公开(公告)号：CN88100511A

公开(公告)日：1988-08-31

申请号：CN88100511

申请日：1988-02-01

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 吉武男 ,  松下嘉文 ,  皆川忠郎 ,  铃木敏弘 ,  山畸一郎

IPC: G01N31/22 ,  H02H5/00 ,  G01R31/02

CPC classification number: G01N27/041 ,  G01N17/00

Abstract: 本发明提供了一种用于充有SF6气体之电气设备的内部异常检测装置，该装置的检测元件包括：(1)不与SF6分解气体起反应的绝缘材料所制成的基板；(2)设置在所说基板上的一对电极；(3)敷设在所说基板上，并与上述一对电极接合的金属薄膜(例如银薄膜)，该薄膜与SF6分解气体一接触即能生成使导电性能下降的氟化物。本发明灵敏度高，可检出低浓度的SF6分解气体；能及早发现充有SF6气体之电气设备的内部异常情况；并可使之稳定运转。

公开(公告)号：CN1009957B

公开(公告)日：1990-10-10

申请号：CN88100511

申请日：1988-02-01

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 吉岡武男 ,  松下嘉文 ,  皆川忠郎 ,  铃木敏弘 ,  山畸一郎

IPC: G01N27/12

CPC classification number: G01N27/041 ,  G01N17/00

Abstract: 本发明提供了一种用于充有六氟化硫(SF6)气体之电气设备的内部异常检测装置，该装置的检测元件包括：(1)不与SF6分解气体起反应的绝缘材料所制成的基板；(2)设置在所说基板上的一对电极；(3)敷设在所说基板上，并与上述一对电极接合的金属薄膜(例如银薄膜)，该薄膜与SF6分解气体一接触即能生成使导电性能下降的氟化物。本发明灵敏度高，可检出低浓度的SF6分解气体；能及早发现充有SF6气体之电气设备的内部异常情况；并可使之稳定运转。

公开(公告)号：CN1119975A

公开(公告)日：1996-04-10

申请号：CN95106168.2

申请日：1995-06-02

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 中谷元 ,  杉立厚志 ,  出云正雄 ,  皆川忠郎 ,  八木俊憲 ,  头本信行 ,  南谷靖史 ,  松下嘉文

IPC: B23K26/00

CPC classification number: B23K26/046 ,  B23K26/04 ,  B23K26/043 ,  B23K26/048 ,  B23K26/066 ,  H05K3/0026 ,  H05K2203/056

Abstract: 一种用光束对工件进行光学处理的光学处理装置。该装置不管是否更换掩模和工件，均能自动将成像放大倍数调整至一预定值，并同时使成像放大倍数保持为常数，并能延长掩模的使用寿命。该装置包括一光源、一成像透镜、一掩模移动机构、一工件移动机构、一成像放大倍数改变机构以及一中央控制单元。该中央控制单元含有一实际成像放大倍数运算模块、一放大倍数判定模块、一光轴位移控制模块以及一位移控制模块。