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公开(公告)号：CN101502812B
公开(公告)日：2011-03-30
申请号：CN200910045873.3
申请日：2009-01-23
Applicant: 上海微电子装备有限公司
Abstract: 一种复合型水箱装置，属于温控水箱装置领域。所述水箱通过隔热层将水箱隔离设置为上部的补水箱和下部的加热水箱；通过隔热层上开孔，形成一个或一个以上的用于直接向加热水箱补充溶液的补水口；溶液经由进水口、经加热水箱的加热器加热后，从出水口输出。该水箱具有结构紧凑、体积小、控温精度高的特点。
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公开(公告)号：CN101502812A
公开(公告)日：2009-08-12
申请号：CN200910045873.3
申请日：2009-01-23
Applicant: 上海微电子装备有限公司
Abstract: 一种复合型水箱装置，属于温控水箱装置领域。所述水箱通过隔热层将水箱隔离设置为上部的补水箱和下部的加热水箱；通过隔热层上开孔，形成一个或一个以上的用于直接向加热水箱补充溶液的补水口；溶液经由进水口、经加热水箱的加热器加热后，从出水口输出。该水箱具有结构紧凑、体积小、控温精度高的特点。
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公开(公告)号：CN101364116B
公开(公告)日：2011-03-30
申请号：CN200810200084.8
申请日：2008-09-18
Applicant: 上海微电子装备有限公司
Abstract: 本发明公开了一种恒温控制装置，对流体介质通过加热、冷却处理后的充分混合来控制流体介质温度恒定。本发明通过在装置外部设置制冷器、内部设置加热器和混合区，同时在装置外部设置隔离区等技术手段，解决了外界温度环境对装置内部流体温度的热传导所带来的干扰以及流体介质混合不均匀造成的温度波动。
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公开(公告)号：CN101551179A
公开(公告)日：2009-10-07
申请号：CN200910050696.8
申请日：2009-05-06
Applicant: 上海微电子装备有限公司
IPC: F25B21/02 , F25B49/00 , G05B19/048
Abstract: 本发明提供了一种制冷系统及制冷方法，所述制冷系统包括控制器、功率驱动模块、半导体制冷模块、安全检测模块和管路控制模块，还包括硬线安全互锁模块，当发生故障时，硬线安全互锁模块接收安全检测模块和功率驱动模块输出的故障信号，控制功率驱动模块断开半导体制冷器的直流电源，并将故障信号传输至控制器进行处理，提高了制冷系统的安全性，所述制冷系统包括三相电源滤波模块，解决了现有的制冷系统产生谐波干扰的问题，提高了制冷系统的电磁兼容性。本发明所提供的制冷方法根据制冷量的需求，选择需启动的半导体制冷器数量，扩大了制冷系统的应用范围，并降低能耗。
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公开(公告)号：CN101364116A
公开(公告)日：2009-02-11
申请号：CN200810200084.8
申请日：2008-09-18
Applicant: 上海微电子装备有限公司
Abstract: 本发明公开了一种恒温控制装置，对流体介质通过加热、冷却处理后的充分混合来控制流体介质温度恒定。本发明通过在装置外部设置制冷器、内部设置加热器和混合区，同时在装置外部设置隔离区等技术手段，解决了外界温度环境对装置内部流体温度的热传导所带来的干扰以及流体介质混合不均匀造成的温度波动。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101609262B
公开(公告)日：2011-08-10
申请号：CN200910054733.2
申请日：2009-07-14
Applicant: 上海微电子装备有限公司
Abstract: 本发明涉及一种光刻机投影物镜的温度控制装置，包括：至少一水套，该水套包括水套体和双螺旋缠绕在该水套体外壁的水管；用于感测该光刻机的投影物镜的温度的至少一温度传感器；分流集流板通过该分流集流管向该水套体的水管提供循环水并接收该水套体的水管内的回流水，该分流集流管上设置有用于控制该水管内的循环水流量的调节阀；循环水控制单元控制循环水的温度，并通过该传输管向该分流集流板提供循环水；投影物镜温度控制单元用于接收该温度传感器感测到的该投影物镜的温度，该投影物镜温度控制单元根据该投影物镜温度值调节该循环水控制单元提供的循环水的温度和该调节阀的打开程度。本发明的光刻机投影物镜的温度控制装置能够保证该投影物镜整体温度的均匀性与稳定性。
