自旋流磁化反转元件、磁阻效应元件及磁存储器

    公开(公告)号:CN108292703A

    公开(公告)日:2018-07-17

    申请号:CN201680068769.4

    申请日:2016-11-25

    CPC classification number: G11B5/39 H01L27/105 H01L29/82 H01L43/08 H03B15/00

    Abstract: 本发明提供一种自旋流磁化反转元件,具备:第一铁磁性金属层,可改变磁化方向;自旋轨道转矩配线,沿着相对于上述第一铁磁性金属层的法线方向即第一方向交叉的第二方向延伸,且与第一铁磁性金属层接合,上述自旋轨道转矩配线的材料为以式AxB1-x表示的二元合金、金属碳化物或金属氮化物,上述A为选自Al、Ti、及Pt的元素,上述B为选自Al、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Y、Ru、Rh、及Ir的元素,且为具有空间群Pm-3m或Fd-3m的对称性的立方晶结构,或上述A为选自Al、Si、Ti、Y、及Ta的元素,上述B为选自C、N、Co、Pt、Au及Bi的元素,且为具有空间群Fm-3m的对称性的立方晶结构。

    制造器件的方法
    9.
    发明授权

    公开(公告)号:CN104067343B

    公开(公告)日:2017-03-01

    申请号:CN201280061660.X

    申请日:2012-12-18

    CPC classification number: H01L43/12 G11C11/161 H01L29/82

    Abstract: 本发明提供了用于形成MRAM(磁阻随机访问存储器)设备的方法。下电极组件被形成。磁结组件被形成,包括在下电极组件上沉积磁结组件层、在磁结组件层上形成图案化掩模、蚀刻磁结组件层以形成具有间隙的磁结组件、间隙填充磁结组件以及使所述磁结组件平整化。上电极组件被形成。

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