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公开(公告)号：CN1311434A
公开(公告)日：2001-09-05
申请号：CN01104547.7
申请日：2001-02-12
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: G01N27/416
CPC classification number: H02B13/065 , G01R31/1254
Abstract: 本发明的气体绝缘电器故障判定装置,对具有圆筒状金属容器、放置在贮满绝缘气体的金属容器内部的带电导体、以及绝缘支撑该带电导体离开金属容器并将金属容器内部分隔为气体分区的多个绝缘间隔物的气体绝缘电器,进行故障判定,其中包括:分别对随气体分区内接地、短路故障所发生的高速现象/低速现象进行检测的高速现象/低速现象用传感器;分别根据高速现象/低速现象用传感器的输出判定是否有故障的故障判定电路;根据这2个故障判定电路的输出确定发生故障的金属容器气体分区的运算控制电路。因此,可提高故障判定的可靠性。
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公开(公告)号：CN1061444A
公开(公告)日：1992-05-27
申请号：CN91110723.1
申请日：1991-11-08
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 一种薄膜形成装置，包括一真空室；从真空室抽去空气以向真空室提供真空的抽真空装置；和在真空室内生成沉淀物集结的熔炉。该薄膜形成装置进一步包括把熔炉生成的部分集结物予以电离的电离装置；加速由电离装置电离的集结物和未电离的集结物以使两者与真空室内的基片碰撞的加速装置；和滤去小于预定大小的集结物的过滤装置，该集结物系由电离装置电离。
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公开(公告)号：CN1171091C
公开(公告)日：2004-10-13
申请号：CN01104547.7
申请日：2001-02-12
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: G01R31/12
CPC classification number: H02B13/065 , G01R31/1254
Abstract: 本发明的气体绝缘电器故障判定装置，对具有圆筒状金属容器、放置在贮满绝缘气体的金属容器内部的带电导体、以及绝缘支撑该带电导体离开金属容器并将金属容器内部分隔为气体分区的多个绝缘间隔物的气体绝缘电器，进行故障判定，其中包括：分别对随气体分区内接地、短路故障所发生的高速现象/低速现象进行检测的高速现象/低速现象用传感器；分别根据高速现象/低速现象用传感器的输出判定是否有故障的故障判定电路；根据这2个故障判定电路的输出确定发生故障的金属容器气体分区的运算控制电路。因此，可提高故障判定的可靠性。
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公开(公告)号：CN1178263A
公开(公告)日：1998-04-08
申请号：CN97117950.6
申请日：1997-09-01
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 本发明的课题是获得一种与基材密接性好、高硬高且平整性出色的高质量金刚石状碳(DLC)薄膜。它包括:在真空槽1内保持基材3的基材基座4;调整基材3温度的基材温度调整机构6;与基材3相对的气体离子源10;在基材3上加电压的偏置手段5,上述气体离子源10由与基材3相对设有节流孔的反应气体导入室11;热电子辐射手段12;热电子引出电极13和加速电极15组成。此外,包括具有热电子辐射手段12和向基材3加速离子的加速电极15的气体离子源10,同时具有相对于加速电极15在基材3上加电压的第1偏置手段20和在热电子辐射手段12上加电压的第2偏置手段21,第1、第2偏置手段设法分别按时间函数加电压。
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