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公开(公告)号：CN1122737A
公开(公告)日：1996-05-22
申请号：CN95115859.7
申请日：1995-08-30
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: B23K26/00
CPC classification number: B23K26/083 , B23K26/066
Abstract: 一种即使在经受多次反射的准分子激光束的强度分度为不均匀时也能对工件进行光学处理的准分子激光束辐照装置。一图形掩模具有透光部分和反射层。与反射层相对，设置一个高反射率反射镜。该辐照装置还包括一个成像透镜、一个工件移动机构、一个掩模移动机构和一个控制单元。采用该装置可以按照图形掩模的图形，准确可靠地对工件进行均匀稳定的加工处理。
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公开(公告)号：CN1174993A
公开(公告)日：1998-03-04
申请号：CN97114671.3
申请日：1997-07-14
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: G01N27/407
CPC classification number: G01N27/4074
Abstract: 本发明提供一种气敏元件,所述气敏元件可以在低浓度下反复使用,又,其响应速度快,且可长时间地稳定地使用。所述气敏元件设置有固体电解质2、粘附于该固体电解质2的一个侧面上、与被检测气体接触的检测电极1、粘附于该固体电解质2的另一个侧面上的对置电极3、及用于在上述二电极之间外加电压、或引出电信号的引线5—1、5—2;作为构成上述二电极的材料,可以使用难以与被检测气体反应、形成反应生成物的惰性物质。
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公开(公告)号：CN1119975A
公开(公告)日：1996-04-10
申请号：CN95106168.2
申请日：1995-06-02
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: B23K26/00
CPC classification number: B23K26/046 , B23K26/04 , B23K26/043 , B23K26/048 , B23K26/066 , H05K3/0026 , H05K2203/056
Abstract: 一种用光束对工件进行光学处理的光学处理装置。该装置不管是否更换掩模和工件，均能自动将成像放大倍数调整至一预定值，并同时使成像放大倍数保持为常数，并能延长掩模的使用寿命。该装置包括一光源、一成像透镜、一掩模移动机构、一工件移动机构、一成像放大倍数改变机构以及一中央控制单元。该中央控制单元含有一实际成像放大倍数运算模块、一放大倍数判定模块、一光轴位移控制模块以及一位移控制模块。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1897199B
公开(公告)日：2010-09-22
申请号：CN200610105473.3
申请日：2006-05-18
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 一种气体绝缘开关装置，其在密封绝缘气体的容器内容纳有开关元件，该开关元件包括压缩绝缘气体且灭弧的缓冲缸、具有与所述缓冲缸的滑动接触部滑动接触的滑动接触部的通电装置等，在所述缓冲缸的滑动接触部上形成比较软的镀膜，在所述通电装置的滑动接触部上形成比较硬的镀膜，对于所述各滑动接触部的银镀膜，其内层由软质膜形成，作为表面部分的外层由硬质膜形成。
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公开(公告)号：CN88100511A
公开(公告)日：1988-08-31
申请号：CN88100511
申请日：1988-02-01
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: G01N27/041 , G01N17/00
Abstract: 本发明提供了一种用于充有SF6气体之电气设备的内部异常检测装置，该装置的检测元件包括：(1)不与SF6分解气体起反应的绝缘材料所制成的基板；(2)设置在所说基板上的一对电极；(3)敷设在所说基板上，并与上述一对电极接合的金属薄膜(例如银薄膜)，该薄膜与SF6分解气体一接触即能生成使导电性能下降的氟化物。本发明灵敏度高，可检出低浓度的SF6分解气体；能及早发现充有SF6气体之电气设备的内部异常情况；并可使之稳定运转。
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公开(公告)号：CN1897199A
公开(公告)日：2007-01-17
申请号：CN200610105473.3
申请日：2006-05-18
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 一种气体绝缘开关装置，其在密封绝缘气体的容器内容纳有开关元件，该开关元件包括压缩绝缘气体且灭弧的缓冲缸、具有与所述缓冲缸的滑动接触部滑动接触的滑动接触部的通电装置等，在所述缓冲缸的滑动接触部上形成比较软的镀膜，在所述通电装置的滑动接触部上形成比较硬的镀膜，对于所述各滑动接触部的银镀膜，其内层由软质膜形成，作为表面部分的外层由硬质膜形成。
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公开(公告)号：CN1080885C
公开(公告)日：2002-03-13
申请号：CN97114671.3
申请日：1997-07-14
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: G01N27/407
CPC classification number: G01N27/4074
Abstract: 本发明提供一种气敏元件，所述气敏元件可以在低浓度下反复使用，又，其响应速度快，且可长时间地稳定地使用。所述气敏元件设置有固体电解质2、粘附于该固体电解质2的一个侧面上、与被检测气体接触的检测电极1、粘附于该固体电解质2的另一个侧面上的对置电极3、及用于在上述二电极之间外加电压、或引出电信号的引线5-1、5-2；作为构成上述二电极的材料，可以使用难以与被检测气体反应、形成反应生成物的惰性物质。
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公开(公告)号：CN1009957B
公开(公告)日：1990-10-10
申请号：CN88100511
申请日：1988-02-01
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: G01N27/12
CPC classification number: G01N27/041 , G01N17/00
Abstract: 本发明提供了一种用于充有六氟化硫(SF6)气体之电气设备的内部异常检测装置，该装置的检测元件包括：(1)不与SF6分解气体起反应的绝缘材料所制成的基板；(2)设置在所说基板上的一对电极；(3)敷设在所说基板上，并与上述一对电极接合的金属薄膜(例如银薄膜)，该薄膜与SF6分解气体一接触即能生成使导电性能下降的氟化物。本发明灵敏度高，可检出低浓度的SF6分解气体；能及早发现充有SF6气体之电气设备的内部异常情况；并可使之稳定运转。
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