半导体器件和操作该半导体器件的方法

    公开(公告)号:CN103000220B

    公开(公告)日:2017-03-01

    申请号:CN201210324904.0

    申请日:2012-09-05

    CPC classification number: H01L29/78684 G11C29/12005

    Abstract: 半导体器件和操作该半导体器件的方法。该半导体器件包括:电压产生器,被配置为产生测试电压;石墨烯晶体管,被配置为基于测试电压接收栅极-源极电压;以及检测器,被配置为检测栅极-源极电压是否是石墨烯晶体管的狄拉克电压,并输出施加于电压产生器的反馈信号,其指示栅极-源极电压是否是狄拉克电压。

    包含有曲折线圈天线的感应耦合等离子体发生设备

    公开(公告)号:CN1498057A

    公开(公告)日:2004-05-19

    申请号:CN200310101227.7

    申请日:2003-10-15

    CPC classification number: H01J37/321

    Abstract: 一种感应耦合等离子体(ICP)发生设备,包括:抽真空的反应室;天线,该天线安装在反应室的上部,以感应用于离子化供给到反应室内的反应气体并产生等离子体的电场;以及射频(RF)电源,其连接到天线上以便将射频功率施加到天线上;其中,天线包括多个具有不同半径的线圈,至少一个线圈为弯曲成锯齿形图案的曲折线圈。电容器连接在RF电源和匹配网络之间、以及匹配网络和天线之间、与天线并联、以便诱发LC谐振现象。利用具有上述结构的ICP发生设备,可以减小天线电感、抑制电容耦合、并改善等离子体均匀性。也可以利用LC谐振现象有效地放电并维持等离子体。

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