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公开(公告)号：CN103443024A
公开(公告)日：2013-12-11
申请号：CN201180069317.5
申请日：2011-04-13
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: C01B13/11
CPC classification number: C01B13/11 , C01B2201/64 , C01B2201/76 , C01B2201/90
Abstract: 本发明提供一种运行成本较低的臭氧产生系统。该臭氧产生系统包括存储电费单价的电费单价存储部、以及存储气费单价的气费单价存储部，根据存储在电费单价存储部中的电费单价、存储在气费单价存储部中的气费单价、以及臭氧化气体所要求的所需臭氧产生量，对于作为臭氧产生量基础参数的臭氧浓度及气体流量决定使运行成本最低的值，控制气体流量调节器以使得变成为该决定的气体流量，并控制臭氧产生器用电源的功率以使得变成为所决定的臭氧浓度。
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公开(公告)号：CN101128964B
公开(公告)日：2012-05-09
申请号：CN200680006165.3
申请日：2006-03-16
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: H01T19/00 , C01B13/11 , C01B2201/12 , C01B2201/14 , C01B2201/22 , C01B2201/24 , C01B2201/32 , C01B2201/34 , C01B2201/60 , C01B2201/64 , C01B2201/76 , C01B2201/90
Abstract: 在本发明的无声放电式等离子体产生装置包括电介体、夹着电介体而相对地配置的1组电极、向电极之间施加交流电压而使其放电的交流电源，向产生放电的放电空间供给气体而形成等离子体。电极的至少一个由形成在电介体上的导电性供电薄膜构成，在电介体破损而在电极之间产生了电弧放电的情况下，使产生了电弧放电的部分的供电薄膜消失或氧化，使得停止产生电弧放电。
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公开(公告)号：CN100531866C
公开(公告)日：2009-08-26
申请号：CN200710139977.1
申请日：2005-06-29
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: Y02A50/235
Abstract: 本发明的VOC处理装置具备：与处理对象气体接触以吸附挥发性有机化合物的吸附体1C；以与该吸附剂1C的一部分接触的方式发生放电的多个电极对1A、1D；以及通过对该电极对1A、1D施加电压来控制在哪个电极对1A、1D中发生放电的放电控制机构3，其中，电极对1A、1D被分成多个组，放电控制机构3对电极对1A、1D的每个组施加电压，以使不同的吸附体1C的部分顺序地与放电接触。
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公开(公告)号：CN101108298A
公开(公告)日：2008-01-23
申请号：CN200710139977.1
申请日：2005-06-29
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: Y02A50/235
Abstract: 本发明的VOC处理装置具备：与处理对象气体接触以吸附挥发性有机化合物的吸附体1C；以与该吸附剂1C的一部分接触的方式发生放电的多个电极对1A、1D；以及通过对该电极对1A、1D施加电压来控制在哪个电极对1A、1D中发生放电的放电控制机构3，其中，电极对1A、1D被分成多个组，放电控制机构3对电极对1A、1D的每个组施加电压，以使不同的吸附体1C的部分顺序地与放电接触。
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公开(公告)号：CN1178263A
公开(公告)日：1998-04-08
申请号：CN97117950.6
申请日：1997-09-01
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 本发明的课题是获得一种与基材密接性好、高硬高且平整性出色的高质量金刚石状碳(DLC)薄膜。它包括:在真空槽1内保持基材3的基材基座4;调整基材3温度的基材温度调整机构6;与基材3相对的气体离子源10;在基材3上加电压的偏置手段5,上述气体离子源10由与基材3相对设有节流孔的反应气体导入室11;热电子辐射手段12;热电子引出电极13和加速电极15组成。此外,包括具有热电子辐射手段12和向基材3加速离子的加速电极15的气体离子源10,同时具有相对于加速电极15在基材3上加电压的第1偏置手段20和在热电子辐射手段12上加电压的第2偏置手段21,第1、第2偏置手段设法分别按时间函数加电压。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1119975A
公开(公告)日：1996-04-10
申请号：CN95106168.2
申请日：1995-06-02
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: B23K26/00
CPC classification number: B23K26/046 , B23K26/04 , B23K26/043 , B23K26/048 , B23K26/066 , H05K3/0026 , H05K2203/056
