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公开(公告)号：CN118259559B
公开(公告)日：2025-02-07
申请号：CN202410383008.4
申请日：2024-03-29
Applicant: 上海交通大学 , 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供一种参数控制方法以及曝光方法，参数控制方法包括：在扫描曝光前，获取基板面形数据和掩模面形数据；基于基板面形数据和掩模面形数据，得到工件台调整量和物镜调整量，并形成工件台运动轨迹和物镜运动轨迹；对物镜运动轨迹进行平滑处理，得到平滑后的物镜调整量，以使得物镜运动时间不大于工件台运动时间或曝光档位切换时间；基于工件台调整量形成第一系数，基于平滑后的物镜调整量形成第二系数。如此配置，通过优化物镜运动轨迹，使得物镜运动时间与工件台运动时间或曝光档位切换时间相匹配，曝光时间不在受限于物镜运动时间，有效提升了曝光设备的产率，也避免因曝光档位调整造成的曝光场的过曝或欠曝现象，提升了产品的良率。
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公开(公告)号：CN118259559A
公开(公告)日：2024-06-28
申请号：CN202410383008.4
申请日：2024-03-29
Applicant: 上海交通大学 , 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供一种参数控制方法以及曝光方法，参数控制方法包括：在扫描曝光前，获取基板面形数据和掩模面形数据；基于基板面形数据和掩模面形数据，得到工件台调整量和物镜调整量，并形成工件台运动轨迹和物镜运动轨迹；对物镜运动轨迹进行平滑处理，得到平滑后的物镜调整量，以使得物镜运动时间不大于工件台运动时间或曝光档位切换时间；基于工件台调整量形成第一系数，基于平滑后的物镜调整量形成第二系数。如此配置，通过优化物镜运动轨迹，使得物镜运动时间与工件台运动时间或曝光档位切换时间相匹配，曝光时间不在受限于物镜运动时间，有效提升了曝光设备的产率，也避免因曝光档位调整造成的曝光场的过曝或欠曝现象，提升了产品的良率。
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公开(公告)号：CN107256332A
公开(公告)日：2017-10-17
申请号：CN201710378148.2
申请日：2017-05-24
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种基于眼动数据的脑电实验评估系统及方法，通过眼动仪采集对象眼动数据，根据眼动数据中的注视点建立时间‑空间模型；然后使用动态时间规整算法快速技术计算序列之间相似程度并构建距离矩阵，再通过基于密度的聚类算法进行离群点检测，并根据聚类结果采用学习排序训练模型，经量化排序后得到对象的参与度；本发明能够客观量化评价对象参与实验认真程度，为实验以及模型形成反馈，以保证数据质量以及提高模型预测精确度。对对象参与实验的程度进行了量化的评估，构造了情绪识别实验的量化反馈。
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公开(公告)号：CN107256332B
公开(公告)日：2020-09-29
申请号：CN201710378148.2
申请日：2017-05-24
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种基于眼动数据的脑电实验评估系统及方法，通过眼动仪采集对象眼动数据，根据眼动数据中的注视点建立时间‑空间模型；然后使用动态时间规整算法快速技术计算序列之间相似程度并构建距离矩阵，再通过基于密度的聚类算法进行离群点检测，并根据聚类结果采用学习排序训练模型，经量化排序后得到对象的参与度；本发明能够客观量化评价对象参与实验认真程度，为实验以及模型形成反馈，以保证数据质量以及提高模型预测精确度。对对象参与实验的程度进行了量化的评估，构造了情绪识别实验的量化反馈。
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公开(公告)号：CN109541547A
公开(公告)日：2019-03-29
申请号：CN201811389353.X
申请日：2018-11-21
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01S5/20
Abstract: 一种基于水声定位的无人船入港引导系统及引导方法，系统包括：水下应答器、岸上基站、水面无人船，所述的岸上基站包括引导控制系统；所述的通信系统包含基站-无人船通信系统与基站-水下应答器通信系统，所述的水面无人船上设有换能器、无人船运动控制器以及陀螺仪，在入港引导区域的岸边设立多个码头，在入港引导区域的水下设置所述的水下应答器阵列。本发明使进入入港引导区域的水面无人船可以自主地实现在特定的码头位置靠泊，对无人船的智能要求低，定位精度高，无人船需操作的步骤简单可靠，适用于未来无人船、无人艇港口，具有很高的应用价值。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109541547B
