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公开(公告)号：CN100570381C
公开(公告)日：2009-12-16
申请号：CN200610007929.2
申请日：2006-02-21
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 本发明涉及一种基板检测装置及其控制方法，依据本发明所提供的基板检测装置包含：用于检测所述基板的检测单元；设置在所述检测单元入口区域并具有多个供应台架和供应驱动部的供应单元，该多个供应台架支持至少一个所述基板而向所述检测单元依次供应所述基板，该供应驱动部对应于所述检测单元的入口侧而移动多个所述供应台架；设置在所述检测单元出口区域并具有多个排出台架和排出驱动部的排出单元，该多个排出台架支持从所述检测单元依次排出的至少一个所述基板，该排出驱动部对应所述检测单元的出口侧而移动多个所述排出台架。由此提供可以较迅速、简单地检测基板的基板检测装置及其控制方法。
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公开(公告)号：CN100433264C
公开(公告)日：2008-11-12
申请号：CN200510068327.3
申请日：2005-05-08
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L21/205 , H01L21/31 , H01L21/3205 , C23C16/458
Abstract: 揭示一种可以在晶片整个表面形成均匀薄膜的半导体制造装置。本发明所提供的半导体制造装置包含反应室、喷头、晶片驱动单元。晶片驱动单元包含支持晶片的支架、连接于支架的旋转轴、与旋转轴连接的旋转电机，以使晶片可以旋转。支架和旋转轴被机箱和波纹管、升降筒和密闭装置所围住并设置在轴承套内部，由连接密封装置和旋转电机的皮带带动旋转。晶片驱动单元还具备升降电机，可使支架按上下方向移动。
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公开(公告)号：CN109216251B
公开(公告)日：2023-07-21
申请号：CN201810620351.0
申请日：2018-06-15
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L21/683 , H01L21/67
Abstract: 一种静电吸盘、一种衬底处理装置以及一种制造半导体器件的方法。所述静电吸盘包括：吸盘基座、位于所述吸盘基座上的绝缘板、包括位于所述绝缘板中的单元加热器的第一加热器以及被配置成控制所述单元加热器的加热器控制器。所述加热器控制器获得所述单元加热器的电阻且将所述电阻与所述阈值进行比较以控制向所述单元加热器提供的加热电力。
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公开(公告)号：CN109494183A
公开(公告)日：2019-03-19
申请号：CN201811043669.3
申请日：2018-09-07
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L21/687 , H01L21/683
Abstract: 本公开涉及一种升降针组件、衬底支撑单元以及衬底处理设备，该升降针组件，包括：升降针，所述升降针具有实质上平行于第一方向的第一纵轴；针连接块，所述针连接块与所述升降针的下端部结合，所述针连接块包括在所述针连接块的下端部中的第一引导凹部，所述第一引导凹部在实质上垂直于所述第一方向的第二方向上延伸；以及升降针保持器，所述升降针保持器具有实质上平行于所述第一方向的第二纵轴，所述升降针保持器包括第一滑动部分，当所述升降针保持器连接到所述针连接块的所述下端部时，所述第一滑动部分在所述第二方向上可移动地容纳在所述第一引导凹部内，所述第一滑动部分在所述第二方向上能够移动所述第二纵轴与所述第一纵轴的偏心距离。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1912640A
公开(公告)日：2007-02-14
申请号：CN200610007917.X
申请日：2006-02-21
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 本发明涉及一种基板检测装置及其控制方法，依据本发明所提供的基板检测装置包含：检测单元，该检测单元具有用于检测所述基板的检测部和用于支持所述基板的检测台架以及用于移动所述检测台架的台架驱动部；设置在所述检测单元入口区域的供应单元，该供应单元具有用于支持至少一个所述基板而向所述检测单元依次供应所述基板的多个供应台架；设置在所述检测单元出口区域的排出单元，该排出单元具有用于支持从所述检测单元依次排出的至少一个所述基板的多个排出台架。
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公开(公告)号：CN1841663A
公开(公告)日：2006-10-04
申请号：CN200510068327.3
申请日：2005-05-08
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L21/205 , H01L21/31 , H01L21/3205 , C23C16/458
Abstract: 揭示一种可以在晶片整个表面形成均匀薄膜的半导体制造装置。本发明所提供的半导体制造装置包含反应室、喷头、晶片驱动单元。晶片驱动单元包含支持晶片的支架、连接于支架的旋转轴、与旋转轴连接的旋转电机，以使晶片可以旋转。支架和旋转轴被机箱和波纹管、升降筒和密闭装置所围住并设置在轴承套内部，由连接密封装置和旋转电机的皮带带动旋转。晶片驱动单元还具备升降电机，可使支架按上下方向移动。
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公开(公告)号：CN109216251A
公开(公告)日：2019-01-15
申请号：CN201810620351.0
申请日：2018-06-15
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L21/683 , H01L21/67
Abstract: 一种静电吸盘、一种衬底处理装置以及一种制造半导体器件的方法。所述静电吸盘包括：吸盘基座、位于所述吸盘基座上的绝缘板、包括位于所述绝缘板中的单元加热器的第一加热器以及被配置成控制所述单元加热器的加热器控制器。所述加热器控制器获得所述单元加热器的电阻且将所述电阻与所述阈值进行比较以控制向所述单元加热器提供的加热电力。
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公开(公告)号：CN100520423C
公开(公告)日：2009-07-29
申请号：CN200610007917.X
申请日：2006-02-21
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 本发明涉及一种基板检测装置及其控制方法，依据本发明所提供的基板检测装置包含：检测单元，该检测单元具有用于检测所述基板的检测部和用于支持所述基板的检测台架以及用于移动所述检测台架的台架驱动部；设置在所述检测单元入口区域的供应单元，该供应单元具有用于支持至少一个所述基板而向所述检测单元依次供应所述基板的多个供应台架；设置在所述检测单元出口区域的排出单元，该排出单元具有用于支持从所述检测单元依次排出的至少一个所述基板的多个排出台架。
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公开(公告)号：CN1908685A
公开(公告)日：2007-02-07
申请号：CN200610007929.2
申请日：2006-02-21
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 本发明涉及一种基板检测装置及其控制方法，依据本发明所提供的基板检测装置包含：用于检测所述基板的检测单元；设置在所述检测单元入口区域并具有多个供应台架和供应驱动部的供应单元，该多个供应台架支持至少一个所述基板而向所述检测单元依次供应所述基板，该供应驱动部对应于所述检测单元的入口侧而移动多个所述供应台架；设置在所述检测单元出口区域并具有多个排出台架和排出驱动部的排出单元，该多个排出台架支持从所述检测单元依次排出的至少一个所述基板，该排出驱动部对应所述检测单元的出口侧而移动多个所述排出台架。由此提供可以较迅速、简单地检测基板的基板检测装置及其控制方法。
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