Abstract: 一种用光束对工件进行光学处理的光学处理装置。该装置不管是否更换掩模和工件，均能自动将成像放大倍数调整至一预定值，并同时使成像放大倍数保持为常数，并能延长掩模的使用寿命。该装置包括一光源、一成像透镜、一掩模移动机构、一工件移动机构、一成像放大倍数改变机构以及一中央控制单元。该中央控制单元含有一实际成像放大倍数运算模块、一放大倍数判定模块、一光轴位移控制模块以及一位移控制模块。
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公开(公告)号：CN110678953A
公开(公告)日：2020-01-10
申请号：CN201780091147.8
申请日：2017-05-31
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 本发明的臭氧产生装置构成为具备多个在电压施加电极和接地金属电极之间隔着电介质而具有放电间隙的放电管，含氧的气体流过放电间隙，并在电压施加电极和接地金属电极之间施加来自交流电源的交流电压，从而使含氧的气体放电进而成为臭氧化气体，该臭氧产生装置在从交流电源向多个放电管各自的电压施加电极供电的中途，连接有电流切断元件，该电流切断元件由在将因过电流流过而熔融的熔断器导体与中间导体的两侧分别连接而得的熔断部件的两侧分别连接有板状的固定电极，各自的固定电极的板面通过固定材料固定于电介质的基台表面而得。
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公开(公告)号：CN105378865A
公开(公告)日：2016-03-02
申请号：CN201380077965.4
申请日：2013-07-18
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: H01F27/085 , H01F27/266 , H01F37/00
Abstract: 空气冷却式电抗器包括：风洞(9)，该风洞(9)与成对的线圈(2)保持绝缘距离，并从铁心(3)的磁轭部(3b)包围成对的线圈(2)的至少一部分，将冷却风向成对的线圈(2)的流动引导至脚部(3c)的延伸方向；支承结构构件(4)，该支承结构构件(4)固定于磁轭部(3b)，在风洞(9)内对铁心(3)及成对的线圈(2)进行支承；及挡风板(8)，该挡风板(8)遮挡成对的线圈(2)与风洞(9)之间的间隙的一部分，在支承结构构件(4)上，与线圈(2)的内部间隙(Fc2、Fc3)对应地形成有用于使冷却风通过的通风口(4h)。
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公开(公告)号：CN104144874A
公开(公告)日：2014-11-12
申请号：CN201380011846.9
申请日：2013-02-12
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: C01B13/11
CPC classification number: C01B13/11 , B01J19/088 , B01J2219/00051 , B01J2219/00164 , B01J2219/0809 , C01B2201/10 , C01B2201/14 , C01B2201/22 , C01B2201/32 , C01B2201/64 , C01B2201/76 , C01B2201/90 , Y02P20/129
Abstract: 本发明的臭氧产生机构具备具有形成放电空间(305)的放电电极(30)的臭氧产生装置(3)、气体供给装置(1)、向放电电极(30)供给功率的电源装置、调节放电电极(30)的温度的温度调节装置(7)、控制臭氧产生装置(3)的运转的控制部(4)、检测臭氧产生装置(3)中的臭氧产生参数(Di)的检测部(25)，控制部(4)根据从检测部(25)输出的臭氧产生参数(Di)的值，从通常的运转模式向洁净化运转模式转移，在该洁净化运转模式中，联合控制温度调节装置(7)和气体供给装置(1)或者温度调节装置(7)和电源装置，使放电电极(30)的温度上升到使五氧化二氮气化的温度，并使在放电空间(305)中的臭氧的产生继续的状态下，将放电电极(30)表面以及放电空间(305)洁净化。
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公开(公告)号：CN101891155A
公开(公告)日：2010-11-24
申请号：CN201010157111.5
申请日：2010-03-31
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: C01B13/11
CPC classification number: C01B13/11 , C01B2201/64 , C01B2201/76
Abstract: 一种即便流过大的短路电流也能防止由于供电电刷熔化造成玻璃管破损的可靠性高的臭氧产生装置，内壁形成有金属膜的圆筒状玻璃管的外部同心地设有圆筒状金属管，向金属膜与金属管之间施加来自交流高压电源的交流高电压，使得流过玻璃管与金属管之间的间隙的含有氧气的气体放电，从而产生臭氧，通过金属制的电刷轴和在电刷轴周围固定有许多金属细线的供电电刷从交流高压电源向玻璃管内壁的金属膜供电，当设许多金属细线中在电刷轴单位长度上的根数为N，金属细线的线径为d，许多金属细线形成的金属细线束的外径为D1，电刷轴的外径为D2，电刷轴表面的金属细线的线密度β＝N×d2/(4×D2)时，(D2/D1)≥1/[1+(1/20β)]。
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