公开(公告)号：CN1119975A

公开(公告)日：1996-04-10

申请号：CN95106168.2

申请日：1995-06-02

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 中谷元 ,  杉立厚志 ,  出云正雄 ,  皆川忠郎 ,  八木俊憲 ,  头本信行 ,  南谷靖史 ,  松下嘉文

IPC: B23K26/00

CPC classification number: B23K26/046 ,  B23K26/04 ,  B23K26/043 ,  B23K26/048 ,  B23K26/066 ,  H05K3/0026 ,  H05K2203/056

Abstract: 一种用光束对工件进行光学处理的光学处理装置。该装置不管是否更换掩模和工件，均能自动将成像放大倍数调整至一预定值，并同时使成像放大倍数保持为常数，并能延长掩模的使用寿命。该装置包括一光源、一成像透镜、一掩模移动机构、一工件移动机构、一成像放大倍数改变机构以及一中央控制单元。该中央控制单元含有一实际成像放大倍数运算模块、一放大倍数判定模块、一光轴位移控制模块以及一位移控制模块。