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公开(公告)号：CN1122737A
公开(公告)日：1996-05-22
申请号：CN95115859.7
申请日：1995-08-30
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: B23K26/00
CPC classification number: B23K26/083 , B23K26/066
Abstract: 一种即使在经受多次反射的准分子激光束的强度分度为不均匀时也能对工件进行光学处理的准分子激光束辐照装置。一图形掩模具有透光部分和反射层。与反射层相对，设置一个高反射率反射镜。该辐照装置还包括一个成像透镜、一个工件移动机构、一个掩模移动机构和一个控制单元。采用该装置可以按照图形掩模的图形，准确可靠地对工件进行均匀稳定的加工处理。
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公开(公告)号：CN102570299A
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN201110410586.5
申请日：2011-12-12
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01S5/0683
CPC classification number: H01S5/4025 , H01S5/0014 , H01S5/0071 , H01S5/0687
Abstract: 本发明得到一种可以抑制从多个半导体激光器向后面方向出射的激光的波长监视特性的偏差的波长监视器。一种波长监视器，其特征在于，对从在半导体基板(1)中并列地形成的2个以上的半导体激光器(101～112)出射的激光的波长进行监视，具备：使来自各半导体激光器(101～112)的激光准直的准直透镜(2)；配置成可以入射由准直透镜(2)准直了的激光且具有周期性的干涉仪(3)；以及接收透射了干涉仪(3)的激光而检测光强度的光检测器(4)，从各半导体激光器(101～112)出射的激光的干涉仪(3)内的光线传输角度成为通过式1得到的规定的角度。
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公开(公告)号：CN1119975A
公开(公告)日：1996-04-10
申请号：CN95106168.2
申请日：1995-06-02
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: B23K26/00
CPC classification number: B23K26/046 , B23K26/04 , B23K26/043 , B23K26/048 , B23K26/066 , H05K3/0026 , H05K2203/056
Abstract: 一种用光束对工件进行光学处理的光学处理装置。该装置不管是否更换掩模和工件，均能自动将成像放大倍数调整至一预定值，并同时使成像放大倍数保持为常数，并能延长掩模的使用寿命。该装置包括一光源、一成像透镜、一掩模移动机构、一工件移动机构、一成像放大倍数改变机构以及一中央控制单元。该中央控制单元含有一实际成像放大倍数运算模块、一放大倍数判定模块、一光轴位移控制模块以及一位移控制模块。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102570299B
公开(公告)日：2015-03-25
申请号：CN201110410586.5
申请日：2011-12-12
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01S5/0683
CPC classification number: H01S5/4025 , H01S5/0014 , H01S5/0071 , H01S5/0687
Abstract: 本发明得到一种可以抑制从多个半导体激光器向后面方向出射的激光的波长监视特性的偏差的波长监视器。一种波长监视器，其特征在于，对从在半导体基板(1)中并列地形成的2个以上的半导体激光器(101～112)出射的激光的波长进行监视，具备：使来自各半导体激光器(101～112)的激光准直的准直透镜(2)；配置成可以入射由准直透镜(2)准直了的激光且具有周期性的干涉仪(3)；以及接收透射了干涉仪(3)的激光而检测光强度的光检测器(4)，从各半导体激光器(101～112)出射的激光的干涉仪(3)内的光线传输角度成为通过式1得到的规定的角度。
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公开(公告)号：CN102656502B
公开(公告)日：2015-02-04
申请号：CN200980162984.0
申请日：2009-12-18
Applicant: 三菱电机株式会社
Inventor： 杉立厚志
IPC: G02B27/28
CPC classification number: G02B6/4246 , G02B6/4204 , G02B6/4208 , G02B6/4214 , G02B6/4215
Abstract: 光模块（101）具备外壳（1）、固定于外壳（1）而发出第一光信号（L1）的第一光输出部（11）、与第一光输出部（11）不同角度地固定于外壳（1）而发出波长与第一光信号（L1）不同的第二光信号（L2）的第二光输出部（12）、以使第一光信号（L1）和第二光信号（L2）的光轴部分重叠的方式使第一光信号（L1）和第二光信号（L2）中的至少某一方的光信号折射的第一分支滤波器（61）、以及配置于第一光信号（L1）和第二光信号（L2）的光轴重叠的部分而对第一光信（L1）和第二光信号（L2）进行隔绝的1个隔离器（80）。
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公开(公告)号：CN103026278B
公开(公告)日：2016-04-27
申请号：CN201080068241.X
申请日：2010-07-27
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: G02B6/42
CPC classification number: G02B6/32 , G02B6/4204 , G02B6/4215
Abstract: 一种光模块，通过透镜（2）使从发光元件（1）出射的光经由波长分离滤波器（3）成像在光纤中，所述波长分离滤波器（3）在包含所述光纤（4）的长度方向的平面内相对于所述光纤的长度方向具有规定的角度，通过以下的（1）、（2）、（3）产生的像散抵消所述波长分离滤波器中产生的像散。（1）使所述发光元件在所述平面内向与所述透镜的中心轴正交的方向偏移地配置。（2）在所述透镜与所述波长分离滤波器之间具备电介质基板，该电介质基板在与所述平面正交的平面中的包含所述透镜的中心轴的平面内具有倾斜。（3）在所述透镜与所述波长滤波器之间配置光隔离器，该光隔离器是在与所述平面正交的平面中的包含所述透镜的中心轴的平面中具有倾斜的平行平板。
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公开(公告)号：CN103026278A
公开(公告)日：2013-04-03
申请号：CN201080068241.X
申请日：2010-07-27
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: G02B6/42
CPC classification number: G02B6/32 , G02B6/4204 , G02B6/4215
Abstract: 一种光模块，通过透镜（2）使从发光元件（1）出射的光经由波长分离滤波器（3）成像在光纤中，所述波长分离滤波器（3）在包含所述光纤（4）的长度方向的平面内相对于所述光纤的长度方向具有规定的角度，通过以下的（1）、（2）、（3）产生的像散抵消所述波长分离滤波器中产生的像散。（1）使所述发光元件在所述平面内向与所述透镜的中心轴正交的方向偏移地配置。（2）在所述透镜与所述波长分离滤波器之间具备电介质基板，该电介质基板在与所述平面正交的平面中的包含所述透镜的中心轴的平面内具有倾斜。（3）在所述透镜与所述波长滤波器之间配置光隔离器，该光隔离器是在与所述平面正交的平面中的包含所述透镜的中心轴的平面中具有倾斜的平行平板。
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公开(公告)号：CN102656502A
公开(公告)日：2012-09-05
申请号：CN200980162984.0
申请日：2009-12-18
Applicant: 三菱电机株式会社
Inventor： 杉立厚志
IPC: G02B27/28
CPC classification number: G02B6/4246 , G02B6/4204 , G02B6/4208 , G02B6/4214 , G02B6/4215
Abstract: 光模块（101）具备外壳（1）、固定于外壳（1）而发出第一光信号（L1）的第一光输出部（11）、与第一光输出部（11）不同角度地固定于外壳（1）而发出波长与第一光信号（L1）不同的第二光信号（L2）的第二光输出部（12）、以使第一光信号（L1）和第二光信号（L2）的光轴部分重叠的方式使第一光信号（L1）和第二光信号（L2）中的至少某一方的光信号折射的第一分支滤波器（61）、以及配置于第一光信号（L1）和第二光信号（L2）的光轴重叠的部分而对第一光信（L1）和第二光信号（L2）进行隔绝的1个隔离器（80）。
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