：2012-04-06
Applicant: 上海微电子装备有限公司
IPC: F25B49/02
Abstract: 本发明提供了一种制冷装置，包括蒸发器、压缩机、电磁阀、电子膨胀阀以及冷凝器，该电磁阀连接于压缩机并与该压缩机一起连接于冷凝器，该蒸发器连接有压缩机以及电子膨胀阀，并且该电子膨胀阀连接至冷凝器，该制冷装置还包括控制单元、过热度控制器、第一温度传感器、第二温度传感器、第三温度传感器、压力传感器，该第一温度传感器、该第二温度传感器以及该压力传感器分别传输测量值至控制单元；该第三温度传感器和该压力传感器分别传输测量值至该过热度控制器，该过热度控制器与电子膨胀阀连接。本发明还提供了温控方法，该制冷装置及其温控方法，提高了制冷装置制冷量输出的响应时间，使温控系统很快进入稳定阶段，同时提高了温度控制精度。
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公开(公告)号：CN102243441B
公开(公告)日：2015-06-17
申请号：CN201010172670.3
申请日：2010-05-12
Applicant: 上海微电子装备有限公司
Abstract: 本发明提出一种温度控制装置，用以控制一元件的温度。温度控制装置沿气体流向包括减压阀、涡流管、喷嘴。减压阀连接至气体输入接口，气体经过气体输入接口进入温度控制装置，减压阀调节气体气压并输出。涡流管包括入口、冷端和热端，入口连接至减压阀，涡流管处理气体后，分别从冷端和热端输出气体。喷嘴连接至冷端，输出气体对元件进行喷吹。控制器电性连接至减压阀，用以控制减压阀的输出的气体气压。一种具有温度控制装置的投影曝光装置及温度控制方法也一并提出。本发明提出的温度控制装置能够控制任何利用冷气流进行温度控制的元件，方法简洁，应用灵活。
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公开(公告)号：CN102954639A
公开(公告)日：2013-03-06
申请号：CN201110247640.9
申请日：2011-08-25
Applicant: 上海微电子装备有限公司
IPC: F25B49/02
Abstract: 本发明提出一种温控装置和温控方法，用于控制流经外部装置的循环液的温度。温控装置包括制冷装置、循环液回路单元和控制器。制冷装置包括蒸发装置和冷凝装置。循环液回路单元包括电动三通阀和温度传感器。循环液通过电动三通阀进入蒸发装置和冷凝装置。当温度传感器感测到循环液的温度高于设定值，控制器控制电动三通阀增大循环液流经冷凝装置的比例，当循环液的温度低于设定值，减少循环液流经冷凝装置的比例。本发明提出的温控装置和温控方法，既避免了为防止压缩机排气温度过高而采取的两路旁通回路引起的控制复杂性，又因减少采用压缩机制冷系统而达到节能的目的。
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公开(公告)号：CN103091994B
公开(公告)日：2016-02-03
申请号：CN201110341896.6
申请日：2011-11-02
Applicant: 上海微电子装备有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提出一种气体温度控制装置，包括：气体侧管路，液体侧管路，以及控制器；所述液体侧管路由第一回路与第二回路组成，所述液体侧管路连接于所述热交换器；其中所述第二回路包括电动双通阀，手动调压阀，循环泵与温度传感器；所述第一回路则包括球阀，过滤器与温度传感器。本发明提出了气体温度控制装置，此装置采用两级液体循环控温系统，且对冷却或加热的循环液体无精度要求，通过控制进入回路内的液体流量，进行冷热补偿，可获得较高的气体温控精度，从而保证光刻机内温度的稳定性和均匀性指标。
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