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公开(公告)号：CN101587357A
公开(公告)日：2009-11-25
申请号：CN200910051057.3
申请日：2009-05-12
Applicant: 上海微电子装备有限公司 , 华中科技大学
Abstract: 本发明提供了一种温度控制方法，该方法包括以下步骤：设定该温度控制系统所要输出的循环冷却液的预期温度值；根据循环冷却液出口当前温度值与预期温度值之间的偏差，调整加热模块与制冷模块功率输出，控制温度的变化；将控制温度的变化过程分为至少三个阶段，所述三个阶段为M1、M2、M3，其中，M1阶段用以提高温度控制系统的响应速度，快速接近预期温度值；M2阶段用以控制温度变化的斜率；M3阶段用以使系统当前的温度值稳定在预期温度值处。本发明提供的温度控制方法及其温度控制系统将控制温度的变化过程分为若干阶段，使循环冷却液的温度快速达到设定温度点，并提高了控制温度的精度。
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公开(公告)号：CN101587355A
公开(公告)日：2009-11-25
申请号：CN200910054223.5
申请日：2009-06-30
Applicant: 上海微电子装备有限公司
IPC: G05D23/01 , G05D23/185 , G05D23/19
Abstract: 本发明提供了一种温度控制装置及其温度控制方法，该装置包括水泵、热交换器、三通阀、循环冷却液槽、压缩机、电子膨胀阀，所述循环冷却液槽内含有一电加热器，所述三通阀含有第一、二输入端和一输出端，所述热交换器分别含有第一、二输入端和第一、二输出端，所述三通阀的输出端与所述循环冷却液槽的输入端连接，第一输入端与水泵的输出端连接，第二输入端与所述热交换器的第二输出端连接；所述热交换器的第一输入端与电子膨胀阀的输出端连接，第一输出端与压缩机的输入端连接，第二输入端与水泵的输出端连接。本发明提供的温度控制装置及其温度控制方法控制简单，精度高，节能。
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公开(公告)号：CN101551179B
公开(公告)日：2011-02-02
申请号：CN200910050696.8
申请日：2009-05-06
Applicant: 上海微电子装备有限公司
IPC: F25B21/02 , F25B49/00 , G05B19/048
Abstract: 本发明提供了一种制冷系统及制冷方法，所述制冷系统包括控制器、功率驱动模块、半导体制冷模块、安全检测模块和管路控制模块，还包括硬线安全互锁模块，当发生故障时，硬线安全互锁模块接收安全检测模块和功率驱动模块输出的故障信号，控制功率驱动模块断开半导体制冷器的直流电源，并将故障信号传输至控制器进行处理，提高了制冷系统的安全性，所述制冷系统包括三相电源滤波模块，解决了现有的制冷系统产生谐波干扰的问题，提高了制冷系统的电磁兼容性。本发明所提供的制冷方法根据制冷量的需求，选择需启动的半导体制冷器数量，扩大了制冷系统的应用范围，并降低能耗。
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公开(公告)号：CN101551595B
公开(公告)日：2010-12-29
申请号：CN200910050404.0
申请日：2009-04-30
Applicant: 上海微电子装备有限公司 , 华中科技大学
IPC: G03F9/00
Abstract: 本发明提出一种光刻机投影物镜温度控制方法，通过温度控制单元(TCU)将物镜温度调整到物镜温度设定值，包括以下控制阶段：初始化系统参数，决定进入哪个控制阶段；预调节TCU内部水温至设定值；采用开关控制，以物镜温度为控制变量，将物镜温度控制在P2阶段的目标精度以内；采用带史密斯预估器的串级控制算法，以物镜温度为主控变量，主控回路采用增量式PID算法，以集流板处水温为副控变量，副控回路采用增量式PI算法；采用不带史密斯预估器的串级控制算法，以物镜温度为主控变量，主控回路采用增量式PI算法，以集流板处水温为副控变量，副控回路采用增量式PI算法；使用增量式PI算法，控制变量为集流板处水温。
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