公开(公告)日：2023-04-21
申请号：CN201811389353.X
申请日：2018-11-21
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01S5/20
Abstract: 一种基于水声定位的无人船入港引导系统及引导方法，系统包括：水下应答器、岸上基站、水面无人船，所述的岸上基站包括引导控制系统；所述的通信系统包含基站‑无人船通信系统与基站‑水下应答器通信系统，所述的水面无人船上设有换能器、无人船运动控制器以及陀螺仪，在入港引导区域的岸边设立多个码头，在入港引导区域的水下设置所述的水下应答器阵列。本发明使进入入港引导区域的水面无人船可以自主地实现在特定的码头位置靠泊，对无人船的智能要求低，定位精度高，无人船需操作的步骤简单可靠，适用于未来无人船、无人艇港口，具有很高的应用价值。
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公开(公告)号：CN118092085B
公开(公告)日：2025-04-25
申请号：CN202410383129.9
申请日：2024-03-29
Applicant: 上海交通大学 , 上海微电子装备(集团)股份有限公司
Abstract: 本发明提供了一种曝光方法及曝光装置。曝光方法，其一边使掩模与基板在第一方向上同步移动，一边通过投影光学系统对该基板执行曝光，以使掩模上的图案被转移至基板上；以及移动动作，其使该基板在与第一方向正交的第二方向上移动；曝光方法还包括：动态对准系统与设置在基板或基板台上的动态对准标记对向设置，动态对准标记设置为长条形且其长度方向为第一方向；通过动态对准系统，在基板沿所述第一方向的移动过程中以预设的检测间隔时长对动态对准标记进行检测；动态对准系统基于检测结果，使得掩模与基板的位置吻合。本发明能够提高基板台在高速运动工况下的定位效率和定位精度，能够提高产率。
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公开(公告)号：CN118092085A
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN202410383129.9
申请日：2024-03-29
Applicant: 上海交通大学 , 上海微电子装备(集团)股份有限公司
Abstract: 本发明提供了一种曝光方法及曝光装置。曝光方法，其一边使掩模与基板在第一方向上同步移动，一边通过投影光学系统对该基板执行曝光，以使掩模上的图案被转移至基板上；以及移动动作，其使该基板在与第一方向正交的第二方向上移动；曝光方法还包括：动态对准系统与设置在基板或基板台上的动态对准标记对向设置，动态对准标记设置为长条形且其长度方向为第一方向；通过动态对准系统，在基板沿所述第一方向的移动过程中以预设的检测间隔时长对动态对准标记进行检测；动态对准系统基于检测结果，使得掩模与基板的位置吻合。本发明能够提高基板台在高速运动工况下的定位效率和定位精度，能够提高产率。
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公开(公告)号：CN111409781A
公开(公告)日：2020-07-14
申请号：CN202010354343.3
申请日：2020-04-29
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明提供一种基于PID控制器的船舶调载系统，包括依次连接的一观测系统、一计算系统和一执行系统，所述计算系统计算来自所述观测系统的观测数据并根据计算结果控制所述执行系统自动调载。本发明的一种基于PID控制器的船舶调载系统，可实现船舶装载过程中的自动调载，以保证浮托安装工程的安全和高效。
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公开(公告)号：CN116680526A
公开(公告)日：2023-09-01
申请号：CN202310581422.1
申请日：2023-05-23
Applicant: 上海交通大学
IPC: G06F18/15 , G06F18/24 , G06F18/214
Abstract: 一种基于样本最近邻信息缺失值填补的汽车故障诊断系统，包括：数据归一化模块、特征填补顺序计算模块、数据填补模块、数据反归一化模块与故障诊断输出模块，本发明首先对接收的不完整数据集进行归一化；之后，系统基于F检验(F‑test)确定数据特征填补顺序；之后，系统基于不完整样本的最近邻信息，对其包含的缺失值按照特征填补顺序进行填补；在填补后，系统对数据集进行反归一化，并输出完整的汽车故障数据集；最后，系统建立XGBoost(极端梯度提升树)模型，并使用获取的完整数据集对其进行训练，最终实现高精度的汽车故障诊断。
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